液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法
【課題】アクチュエータ基板２の引出電極８とフレキシブル基板４の配線電極９との間の電気的接続を容易にする。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、複数の溝５を有するアクチュエータ基板２と、複数の溝５の上部開口を塞いでチャンネルを構成するカバープレート３と、アクチュエータ基板２に駆動信号を供給するフレキシブル基板４とを備えている。アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に吐出チャンネル１１の駆動電極７に接続する共通引出電極８ａとダミーチャンネル１２の駆動電極７に接続する個別引出電極８ｂがそれぞれ形成され、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａと個別配線電極９ｂにそれぞれ接続する。更に、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａがアクチュエータ基板２の駆動電極７と交差する共通配線交差領域ＣＲでは、ダミーチャンネルの側面の駆動電極７は、その上端部が基板表面よりも深く形成される。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、複数の溝５を有するアクチュエータ基板２と、複数の溝５の上部開口を塞いでチャンネルを構成するカバープレート３と、アクチュエータ基板２に駆動信号を供給するフレキシブル基板４とを備えている。アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に吐出チャンネル１１の駆動電極７に接続する共通引出電極８ａとダミーチャンネル１２の駆動電極７に接続する個別引出電極８ｂがそれぞれ形成され、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａと個別配線電極９ｂにそれぞれ接続する。更に、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａがアクチュエータ基板２の駆動電極７と交差する共通配線交差領域ＣＲでは、ダミーチャンネルの側面の駆動電極７は、その上端部が基板表面よりも深く形成される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を吐出して被記録媒体に画像や文字、あるいは薄膜材料を形成する液体噴射ヘッド及びこれを用いた液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録紙等にインク滴を吐出し、文字、図形を描画する、あるいは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜のパターンを形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料を液体タンクから供給管を介して液体噴射ヘッドに供給し、液体噴射ヘッドに形成した微小空間にこのインクを充填し、駆動信号に応じて微小空間の容積を瞬間的に縮小し溝に連通するノズルから液滴を吐出させる。
【０００３】
図１２はこの種のインクジェットヘッド５１の分解斜視図を表す。インクジェットヘッド５１は、表面に多数の溝５６が形成された圧電体基板５２と、液体供給室６２とスリット６３が形成されたカバープレート５４と、液体を吐出するためのノズル６４を備えたノズルプレート５５と、駆動回路で生成され駆動信号を圧電体基板５２に供給するためのフレキシブル基板５３などから構成される。各溝５６はカバープレート５４により上部開口を塞がれてチャンネルを構成する。各溝５６は隔壁５７により仕切られ、隔壁５７の側面には隔壁５７を駆動するための駆動電極５９が形成されている。各駆動電極５９は圧電体基板５２の後方端ＲＥの表面に形成した引出電極６０に接続されている。圧電体から成る隔壁５７は垂直方向に分極されている。隔壁５７の両側面に形成した駆動電極５９に駆動信号を与えることにより、隔壁５７は厚みすべり変形を生じる。予め溝５６から成るチャンネルに液体を充填しておき、駆動時に隔壁５７を変形させることにより、チャンネルの容積が変化して、圧電体基板５２の前方端ＦＥの表面に接合したノズルプレート５５のノズル６４からインクが吐出される。
【０００４】
図１３は、圧電体基板５２の後方端ＲＥ近傍の表面に接着したフレキシブル基板５３を圧電体基板５２から分離し、下方にずらした状態の圧電体基板５２とフレキシブル基板５３の上面模式図である。圧電体基板５２の表面には溝からなるチャンネルが形成され、各チャンネルはダミーチャンネルＤ１〜Ｄｎ＋１と液滴を吐出する吐出チャンネルＣ１〜Ｃｎが交互に配置されている。各チャンネルを区画する隔壁５７の側面には隔壁５７を変形駆動するための駆動電極５９が形成されている。圧電体基板５２の後方端ＲＥ近傍の表面には各チャンネルの駆動電極５９に電気的に接続する引出電極６０が形成されている。例えば、吐出チャンネルＣ１を構成する両隔壁５７の吐出チャンネル側の両側面には駆動電極５９ｃ１が形成され、第一引出電極６０ｃ１に接続されている。ダミーチャンネルＤ１の吐出チャンネルＣ１側の側面には駆動電極５９ｄ１が形成され、ダミーチャンネルＤ２の吐出チャンネルＣ１側の側面には駆動電極５９ｄ２が形成され、いずれも第二引出電極６０ｄ１に電気的に接続されている。他の吐出チャンネルＣ２〜Ｃｎや、ダミーチャンネルＤ２〜Ｄｎ＋１や第一及び第二引出電極６０ｃ、６０ｄも同様の構成を備えている。
【０００５】
フレキシブル基板５３の圧電体基板５２側の表面には駆動電極５９に駆動信号を供給するための配線電極６１が形成されている。フレキシブル基板５３は矢印で示すように圧電体基板５２の後方端ＲＥ側の表面に移動させて配線電極６１ｄ１が引出電極６０ｄ１に、配線電極６１ｃ１が引出電極６０ｃ１に、配線電極６１ｄ２が引出電極６０ｄ２にそれぞれ電気的に接続して圧電体基板５２の表面に接着されている。その他の配線電極６１も同様である。
【０００６】
