【課題】少なくとも圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】圧電素子は、複数の個別電極と、前記各個別電極上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成され、前記個別電極に対して共通の電極となる共通電極とを有している。更に、圧電素子における前記個別電極の上において、前記共通電極に覆われていない領域には、この領域を覆う保護膜を有している。 （もっと読む）

【課題】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む圧電体層を有する圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる製造方法を提供する。
【解決手段】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む前駆体溶液であって、水溶液とした場合にｐＨが７以上である前駆体溶液３１を下電極２０上に塗布し、塗布した前駆体溶液３１を結晶化させてペロブスカイト型酸化物を含む圧電セラミックスを形成する。圧電素子の製造方法は、圧電セラミックス３０に電極を形成する工程を備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、圧電素子の製造方法により圧電素子を形成する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】エッチング残渣が少なく信頼性が良好であり、かつリーク電流を抑制することができる強誘電体素子を提供する。
【解決手段】シリコン基板１０の上に順に、振動板１１、下部電極２０、強誘電体層３０、上部電極４０を形成し、強誘電体層３０の側面の傾斜角はθ２＝３０°、上部電極４０の側面の傾斜角はθ１＝３０°としている。これにより、エッチングガスやプラズマ粒子の衝突角度が平面に近づき、傾斜面でのエッチング残渣の除去率が向上する。 （もっと読む）

【課題】下部電極にバイアス電圧を印加しても加圧液室内の導電性の液体に電圧は印加されず液体の吐出性能を維持できる。
【解決手段】加圧液室１２内を昇圧する振動板３０は、シリコン基板の表面にシリコン酸化膜、ポリシリコン、シリコン酸化膜、ｐドープしたポリシリコン、シリコン酸化膜の順に成膜することで形成されている。振動板３０におけるｐドープしたポリシリコンは接地（ＧＮＤ）されている。液滴吐出ヘッドにおける下部電極５１と加圧液室１２との間に、ｐドープしたポリシリコンに相当し接地されている導電層３１を設けている。このため、下部電極５１にバイアス電圧を印加して駆動する方法を用いた場合下部電極５１と導電層３１との間に電界が生じ、下部電極と加圧液室との間には電界は生じない。 （もっと読む）

【課題】液体の溶媒によるリード電極とフレキシブル配線基板との接触不良が生じるまでの時間の長い液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】スリット８００には、接着剤１２０と比較してインクの溶媒の透過率の低い充填材８１０が充填され、充填材８１０がインク導入路１１１に連通するインク導入口４５からコンプライアンス基板４０を伝わって、保持孔１１３および貫通孔３２に向かうインクの溶媒の流れを妨げ、保持孔１１３および貫通孔３２へ漏れる溶媒の量を減少できる。したがって、インクの溶媒が保持孔１１３および貫通孔３２へ漏れるまでの時間を稼ぐことができ、スリット８００に充填材８１０が存在しない構成と比較して、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接触不良が生じるまでの時間が長いインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に形成され、貫通孔２２が形成された絶縁体層２０と、貫通孔２２の内部および貫通孔２２の上方に形成された第１部分３２、および絶縁体層２０の上方に形成された第２部分３４を有する圧電体層３０と、第１部分３２および第２部分３４の上方に形成された第２電極４０と、を含み、第２部分３４は、第１部分３２の周囲を囲み、圧電体層３０の側面３６は、絶縁体層２０の上面２４に接続されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に、長手方向と短手方向とを有して形成された圧電体層２０と、圧電体層２０の上方に形成された第２電極３０と、を含み、圧電体層２０の前記短手方向の側面２２の少なくとも一部は、凹凸面２３であり、第２電極３０から第１電極１０に向かうに従って、圧電体層２０の前記短手方向の幅Ｗｙは、凹凸面２３によって変化する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、高い絶縁性を有してリーク電流が抑制される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、ビスマス及び鉄を含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、マグネシウムからなる第１ドープ元素と、マンガン、チタン、バナジウム、ニオブ及びスズからなる群から選択される少なくとも一種の第２ドープ元素とを含む。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷を低減し、高い絶縁性を有してリーク電流が抑制される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、ビスマス及び鉄を含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、ナトリウム、カリウム、カルシウム、ストロンチウム及びバリウムからなる群から選択される少なくとも一種の第１ドープ元素と、セリウムからなる第２ドープ元素とを含む。 （もっと読む）

【課題】 電解メッキによって圧電部材に電極を形成する。
【解決手段】 駆動電圧の印加に伴う無鉛圧電部材の変形によってインクを吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、前記無鉛圧電部材に第１導電パターンを形成し、前記無鉛圧電部材のうち、少なくとも前記第１導電パターンを形成する領域以外の領域に、絶縁層を形成し、電解メッキによって前記第１導電パターン上に第２導電パターンを形成することにより、前記駆動電圧の印加に用いられる電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエーター素子、なかでも液体吐出ヘッドの圧電体素子に好適に用いることのできる厚膜の圧電体膜及びそれを用いた液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】圧電体膜を、複数の層を有する構造とし、各層が、単一配向膜または単結晶膜であり、前記圧電体膜の複数の層の一層あたりの膜厚が０．５μm以上、２．０μm以下とする。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷を低減し、高い絶縁性を有してリーク電流が抑制される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、ビスマス及び鉄を含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、酸素サイトに窒素を含む。 （もっと読む）

