【課題】 圧電アクチュエータの電極が破断されて分断されることを防止する。
【解決手段】
圧電アクチュエータ７は、圧電材料からなり、圧力室２４と対向するように配置された圧電層４１と、圧電層４１の一方の面の圧力室２４と対向する領域に設けられた個別電極４２と、圧電層４１の他方の面の圧力室２４と対向する領域に設けられた共通電極とを有し、個別電極４２に、局部的に電極厚さが大きい補強部４２ａが環状に設けられている。この補強部４２ａが設けられているため、個別電極４２の一部に破断が起きた場合であっても、電極全体が分断されることを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜と第２電極との密着性が向上した圧電素子を提供することを目的とする。
を提供する。
【解決手段】圧電素子３００は、第１電極６０と、第１電極上に設けられた圧電体層７０
と、圧電体層上に設けられた第２電極８０と、第２電極上に設けられた絶縁膜（保護膜）
１００とを具備し、第２電極の絶縁膜と接触する領域に、凹凸部８３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】保護膜の中抜き部をエッチングする際に、上部電極のオーバーエッチングが減少して断線の危険性が少なくなり、上部電極の薄膜化によりコストの低減した圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、第１電極２０を形成する工程と、第１電極２０の上方に圧電体層３０を形成する工程と、圧電体層３０の上方に第２電極４０を形成する工程と、第２電極４０の上方に第３電極５０を形成する工程と、少なくとも圧電体層３０の側面を覆う保護膜６０を形成する工程と、第３電極５０をストッパー層として保護膜６０を第３電極５０が露出するまでエッチングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】チャネルの高密度化のために絶縁性保護膜の膜厚を低下させてもピンホールを生じることなく電極を充分に保護することが可能なインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】チャネル14内から入口を経て後面にかけて連続するチップ側電極が形成されてなるヘッドチップ1と、ヘッドチップ1の後面に接合され、チャネル14の入口を露出させる開口部32を有すると共に、ヘッドチップ1に配向される面に、後面に露出しているチップ側電極と電気的に接続される配線電極を有する配線基板3とを有するインクジェットヘッドにおいて、配線基板3におけるヘッドチップ1に配向される面36から開口部32の内壁面34にかけて成す角度が45°以上88°以下の範囲であり、少なくともヘッドチップ1のチャネル14内から配線基板3の開口部32の内壁面34にかけて、チップ側電極及び配線電極の露出部位を被覆するように、絶縁性保護膜が連続的に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータを十分な速さで駆動しながら、圧力室内の液体に異物が生じる不具合、電極の溶解や腐食、液体の変質といった不具合を解消できる液体吐出装置およびその駆動回路を提供する。
【解決手段】 グラウンド電位を挟んで正側電位と負側電位を有する直流電圧をアクチュエータに対する充放電用の駆動電圧とする。 （もっと読む）

【課題】高い電位が付与されうる引出部から第１電極に対してマイグレーションが生じるのを抑制した圧電アクチュエータ及びこれの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータの最上層の第１圧電層４０の上面には、複数の個別電極４３が配置されている。第１圧電層４０と中間層の第２圧電層４１との間には、個別電極４３と対向して、第１共通電極４４が配置されている。第１共通電極４４は、スルーホール３７内の充填材６５を介して第１圧電層４０の上面に形成された第１引出電極４６まで引き出されている。スルーホール３７内の充填材６５は、第１引出電極４６に取り囲まれている。個別電極４３を形成する導電性材料はＡｕであり、充填材６５を形成する導電性材料はＡｇであり、ＡｕはＡｇよりもマイグレーションが生じにくい材料となっている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドにおいて、電気伝導性を有する液体をインクとして用いても印字品質と耐久性を両立できる技術を提供する。
【解決手段】下地の凹凸に影響されてピンホールをつくり易い無機材料の電極保護膜を使用する場合、電極保護膜の下地に平滑化電極としてメッキ法で電極を形成するか、平滑化層（膜）として例えばシラグシタール（商品名：新技術創造研究所株式会社）などの無機塗布材料で膜形成をすることで、ピンホールのない信頼性の高い無機材料の電極保護膜を成膜する。電極保護膜の膜厚は１．０μｍ以上、電極保護層の下地の平均表面粗さを０．６μｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】インク、その他の液体の直接接触や成分進入による配線電極の腐食・劣化を防止する。
【解決手段】液体の吐出口となるノズルと、ノズルに液体を導く流路と、ノズルから液体を吐出させるための吐出エネルギー発生素子と、を含んだ構造体からなる吐出デバイス構造体（30）に給電配線基板（16）が接続された構造を有する液体吐出ヘッドにおいて、給電配線基板(16)の表面のうち、吐出デバイス構造体(30)の吐出面（24）近傍の一部分に乾燥ガスを接触させるための空洞部（80）を設け、気体供給流路（82）から空洞部（80）に乾燥ガスを流入させる。空洞部（80）に導入された乾燥ガスは気体排気流路（84）を通って外部に排出される。空洞部(80)の周囲は、接着剤又は封止剤（72,74）を用いて封止され、空洞部（80）内を常に陽圧に保持する態様が好ましい。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の上部電極（個別電極）の接続信頼性を改善し、且つ振動板端の剛性を向上させることが可能なインクジェットヘッドを提供することを目的としている。
【解決手段】液室隔壁によって区画されておりインク供給口と連通した個別液室を短手方向に配列した構成の流路基板と、前記流路基板において前記個別液室に設けられたノズル開口と対向する面に形成された振動板と、前記振動板上に下部電極、圧電素子、上部電極を積層して形成されたアクチュエータと、を有するインクジェットヘッドであって、前記上部電極と前記上部電極から引き出される個別電極配線とが前記個別液室の前記ノズル開口側と前記インク供給口側とで接続されおり、前記個別電極配線は、前記液室隔壁が形成される領域に形成される。 （もっと読む）