図１４は、他のインクジェットヘッドを表す斜視図である（特許文献１の図１）。圧電セラミックス基板７１の下面にチャンネルを構成する多数の溝が形成されている。圧電セラミックス基板７１の前端部の表面７４には図示しないノズルプレートが接合し、ノズルプレートのノズルに溝からなるインク室７２が連通する。下面の各インク室７２を区画する隔壁には駆動電極が形成され、各駆動電極は引出電極７６により表面７４を経由して表面７５に引き出されている。表面７４において電極は絶縁部７３により分離され、表面７５において引出電極７６は絶縁部７７により電気的に分離されている。引出電極７６は後方端上面の電気接続端７８において電気配線７９と接続して図示しない駆動回路に接続している。この例においては、インク室７２のピッチＷ１よりも電気接続端７８のピッチＷ２を大きく形成して、外部接続回路との接続を容易にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−２９９７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図１２及び図１３に示す従来例において、フレキシブル基板５３に形成した配線電極６１の引出電極６０との接続点のピッチＰ１は、圧電体基板５２に形成したチャンネルの配列ピッチＰ２と同程度としなければならない。しかし、近年チャンネル数が増大するとともにその配列ピッチＰ２が狭くなってきている。そのために、フレキシブル基板５３の配線電極６１の引出電極６０との接続点のピッチＰ１も狭ピッチ化しなければならず、位置合わせを行って実装する際の位置合わせ精度が厳しく、製造が困難となる、あるいは製造歩留まりが悪化する等の課題があった。
【０００９】
また、図１４に示すように圧電セラミックス基板７１の裏面側に引出電極７６を形成するためには、圧電セラミックス基板７１の前方端の表面７４及び上方の表面７５に電極パターンを形成しなければならない。そのため、製造工程が複雑となって量産性が低下する課題があった。
【００１０】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、簡便に構成することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明による液体噴射ヘッドは、基板表面の前方端から後方端の方向に細長く、互いに隔壁により離隔し、前記方向に交差する方向に配列する複数の溝と、前記隔壁の側面に形成された駆動電極と、前記駆動電極に電気的に接続し、前記基板表面の後方端近傍に形成された引出電極とを有するアクチュエータ基板と、前記基板表面に接合し、前記複数の溝の上部開口を塞いで複数のチャンネルを構成するカバープレートと、前記基板表面の後方端近傍に接着し、前記引出電極に電気的に接続する配線電極を有するフレキシブル基板と、を備え、前記複数のチャンネルは、液体を吐出する吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に配列し、前記ダミーチャンネルを構成する溝は前記アクチュエータ基板の後方端まで延在し、前記引出電極は、前記吐出チャンネルの両側に隣接する２つのダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記２つのダミーチャンネルの間であり、前記基板表面の後方端近傍に形成された個別引出電極と、前記吐出チャンネルの２つの側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記基板表面の後方端近傍であり、前記個別引出電極よりも前方端の側に形成された共通引出電極とを有し、前記配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記共通引出電極と他の吐出チャンネルに対応する他の共通引出電極とを電気的に接続する共通配線電極と、各吐出チャンネルに対応する個別引出電極のそれぞれに個別に電気的に接続する複数の個別配線電極を有し、前記共通配線電極と前記駆動電極とが交差する共通配線交差領域において、前記ダミーチャンネルを構成する溝の側面に形成された駆動電極は、その上端部が前記基板表面よりも溝の深さ方向に深く形成されることとした。
【００１２】
また、前記共通配線交差領域において、前記基板表面と前記ダミーチャンネルを構成する溝の側面との間の角部が深さ方向に切削されることとした。
【００１３】
また、前記吐出チャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端の手前まで延在することとした。
【００１４】
また、前記吐出チャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端まで延在し、前記個別引出電極は、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第一の個別引出電極と、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第二の個別引出電極とを含み、前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極は前記第一の個別引出電極と電気的に接続し、前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極は前記第二の個別引出電極と電気的に接続し、前記共通引出電極は、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第一の共通引出電極と、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第二の共通引出電極とを含み、前記吐出チャンネルを構成する溝の一方の側の側面に形成された駆動電極は前記第一の共通引出電極に電気的に接続し、前記吐出チャンネルを構成する溝の他方の側の側面に形成された駆動電極は前記第二の共通引出電極に電気的に接続し、前記共通配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記第一の共通引出電極と前記第二の共通引出電極とを電気的に接続することとした。
【００１５】
また、前記個別配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記第一の個別引出電極と前記第二の個別引出電極とを電気的に接続することとした。
【００１６】
また、前記個別配線電極と前記駆動電極とが交差する個別配線交差領域において、前記吐出チャンネルを構成する溝の側面に形成された駆動電極は、その上端部が前記基板表面よりも溝の深さ方向に深く形成されることとした。