【課題】段差のない均一な膜厚の絶縁膜を使用できるようにして絶縁耐圧を高め、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】共通電極を、第１の下電極１４と第１の層間絶縁膜１５を間に介して積層された第２の下電極１６とで形成し、上電極１８から引き出された引き出し配線２０は、第２の下電極１６の個別電極引き出し部１６ａに接続されて、個別電極引き出し部１６ａが個別電極パッド部２１と導通しており、第２の下電極１６の圧電体電極部１６ｂの一部に設けた導通部１６ｂ’は、第１の層間絶縁膜１５のスルーホールを介して第１の下電極１４と導通しており、バイパス配線２４が接続された第２の下電極１６のバイパス配線導通部１６ｃは、導通部１６ｃ’を介して第１の下電極１４と導通している。 （もっと読む）

【課題】リーク電流を抑制し、絶縁性を向上させることができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、白金を含む第１電極６０と、第１電極上６０に設けられカリウム、ナトリウム、ニオブ、ビスマス及び鉄を含む酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０上に形成された第２電極８０とを備えた圧電素子３００とを具備する液体噴射ヘッドＩとする。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータ基板２の引出電極８とフレキシブル基板４の配線電極９との間の電気的接続を容易にする。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、複数の溝５を有するアクチュエータ基板２と、複数の溝５の上部開口を塞いでチャンネルを構成するカバープレート３と、アクチュエータ基板２に駆動信号を供給するフレキシブル基板４とを備えている。アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に吐出チャンネル１１の駆動電極７に接続する共通引出電極８ａとダミーチャンネル１２の駆動電極７に接続する個別引出電極８ｂがそれぞれ形成され、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａと個別配線電極９ｂにそれぞれ接続する。更に、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａがアクチュエータ基板２の駆動電極７と交差する共通配線交差領域ＣＲでは、ダミーチャンネルの側面の駆動電極７は、その上端部が基板表面よりも深く形成される。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の側面において、連続したリークパスが形成されにくい圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極２０と、第１電極２０の上に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上に形成された第２電極４０と、を含み、圧電体層３０の側面は、第１電極２０から第２電極４０に向かう方向に沿って延びる第１の溝３５が複数形成された第１の波状面３２と、第１の波状面３２よりも第２電極４０側に設けられ、第１電極２０から第２電極４０に向かう方向に沿って延びる第２の溝３６が複数形成された第２の波状面３３と、第１の波状面３２と第２の波状面３３との境界領域３４と、を有し、第１の溝３５の第１の間隔は、第２の溝３６の第２の間隔と異なる。 （もっと読む）

【課題】１つのアクチュエータに対して複数枚の配線基板が接続される場合に、その配線構造をコンパクトに構成すること。
【解決手段】複数枚のＣＯＦ５０は、出力端子５３が形成された基材の一端部が圧電アクチュエータ７の一表面に沿った所定方向に関して並べられ、圧電アクチュエータ７から前記一表面に平行に引き出された上で、前記一表面と反対側に折り返されている。さらに、前記所定方向に隣接するＣＯＦ５０間で、圧電アクチュエータ７からの引き出し方向が互いに逆方向となっており、複数枚のＣＯＦ５０の駆動ＩＣ５２が、圧電アクチュエータ７の一表面と距離を空けて対向する位置において一列に配列されるとともに、基材の他端部に設けられた入力端子５４が、一列に配列された複数の駆動ＩＣ５２を挟んでその両側に交互に配されている。 （もっと読む）

【課題】配線に印加する電圧に応じて所定量変形する圧電素子、安定した液体の噴射を行なう液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】下電極６０に形成された貫通孔６１の側面６１０で下電極６０と下電極用リード電極９０とが接触し、接触面である側面６１０で、下電極用リード電極９０が下電極６０の側面６１０に含まれるイリジウムを含んでいる。異種金属が接触している場合と比較して、同種の金属が接触している場合は、接触抵抗が低くなる。したがって、接触抵抗による電圧降下および発熱を低減でき、下電極用リード電極９０に印加する電圧に応じて機能する圧電素子を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】回路基板への液体の付着を抑制しつつ、設計自由度を大幅に向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ヘッド本体２０と、ヘッド本体２０が固定されるケース部材６０と、液体供給針１００とケース部材６０とを繋ぐ液体流路８５が設けられた流路部材８０と、ケース部材６０と流路部材８０との間に設けられる回路基板９０と、を備え、流路部材８０を、液体供給針１００が上面側に固定されると共に液体流路８５が形成される流路形成部８４が下面側に突設された流路部材本体８１と、流路形成部８４を囲って設けられると共にケース部材６０に達する高さを有する壁面部８７を備え、流路部材本体８１に固定されるカバー部材８２と、で構成する。 （もっと読む）

【課題】圧電セラミックスの絶縁抵抗劣化を防止すると共に、長期信頼性を確保する圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータ１は、鉛を含む圧電セラミック層４を一対の電極５，６で挟持するとともに、一対の電極５，６のうち少なくとも一方の電極５が銀を含み、圧電セラミック層４が、鉛と硫黄とを含み、かつ平均径が０．０５〜２．５μｍの異相を含有している。印刷ヘッドは、圧電アクチュエータ１が、インク吐出孔を有する複数のインク流路が配列された流路部材上に取り付けられた構造を有する。 （もっと読む）