【課題】電極への応力を低減した信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】第１電極２０と、第１電極２０の上方および側方に形成された第１圧電体層３０と、第１圧電体層３０の側面を覆って形成された多孔質体層５０と、第１圧電体層３０および前記多孔質体層５０の上方に形成された第２電極４０と、を含み、多孔質体層５０は、第１圧電体層３０を構成する少なくとも一つの金属元素を含有する。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドと紙との間隔の増大を抑制しつつ、配線基板と支持部材の接着を良好に行い、信頼性の高い素子基板と配線基板のワイヤーボンディングによる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】 エネルギー発生素子を備える素子基板と、素子基板を支持する支持部材と、支持部材上に設けられたシート部材と、シート部材上に設けられ、エネルギー発生素子と電気的に接続された配線を備える配線基板と、を具備する液体吐出ヘッドであって、配線基板の前記シート部材と接する面とは逆の面の支持部材に対する高さは、素子基板の支持部材と接する面とは逆の面の前記支持部材に対する高さよりも低い。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で、ポリパラキシリレンの過剰エッチングによりチップ端部の電極が露出した場合でも、電極を腐食から保護することができるインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】インクチャネル内に電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、電極膜上に絶縁性保護膜を成膜する保護膜成膜工程と、保護膜成膜工程の処理に伴ってチャネル基板の一端面に成膜された絶縁性保護膜を除去する保護膜除去工程と、チャネル基板の一端面及びインクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を連続的に被覆する接着剤層を形成する接着剤塗布工程と、チャネル基板の他端面に位置するインクチャネルの入口からチャネル基板の一端面に位置するインクチャネルの出口に向かう空気流で、インクチャネルの内側面に塗布された接着剤の余剰部分をインクチャネル外部へ押し出す接着剤押し出し工程と、チャネル基板の一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リード電極と配線基板との間の導通不良の生じにくい、製造コストの低減した液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】ＣＶＤ法により保護膜１６を形成する前に、ＣＯＦ基板２１０が挿入される貫通孔３３が蓋部３４で塞がれているので、蓋部３４によって貫通孔３３内にＣＶＤ法で用いる原料ガスが侵入できず、貫通孔３３に引き出されたリード電極９０に保護膜１６が形成されない。したがって、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接続で導通不良が生じにくく、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 シリコン化合物からなる絶縁層がインク等の液体に溶出し、電極に液体が接すると、電極の腐食・溶出が生じて予定外の個所に電流が流れて記録動作時に誤動作が起きたり、液体吐出装置の回路等が影響を受けたりする可能性がある。
【解決手段】 エネルギー発生素子１１１に電力を供給するために用いられる電極１３０７を被覆する絶縁層１３０８中の電極１３０７より流路４６に近い位置に配線１１４を設ける。 （もっと読む）