【００１７】
また、前記個別配線交差領域において、前記基板表面と前記吐出チャンネルを構成する溝の側面との間の角部が深さ方向に切削されることとした。
【００１８】
本発明の液体噴射装置は、上記いずれかに記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。
【００１９】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、アクチュエータ基板の基板表面に互いに隔壁により離隔する複数の溝を形成する溝形成工程と、前記隔壁の側面と前記隔壁の上面に電極材料を堆積する電極堆積工程と、前記隔壁の側面に、上端部の一部が前記上面の高さよりも前記溝の深さ方向に低い形状の駆動電極を形成するとともに、前記上面に引出電極を形成する電極形成工程と、配線電極を形成したフレキシブル基板を前記隔壁の上面に接着し、前記引出電極と前記配線電極とを電気的に接続するフレキシブル基板接着工程と、を備えることとした。
【００２０】
また、前記電極形成工程は、前記側面の上端部に堆積した電極の一部を除去して前記駆動電極を形成する駆動電極形成工程と、前記隔壁の前記上面に堆積した電極をパターニングして引出電極を形成する引出電極形成工程とを含むこととした。
【００２１】
また、前記駆動電極形成工程は、前記隔壁の前記上面と前記側面との間の角部を面取りする工程からなることとした。
【００２２】
また、前記電極形成工程は、前記電極堆積工程の前に前記隔壁の前記上面又は前記上面の近傍にマスクを設置し、前記電極堆積工程の後に前記マスクを除去して前記駆動電極と前記引出電極を形成する工程であることとした。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の液体噴射ヘッドは、基板表面の前方端から後方端の方向に細長く、互いに隔壁により離隔し、前記方向に交差する方向に配列する複数の溝と、前記隔壁の側面に形成された駆動電極と、前記駆動電極に電気的に接続し、前記基板表面の後方端近傍に形成された引出電極とを有するアクチュエータ基板と、前記基板表面に接合し、前記複数の溝の上部開口を塞いで複数のチャンネルを構成するカバープレートと、前記基板表面の後方端近傍に接着し、前記引出電極に電気的に接続する配線電極を有するフレキシブル基板と、を備えている。前記複数のチャンネルは、液体を吐出する吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に配列し、前記ダミーチャンネルを構成する溝は前記アクチュエータ基板の後方端まで延在している。前記引出電極は、前記吐出チャンネルの両側に隣接する２つのダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記２つのダミーチャンネルの間であり、前記基板表面の後方端近傍に形成された個別引出電極と、前記吐出チャンネルの２つの側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記基板表面の後方端近傍であり、前記個別引出電極よりも前方端の側に形成された共通引出電極とを有している。前記配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記共通引出電極と他の吐出チャンネルに対応する他の共通引出電極とを電気的に接続する共通配線電極と、各吐出チャンネルに対応する個別引出電極のそれぞれに個別に電気的に接続する複数の個別配線電極を有している。前記フレキシブル基板の共通配線電極と前記駆動電極とが交差する共通配線交差領域において、前記ダミーチャンネルを構成する溝の側面に形成された駆動電極は、その上端部が前記基板表面よりも溝の深さ方向に深く形成されている。
【００２４】
この構成により、アクチュエータ基板上の引出電極数に対し、フレキシブル基板上の配線電極数を概ね１／２に低減できる。加えて、フレキシブル基板上の配線電極と隔壁の側面上に形成した駆動電極とが平面視交差する交差部において両電極間に間隙を設けたので、両電極の絶縁性を向上させることができる。その結果、アクチュエータ基板の引出電極とフレキシブル基板の配線電極の電気的な接続が容易となり、製造歩留まりを向上させ製造コストを低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な分解斜視図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドに用いるアクチュエータ基板の説明図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドのアクチュエータ基板にフレキシブル基板を接着した状態を表す図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドに用いるアクチュエータ基板の模式的な部分斜視図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な部分上面図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な部分縦断面図である。
【図７】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な縦断面図である。
【図８】本発明の液体噴射ヘッドの基本的な製造方法を表す工程図である。
【図９】本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【図１０】本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【図１１】本発明の第四実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。
【図１２】従来公知の液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図１３】従来公知の圧電体基板とフレキシブル基板の上面模式図である。
【図１４】従来公知のインクジェットヘッドの模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
＜液体噴射ヘッド＞
（第一実施形態）
図１〜図３は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１を説明するための図であり、図１は液体噴射ヘッド１の模式的な分解斜視図であり、図２はアクチュエータ基板２の説明図であり、図３はアクチュエータ基板２にフレキシブル基板４を接着した状態を表す図である。
【００２７】
図１に示すように、液体噴射ヘッド１はアクチュエータ基板２とカバープレート３とフレキシブル基板４とノズルプレート１６を備えている。アクチュエータ基板２は、基板表面ＳＦの前方端ＦＥから後方端ＲＥのｙ方向に細長く、互いに隔壁６により離隔して上記ｙ方向に交差するｘ方向に配列する複数の溝５と、隔壁６の側面に形成された駆動電極７と、駆動電極７に電気的に接続し、基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に形成された引出電極８とを有する。カバープレート３は、基板表面ＳＦに接合し、複数の溝５の上部開口を塞いでチャンネルを構成する。フレキシブル基板４は、基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に接着され、引出電極８に電気的に接続する配線電極９（図３に示す共通配線電極９ａ及び個別配線電極９ｂ）を有する。ノズルプレート１６は、ノズル１７を有し、アクチュエータ基板２及びカバープレート３の前方端ＦＥに接合する。アクチュエータ基板２に形成した溝５は、液体を吐出する吐出チャンネル１１を構成する溝５と液体を吐出しないダミーチャンネル１２を構成する溝５とが交互に配列している。カバープレート３は液体供給室１４を備え、液体供給室１４はその底面に形成したスリット１５を介して吐出チャンネル１１用の溝５に連通している。つまり、液体供給室１４に供給された液体は、スリット１５を介して吐出チャンネル１１に流入し、ノズル１７から吐出される。
【００２８】
図２（ａ）は、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥ近傍の模式的な部分斜視図であり、（ｂ）は、部分ＡＡの縦断面模式図である。ダミーチャンネル１２を構成する溝５は、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥまで延在し、吐出チャンネル１１を構成する溝５は、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥの手前まで延在している。ダミーチャンネル１２と吐出チャンネル１１とは交互に配列し、各チャンネルを構成する溝５は、隔壁６を介して離隔している。各隔壁６はその側面の両方に駆動電極７を備えている。各駆動電極７は溝５の最も深い深さの略１／２よりも上部に形成されている。個別引出電極８ｂは、吐出チャンネル１１の両側に隣接する２つのダミーチャンネル１２の間の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に形成されている。個別引出電極８ｂは、吐出チャンネル１１の両側に隣接する２つのダミーチャンネル１２の、吐出チャンネル１１側の各隔壁６の側面に形成される駆動電極７と電気的に接続している。共通引出電極８ａは、個別引出電極８ｂよりも前方端ＦＥ側の基板表面ＳＦに形成されており、吐出チャンネル１１を構成する２つの隔壁６に形成した駆動電極７と電気的に接続している。
【００２９】
共通配線交差領域ＣＲは、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａとダミーチャンネル１２の駆動電極７とが交差する領域を表し（図３（ａ）を参照。）、この領域のダミーチャンネル１２の側面と基板表面ＳＦとの角部に面取り部１０を形成している。この面取り部１０において、駆動電極７の上端部は基板表面ＳＦの高さよりも溝５の深さ方向に距離ｇ低い。具体的には、溝５を形成し、次に駆動電極７を形成した後に、ダイシングブレードを用いて溝５の側面と上面との間の角部を面取りする。これにより、溝５の側面と基板表面ＳＦとの間の角部が駆動電極７とともに切削されて駆動電極７の上端部は基板表面ＳＦよりも深さ方向に深くなる。
【００３０】
図３（ａ）は、アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥにフレキシブル基板４を接着した液体噴射ヘッド１の模式的な部分斜視図であり、（ｂ）は、部分ＢＢの縦断面模式図である。フレキシブル基板４は、アクチュエータ基板２側の表面に形成した共通配線電極９ａと複数の個別配線電極９ｂを備えている。共通配線電極９ａは、共通配線交差領域ＣＲにおいて各共通引出電極８ａに電気的に接続し、各個別配線電極９ｂは、それぞれ対応する個別引出電極８ｂに電気的に接続している。つまり、複数の共通引出電極８ａが１本の共通配線電極９ａに接続するので、フレキシブル基板４上の配線電極数は略１／２に減少する。また、個別引出電極８ｂはｘ方向に１個の吐出チャンネル１１の幅と２個の隔壁６の厚さの合計の長さを有し、個別引出電極８ｂに対する個別配線電極９ｂの位置合わせ精度が大幅に緩和されている。共通配線電極９ａと駆動電極７が交差する共通配線交差領域ＣＲに面取り部１０を形成したので、共通配線電極９ａと駆動電極７とは電気的に分離する。
【００３１】
なお、本第一実施形態において、アクチュエータ基板２としてチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）セラミックス基板を使用し、予め基板面に垂直方向に分極処理を施している。アクチュエータ基板２の前方端ＦＥから後方端ＲＥまでの距離は略１１ｍｍであり、溝５の幅は７０μｍ〜８０μｍであり、溝５の深さは３００μｍ〜５００μｍであり、面取り部１０の長さは略２．５ｍｍであり、距離ｇは２０μｍ〜３０μｍである。
【００３２】
この液体噴射ヘッド１は次のように動作する。まず、液体供給室１４にインク等の液体を供給し、スリット１５を介して吐出チャンネル１１に液体を充填する。図示しない駆動回路により駆動信号を生成し、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａをＧＮＤにして各個別配線電極９ｂに駆動信号が与えられる。駆動信号は個別引出電極８ｂからダミーチャンネル１２の吐出チャンネル１１側の駆動電極７に伝達し、一方、ＧＮＤ電位は共通配線電極９ａから共通引出電極８ａに伝達し、吐出チャンネル１１の２つの側壁の駆動電極７に伝達する。その結果、吐出チャンネル１１を構成する２つの隔壁６はその厚さ方向に印加された電界により厚み滑り変形し、吐出チャンネル１１内の容積が変化してその内部に充填された液体が図示しないノズルから吐出される。