【課題】電気信号の伝達経路に寄与するワイヤーが封止材から露出する虞を抑制する。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口が形成された記録素子基板Ｈ１１００と、液体を吐出するための電気信号を記録素子基板に供給する電気配線基板Ｈ１３００と、記録素子基板の吐出口が形成された吐出口面に設けられた複数の端子と電気配線基板に設けられた複数の端子とを接続する複数のワイヤーＨ２０００ａ、Ｈ２０００ｂと、を備える。複数のワイヤーは、記録素子基板と電気配線基板との間の電気信号の伝達経路に寄与する複数の伝達ワイヤーＨ２０００ａと、伝達経路に寄与しない複数の非伝達ワイヤーＨ２０００ｂとを含む。少なくとも複数の伝達ワイヤー全体を覆うように封止材Ｈ１３０５が形成されている。複数の非伝達ワイヤーは、封止材と雰囲気との界面に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】 配線基板の幅を縮小した際に、配線基板端面と記録素子基板側面との間隔が狭くなった場合においても安定的な封止材の注入が可能な液体噴射ヘッドの提供。
【解決手段】 記録素子基板と、エネルギー発生素子に電気的に接続された配線を備える配線基板と、記録素子基板と配線基板とを支持するための支持基板と、記録素子基板の側端部と配線基板上に設けられるシート部材の側端部とが隣接する様に、配線基板上に設けられたシート部材と、記録素子基板の側端部と配線基板の側端部およびシート部材の側端部との間を埋める様に設けられた封止材と、を具備する液体吐出ヘッドであって、配線基板の側端部と記録素子基板の側端部との間隔より、シート部材の側端部と記録素子基板の側端部との間隔が大きいことを特徴する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの変形が阻害されることなく、また、配線基板と圧電素子との間に押し付けすぎや接点不良が発生せず、電気的接続の信頼性の向上したインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】複数のノズル11aと、複数の圧力室13aと、アクチュエータ15とを有するヘッド基板10と、配線を有する配線基板20とを備え、配線基板20がヘッド基板10に対して接着樹脂層30を介して所定の加熱温度で圧着されることによって、アクチュエータ15表面の電極と配線とが電気的に接続されると共にヘッド基板10と配線基板20とが接合されてなるインクジェットヘッド1であって、アクチュエータ15表面の電極と配線との間の電気的接続は、融点が前記加熱温度よりも高い第1のバンプと、融点が前記加熱温度以下である第2のバンプとの接合による電気的接続であり、第1のバンプと第2のバンプのうちの一方がアクチュエータ15表面の電極に設けられ、他方が配線に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドに用いられる配線基板の端部において導線と絶縁性部材との接着強度を高め、絶縁性部材から導線が剥がれる恐れを低減し、配線基板の電気的信頼性を向上する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドに用いられる配線基板は、少なくとも表面が絶縁性である絶縁性部材と、絶縁性部材の上に設けられ、絶縁性部材の端部まで互いに沿う様にして延びる複数の導線と、複数の導線のそれぞれの途中に設けられた、液体吐出装置に対して電気的に接続される複数の電気的接続部と、を有している。絶縁体部材の端部において複数の導線が配設される配設方向に関して隣接する電気的接続部同士は、端部からの距離が互いに異なり、端部から配設方向に垂直な方向に見ると少なくとも一部が互いに重なるように設けられている。複数の導線のそれぞれの、端部における部分の幅は、複数の導線のそれぞれの、複数の電気的接続部に挟まれた部分の幅よりも広い。 （もっと読む）

【課題】新たな基板形成プロセスを追加せずに、配線に用いられる材料が溶出し続けることを抑制できるようにした技術を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド用基板は、インクを吐出するための熱エネルギーを発生する発熱素子に対して、発熱に必要な電力を供給するための一対の個別導電層と、一対の個別導電層の一方に接続され、一対の個別導電層に電流を供給する第１の共通導電層と、一対の個別導電層の他方に接続され、一対の個別導電層から電流が流れ込む第２の共通導電層と、一対の個別導電層の一方と第１の共通導電層との間、及び一対の個別導電層の他方と第２の共通導電層との間に設けられ、一対の個別導電層、第１の共通導電層及び第２の共通導電層に用いられる材料に比べてインクへの溶解度が低く、且つ導電性を有する材料からなる隔絶層とを具備する。 （もっと読む）

【課題】電極材料の選択の自由度を大きくできる圧電素子と、その製造方法、並びに、この圧電素子を含む圧電アクチュエーター、液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電素子５０は、基板１の上に形成された第１電極１０と、第１電極１０の上に形成された圧電体層２０と、圧電体層２０の上に形成された第２電極４０と、少なくとも第１電極１０の側面を覆うように形成された樹脂層３０と、を含み、第１電極１０は、卑金属からなる金属層１１と酸化防止層１２とを有し、酸化防止層１２は、金属層１１と圧電体層２０とが接しないように、金属層１１と圧電体層２０との間に設けられる。 （もっと読む）