【００３３】
このように、フレキシブル基板４に形成した共通引出電極８ａが各吐出チャンネル１１に対応する各共通引出電極８ａに電気的に共通に接続するので、フレキシブル基板４上の配線電極の数を概ね１／２に減少させて配線電極のピッチが略２倍となる。これに伴い、共通引出電極８ａと共通配線電極９ａとの間のｘ方向の位置合わせがほぼ不要となり、個別引出電極８ｂと個別配線電極９ｂとの間のｘ方向の位置合わせ精度は従来法と比較して略１／２に緩和される。更に、共通配線交差領域ＣＲにおいてダミーチャンネル１２の側面に形成した駆動電極７の上端部を基板表面ＳＦよりも深さ方向に深く形成したので、共通配線電極９ａと駆動電極７との間の絶縁性が向上した。その結果、アクチュエータ基板２の基板表面にフレキシブル基板４を接着することが容易となり、製造歩留まりを向上させ製造コストを低減させることができる。
【００３４】
なお、ノズルプレート１６をアクチュエータ基板２の前方端ＦＥに接合して−ｙ方向に液滴を吐出する構成を説明したが、本発明はこの構成に限定されない。例えば吐出チャンネル１１を構成する溝５の底面に開口部を形成し、ノズルプレート１６をアクチュエータ基板２の裏面側に設置し、ノズルプレート１６に形成するノズル１７を上記開口部に連通させて、液滴を−ｚ方向に吐出させてもよい。また、面取り部１０のＸ方向の断面形状は円弧形状の他に矩形形状や傾斜形状であっても良い。
【００３５】
また、面取り部１０を形成して駆動電極７の上端部を基板表面ＳＦの高さよりも低く（溝の深さ方向に深く）形成したが、本発明はこれに限定されない。例えばレーザビームやフォトリソグラフィ及びエッチング法により、共通配線交差領域ＣＲにおける駆動電極７の上端部のみを除去し、隔壁６の上端角部を残してもよい。また、前述した実施形態では、駆動電極７を形成した後に、ダミーチャネル１２の共通配線交差領域ＣＲにて駆動電極７の上端部のみを除去する構成を示したが、この形態に限られるものではない。すなわち、駆動電極７を形成する前に、ダミーチャネル１２の共通配線交差領域ＣＲにてダミーチャネル１２の側面上端部をマスクすることにより、本実施形態を実現することも可能である。つまり、ダミーチャネル１２の側面上端部をマスクした上で電極材料を堆積して駆動電極７を形成し、その後にマスクを除去すれば、共通配線交差領域ＣＲにて共通配線電極９ａとダミーチャネル１２の駆動電極７が接触することがない。要は、フレキシブル基板４をアクチュエータ基板２に接着したときに、共通配線電極９ａと駆動電極７が電気的に短絡しないように、駆動電極７の上端部を基板表面ＳＦの位置よりも深さ方向に深く形成すればよい。
【００３６】
（第二実施形態）
図４は本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１のアクチュエータ基板２の後方端ＲＥ側を表す模式的な部分斜視図である。第一実施形態と異なる部分は、吐出チャンネル１１を構成する溝５が後方端ＲＥまで延在し、一つの吐出チャンネル１１に対応する共通引出電極８ａや個別引出電極８ｂがこの吐出チャンネル１１の両側に位置する２つの隔壁６の上面に分割されている点である。
【００３７】
液体噴射ヘッド１は、アクチュエータ基板２と、その上に接合した図示しないカバープレートと、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥ近傍の基板表面に接着したフレキシブル基板４（図５参照）と、アクチュエータ基板２及びカバープレートの前方端ＦＥに接合した図示しないノズルプレートを備えている。カバープレート及びノズルプレートの構成は第一実施形態と同様なので説明を省略する。
【００３８】
図４に示すように、アクチュエータ基板２は、基板表面ＳＦの前方端ＦＥから後方端ＲＥのｙ方向に細長く、互いに隔壁６により離隔して上記ｙ方向に交差するｘ方向に配列する複数の溝５を備えている。吐出チャンネル１１を構成する溝５は前方端ＦＥから後方端ＲＥまで延在し、ダミーチャンネル１２を構成する溝５も前方端ＦＥから後方端ＲＥまで延在し、互いに交互にｘ方向に配列している。各隔壁６は、その両側面の隔壁６の高さの略１／２よりも上部に駆動電極７を有しており、駆動電極７はアクチュエータ基板２の前方端ＦＥから後方端ＲＥまで延在する。
【００３９】
吐出チャンネル１１の一方の側（−ｘ方向）には隔壁６-が、他方の側（＋ｘ方向）には隔壁６+が設置され、両方の隔壁６-、６+の側面の上半分には駆動電極７が形成されている。アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍には個別配線交差領域ＳＲが設定され、個別配線交差領域ＳＲよりも前方端ＦＥ側の基板表面ＳＦには共通配線交差領域ＣＲが設定されている。個別配線交差領域ＳＲは、フレキシブル基板４をアクチュエータ基板２に接着したときに吐出チャンネル１１の側面に形成した駆動電極７とフレキシブル基板４に形成した個別配線電極９ｂとが平面視交差する領域である。共通配線交差領域ＣＲは、フレキシブル基板４をアクチュエータ基板２に接着したときにダミーチャンネル１２の側面に形成した駆動電極７とフレキシブル基板４に形成した共通引出電極８ａとが平面視交差する領域である。
【００４０】
図４に示すように、隔壁６-は、その上面、即ち基板表面ＳＦであり、個別配線交差領域ＳＲ内の−ｘ側には個別引出電極８ｂ-を備え、共通配線交差領域ＣＲ内であって＋ｘ側には共通引出電極８ａ-を備えている。個別引出電極８ｂ-は隔壁６-のダミーチャンネル１２-に形成される駆動電極７に電気的に接続し、共通引出電極８ａ-は隔壁６-の吐出チャンネル１１側の図示しない駆動電極に電気的に接続している。同様に、隔壁６+は、その上面、即ち基板表面ＳＦであり、個別配線交差領域ＳＲ内の＋ｘ側には個別引出電極８ｂ+を備え、共通配線交差領域ＣＲ内であって−ｘ側には共通引出電極８ａ+を備えている。個別引出電極８ｂ+は隔壁６+のダミーチャンネル１２+側に形成される図示しない駆動電極に電気的に接続し、共通引出電極８ａ+は隔壁６+の吐出チャンネル１１側の駆動電極７に電気的に接続している。他の吐出チャンネルやダミーチャンネルも同様の構造を備えている。
【００４１】
更に、共通配線交差領域ＣＲにおいて、ダミーチャンネル１２-、１２+を構成する隔壁６-、６+の側面（即ち溝５の側面）と基板表面ＳＦとの間の角部に面取り部１０を設けている。この面取り部１０を形成したことにより、側面に形成した駆動電極７は、その上端部が基板表面ＳＦの高さよりも溝５の深さ方向に低い。同様に、個別配線交差領域ＳＲにおいて、吐出チャンネル１１を構成する溝５の両側面と基板表面ＳＦとの間の角部に面取り部１０を設けている。この面取り部１０により、側面に形成した駆動電極７は、その上端部が基板表面ＳＦの高さよりも溝５の深さ方向に低い。他の吐出チャンネルやダミーチャンネルも同様の構造を備えている。
【００４２】
図５は、液体噴射ヘッド1の模式的な部分上面図であり、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥ近傍の角部を表している。カバープレート３はアクチュエータ基板２の上に接合している。カバープレート３の後方端ＲＥ側の端部に封止材１３が設置され、吐出チャンネル１１を構成する溝５を封止して、吐出チャンネル１１に充填された液体が後方端ＲＥ側に漏えいすることを防止している。フレキシブル基板４はアクチュエータ基板２の後方端ＲＥから封止材１３の手前までの基板表面ＳＦに接着されている。また、封止材１３について図５では、−ｘ方向から＋ｘ方向にわたって封止材１３を形成しているが、インクが充填される吐出チャンネル１１のみに封止材１３を形成し、吐出チャンネル１１の後方端ＲＥ側を封止する構成でもかまわない。
【００４３】
アクチュエータ基板２は、その基板表面に吐出チャンネル１１、ダミーチャンネル１２-、１２+、隔壁６-、６+を備え、隔壁６-、６+の上面（即ちアクチュエータ基板２の基板表面ＳＦ）に共通引出電極８ａ-、８ａ+、個別引出電極８ｂ-、８ｂ+を備え、その配置は図４と同様である。フレキシブル基板４は、アクチュエータ基板２側の表面の外周に沿って共通配線電極９ａを備え、共通配線電極９ａよりも内側に複数の個別配線電極９ｂを備えている。共通配線交差領域ＣＲは、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａとダミーチャンネル１２-、１２+等の両側面に形成した駆動電極７とが交差する領域である。個別配線交差領域ＳＲは、フレキシブル基板４の個別配線電極９ｂと吐出チャンネル１１の両側面に形成した駆動電極７とが交差する領域である。共通配線交差領域ＣＲと個別配線交差領域ＳＲに形成した面取り部１０は図４において説明したと同様である。
【００４４】
フレキシブル基板４は、アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ領域に図示しない異方性導電膜を介して接着されている。これにより、共通配線電極９ａは隔壁６-に設置される共通引出電極８ａ-、隔壁６+に設置される共通引出電極８ａ+、その他の隔壁６に設置される他の共通引出電極８ａと電気的に接続する。また、個別配線電極９ｂは吐出チャンネル１１を跨いでその両側の隔壁６-に設置される個別引出電極８ｂ-と隔壁６+に設置される個別引出電極８ｂ+とを電気的に接続する。その他の吐出チャンネル１１も同様である。
【００４５】
図６（ａ）は、図５に示す部分ＣＣの縦断面の一部を表し、図６（ｂ）は、図５に示す部分ＤＤの縦断面の一部を表す。図６（ａ）を用いて説明する。吐出チャンネル１１の一方の側の隔壁６-の上面に形成した第一の共通引出電極８ａ-と他方の側の隔壁６+の上面に形成した第二の共通引出電極８ａ+がフレキシブル基板４の共通配線電極９ａに電気的に接続する。他の吐出チャンネル１１の第一及び第二の両共通引出電極８ａ-、８ａ+も同じ共通配線電極９ａに電気的に接続する。また、共通配線交差領域ＣＲにおいて、吐出チャンネル１１の一方の側の隔壁６-のダミーチャンネル１２-の側面と上面の角部に面取り部１０を形成し、駆動電極７の上端部と基板表面ＳＦの位置との間に距離ｇを設けた。これにより、駆動電極７と共通配線電極９ａとは電気的に分離する。他のダミーチャンネル１２も同様の構造を有している。
【００４６】
図６（ｂ）を用いて説明する。吐出チャンネル１１の一方の側の隔壁６-の上面に形成した第一の個別引出電極８ｂ-と、吐出チャンネル１１の他方の側の隔壁６+の上面に形成した第二の個別引出電極８ｂ+はいずれもフレキシブル基板４の個別配線電極９ｂに電気的に接続する。他の吐出チャンネルの第一及び第二の個別引出電極８ｂ-、８ｂ+も同じ構造を有している。また、個別配線交差領域ＳＲにおいて、吐出チャンネル１１を構成する両隔壁６-、６+の側面と上面の角部に面取り部１０を形成し、駆動電極７の上端部と基板表面ＳＦの位置との間に距離ｇを設けて、駆動電極７と個別配線電極９ｂを電気的に分離させた。
【００４７】
図７は、図５に示す部分ＥＥの模式的な縦断面図である。アクチュエータ基板２の上にカバープレート３を接合し、アクチュエータ基板２に形成した溝５とカバープレート３により吐出チャンネル１１を構成している。カバープレート３の後方端ＲＥ側の端部に封止材１３をモールドし、吐出チャンネル１１に充填した液体が後方側に漏洩しないようにしている。アクチュエータ基板２の基板表面の後方端ＲＥ近傍にフレキシブル基板４を接着している。フレキシブル基板４の表面には共通配線電極９ａと複数の個別配線電極９ｂが設置され、アクチュエータ基板２の基板表面の後方端ＲＥ近傍に形成した図示しない共通引出電極と個別引出電極に図示しない異方性導電膜を介して電気的に接続している。
【００４８】
液体供給室１４に供給されたインク等の液体はスリット１５を介して吐出チャンネル１１に充填される。図示しない駆動回路から各個別配線電極９ｂに駆動信号が供給されると、個別引出電極８ｂを介してダミーチャンネル１２の吐出チャンネル１１側の側面に形成された駆動電極７にその駆動信号が与えられる。一方、共通配線電極９ａはＧＮＤに接続され、共通配線電極９ａに接続する共通引出電極もＧＮＤに接続される。従って吐出チャンネル１１の両側面に形成された駆動電極もＧＮＤに接続される。吐出チャンネル１１の両隔壁に駆動信号が与えられると、垂直方向に分極された隔壁は厚み滑り変形して吐出チャンネル１１内の容積が変化する。これにより、吐出チャンネル１１に連通する図示しないノズルから液体が吐出される。なお、本発明の液体噴射ヘッド１は駆動電極７が液体に接触する構造を有しているが、吐出チャンネル１１の側面に形成した駆動電極７は全てＧＮＤに接続される。従って、液体が導電性である場合でも、液体を介して駆動信号が漏れ出すことが無い。また配線電極９の表面には保護部材１８を設置して配線電極９の劣化を防止している。
【００４９】
本実施形態においては、吐出チャンネル１１及びダミーチャンネル１２を構成する溝５を前方端ＦＥから後方端ＲＥに亘ってストレートに形成するので、アクチュエータ基板２の前方端ＦＥから後方端ＲＥまでの長さを縮小させることができる。つまり、溝は円盤状のダイシングブレードを用いて形成するので、第一実施形態のようにアクチュエータ基板２の基板表面の途中まで溝を形成する場合はダイシングブレードの円弧形状が転写される。そのため、基板表面において溝の端部から溝が所定の深さとなるまでの距離が必要となったが、本実施形態の場合はこの距離を必要としないので、その分、小型化することができる。
【００５０】
また、従来例と比較してフレキシブル基板４上の配線電極数が概ね１／２と減少し、配線ピッチが略２倍となる。そのため、アクチュエータ基板２上の引出電極とフレキシブル基板４上の配線電極の位置合わせ精度が緩和されて接続が容易となる。また、配線ピッチを縮小できるのでチャンネル配列の高密度化にも適する。また、共通配線交差領域ＣＲや個別配線交差領域ＳＲにおいて、駆動電極７の上端部を基板表面ＳＦの高さよりも溝の深さ方向に深く形成したので、駆動電極７と共通配線電極９ａや個別配線電極９ｂとの絶縁性が向上した。そのため、配線電極９と駆動電極７の間の絶縁対策を必要としない、あるいは必要としても簡便な方法で済むので、アクチュエータ基板２に対するフレキシブル基板４の接着が極めて容易になる。
【００５１】
なお、上記第一及び第二実施形態において、面取り部１０を形成して駆動電極７の上端部を基板表面ＳＦの位置よりも溝の深さ方向に深く形成したが、本発明はこの構成に限定されない。例えばレーザビームやフォトリソグラフィ及びエッチング法により、共通配線交差領域ＣＲや個別配線交差領域ＳＲにおける駆動電極７の上端部のみを除去し、隔壁６の上端角部を残してもよい。また、駆動電極７の上端部を除去する除去工程を用いないで、隔壁６の側面の上端部にマスクを設置し、その上から電極材料を堆積し、その後マスクを除去して、基板表面ＳＦの位置よりも溝の底面側に低い（深さ方向に深い）上端部を有する駆動電極７を形成することも可能である。この場合も隔壁６の上端角部は残る。
【００５２】
＜液体噴射ヘッドの製造方法＞
図８は、本発明に係る液体噴射ヘッド1の基本的な製造方法を表す工程図である。
まず、溝形成工程Ｓ１において、圧電体基板又は絶縁体基板の上に圧電体を張り合わせたアクチュエータ基板を準備し、このアクチュエータ基板の基板表面に互いに隔壁により離隔する複数の溝を形成する。複数の溝は、フォトリソグラフィ及びエッチング法やサンドブラスト法により、或いはダイシングブレードを用いた切削法により形成することができる。次に、電極堆積工程Ｓ２において、隔壁の側面と隔壁の上面に電極材料を堆積する。金属等の導体をスパッタリング法や真空蒸着法、或いはめっき法により堆積することができる。次に、電極形成工程Ｓ３において、隔壁の側面に、上端部の一部が上面の高さよりも溝の深さ方向に低い形状の駆動電極を形成し、更に、隔壁の上面に引出電極を形成する。引出電極は、隔壁の側面に形成した駆動電極と電気的に接続し、フレキシブル基板等に形成した配線電極と電気的に接続するための端子電極として機能する。次に、フレキシブル基板接着工程Ｓ４において、配線電極を形成したフレキシブル基板をアクチュエータ基板の隔壁の上面に接着し、配線電極と引出電極とを電気的に接続する。駆動電極の上端部の一部を隔壁の上面の高さよりも溝の深さ方向に低く形成する領域は、後にフレキシブル基板をアクチュエータ基板の後端部近傍の隔壁の上面に接着する際に、フレキシブル基板に形成した配線電極と隔壁の側面に形成した駆動電極が平面視交差する領域である。
【００５３】
電極形成工程Ｓ３は、隔壁の側面に堆積した電極の一部を除去して駆動電極を形成する駆動電極形成工程Ｓ５と、隔壁の上面に堆積した電極をパターニングして引出電極を形成する引出電極形成工程Ｓ６とを含めることができる。この場合に、駆動電極形成工程Ｓ５と引出電極形成工程Ｓ６とを個別に実施することができる。駆動電極形成工程Ｓ５として、例えば、電極堆積工程Ｓ２の後にダイシングブレードを用いて隔壁の側面と上面の角部を面取りして隔壁の側面に堆積した電極の上端部を溝の深さ方向に除去する。また、レーザ光を照射して側面上端部の電極を蒸発させて除去する。また、フォトリソグラフィ及びエッチング法により隔壁の側面上端部の電極を除去する。また、駆動電極形成工程Ｓ５と引出電極形成工程Ｓ６とを同時に実施することができる。例えば、電極堆積工程Ｓ２の前に隔壁の側面上端部や隔壁の上面にマスクを設置し、その後電極堆積工程Ｓ２において電極材料を堆積する。次に電極形成工程Ｓ３においてマスクを除去し、上端部の一部が隔壁の上面の高さよりも溝の深さ方向に低い駆動電極を隔壁の側面に、引出電極を隔壁の上面に同時に形成することができる。
【００５４】
本発明の製造方法によれば、アクチュエータ基板の隔壁に形成した駆動電極とフレキシブル基板の配線電極とが交差する交差領域では、駆動電極の上端部が隔壁の上面の高さよりも低くなり、電気的に分離されるので絶縁性が向上した。そのため、配線電極９と駆動電極７の間の絶縁対策を必要としない、あるいは必要としても簡便な方法で済む。以下、液体噴射ヘッドの製造方法について、具体的に説明する。
【００５５】
（第三実施形態）
図９及び図１０は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド１の製造方法を説明するための液体噴射ヘッド１の断面模式図である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００５６】
図９（ａ）及び（ｂ）は基板準備工程を表している。圧電体基板からなるアクチュエータ基板２を準備する。圧電体基板として基板面の垂直方向に分極処理が施されたＰＺＴセラミックス材料を使用している。図９（ｂ）は、アクチュエータ基板２の基板表面に感光性樹脂２１を塗布し、パターニングした状態を表す。感光性樹脂２１のパターンは、例えば引出電極を形成する領域は感光性樹脂２１を除去し、最終的に電極を形成しない領域は感光性樹脂２１を残すようにパターニングする。
【００５７】
図９（ｃ）及び（ｄ）は溝形成工程Ｓ１を表している。ダイシングブレード２２を用いてアクチュエータ基板２の基板表面を切削して溝５を並列に形成する。隣接する溝５は隔壁６により離隔される。第一実施形態の液体噴射ヘッド１の場合は、ダミーチャンネル１２用の溝５はアクチュエータ基板２の前方端ＦＥから後方端ＲＥに亘ってストレートに形成し、吐出チャンネル１１用の溝５はアクチュエータ基板２の前方端から後方端ＲＥの手前まで形成する。第二実施形態の液体噴射ヘッド１の場合は、ダミーチャンネル１２用と吐出チャンネル１１用のいずれの溝５も前方端ＦＥから後方端ＲＥに亘ってストレートに形成する。この場合はダイシングブレード２２の外形形状が転写されないのでアクチュエータ基板２の幅を狭く形成することができる。
【００５８】
図９（ｅ）及び（ｆ）は電極堆積工程Ｓ２を表している。複数の溝５が形成された基板表面に斜め蒸着法により垂直方向ｎに対して角度θ傾斜する方向から導電材料を蒸着する。これにより、溝５を構成する隔壁６の側面に溝５の深さの略１／２から隔壁６の上面にかけて導体膜２３を形成することができる。導電材料として、アルミニウム、金、クロム、チタン等の金属材料を使用することができる。なお、本実施形態においてはアクチュエータ基板２の基板表面の一部が隔壁６の上面を構成している。
【００５９】
図１０（ｇ）は引出電極形成工程Ｓ６を表す。溝形成工程の前に形成した感光性樹脂２１を除去する。これにより感光性樹脂２１が形成されている領域の導体膜２３が除去され、感光性樹脂２１が除去された領域の導体膜２３が残る。これによりアクチュエータ基板２の基板表面に引出電極を形成することができる。
【００６０】
図１０（ｈ）は駆動電極形成工程Ｓ５を表している。駆動電極７とフレキシブル基板に形成した共通配線電極が交差する共通配線交差領域において、ダミーチャンネル１２を構成する２つの隔壁６の側面と上面との間の角部を切削し、面取り部１０を形成する。角部の面取りは溝５の幅よりもわずかに厚いダイシングブレード２２’を用いた。これにより、駆動電極７の上端部を隔壁６の上面の高さよりも深さ方向に低く形成することができる。駆動電極７の上端部を隔壁６の上面の位置から溝５の底面方向に２０μｍ〜３０μｍ切削すれば、隔壁６の上面にフレキシブル基板の共通配線電極を接着しても、駆動電極７と共通配線電極とは電気的に短絡しない。
【００６１】
なお、隔壁６の上面からの切削量が大きくなると面取り部１０の長さが長くなり、個別引出電極８ｂの形成領域まで面取されて個別引出電極８ｂと駆動電極７が電気的に切断される。例えば、直径２インチ（５０．８ｍｍφ）のダイシングブレード２２’を用いて深さ３０μｍの面取り部１０を形成する場合、ダイシングブレード２２’の外周の円弧分で片側１．２３ｍｍ、全体で２．４６ｍｍの長さに亘って面取りされる。仮に深さ１００μｍの面取り部１０を形成する場合はダイシングブレード２２’の外周の円弧分で片側２．２５ｍｍ、全体で４．５ｍｍの長さに亘って面取りされる。つまり、個別引出電極８ｂと駆動電極７が電気的に切断されないようにするためには溝５の長さを長くしなければならず、従って液体噴射ヘッド１が大きくなる。そこで、液体噴射ヘッド１をコンパクトに構成でき、しかもフレキシブル基板４の共通配線電極９ａと駆動電極７が短絡しない切削量（共通配線交差領域ＣＲにおける隔壁６の上面の位置から底面方向への深さ）は１５μｍ〜５０μｍ、好ましくは２０μｍ〜４０μｍ、より好ましくは３０μｍ程度とするのがよい。なお、面取り部１０を形成する際に、溝５の幅より厚さの厚いダイシングブレードを用いたが、例えば溝５を形成したダイシングブレードを用いて溝５の一方の側面と他方の側面を順次面取りしてもよい。
【００６２】
図１０（ｉ）はカバープレート３をアクチュエータ基板２の基板表面に接合するカバープレート接合工程を表す。カバープレート３はアクチュエータ基板２の吐出チャンネル１１を構成する溝５を閉塞し、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥ近傍の基板表面に形成した共通引出電極及び個別引出電極を露出させて接着剤により接合する。カバープレート３の液体供給室１４の下部に形成した各スリット１５は、吐出チャンネル１１に連通させて液体供給室１４から液体を充填可能とし、ダミーチャンネル１２はカバープレート３の底面により閉塞して液体供給室１４から液体が供給されない。
【００６３】
図１０（ｊ）はフレキシブル基板接着工程Ｓ４を表す。共通配線電極９ａ及び個別配線電極９ｂを形成したフレキシブル基板４をアクチュエータ基板２の後方端ＲＥ近傍の基板表面に異方性導電膜２４を介して接着する。これにより、アクチュエータ基板２上の共通引出電極８ａ及び個別引出電極８ｂはフレキシブル基板４上の共通配線電極９ａ及び個別配線電極９ｂに異方性導電膜２４を介してそれぞれ電気的に接続する。共通引出電極８ａは吐出チャンネル１１の両側面に形成した駆動電極７に電気的に接続し、個別引出電極８ｂは吐出チャンネル１１に隣接する図示しない両ダミーチャンネルの吐出チャンネル１１側の側面に形成した駆動電極に電気的に接続している。アクチュエータ基板２の上にはカバープレート３が接合し、液体供給室１４はスリット１５を介して吐出チャンネル１１に連通している。フレキシブル基板４に形成した配線電極９ａ、９ｂは保護部材１８により表面が保護されている。
【００６４】
このように、各吐出チャンネル１１に対応する共通引出電極８ａを共通配線電極９ａにより接続したのでフレキシブル基板４上の配線電極を従来例と比較して略１／２に減少させることができる。更に、共通配線交差領域ＣＲにおいて、溝５の側面に形成した駆動電極７の上端部を切削したので、駆動電極７と共通配線電極９ａの絶縁性が向上した。そのため、配線電極９と駆動電極７の間の絶縁対策を必要としない、あるいは必要としても簡便な方法で済むので、アクチュエータ基板２に対するフレキシブル基板４の接着が極めて容易となり、製造コストを削減できる。
【００６５】
なお、本実施形態では第一実施形態で説明した液体噴射ヘッド１の製造方法を説明したが、第二実施形態で説明した液体噴射ヘッド１も同様に製造することができる。この場合は、溝形成工程Ｓ１において、ダミーチャンネル１２用の溝５と同様に吐出チャンネル１１用の溝５をアクチュエータ基板２の前方端ＦＥから後方端ＲＥに亘って形成する。また、駆動電極形成工程Ｓ５においては、共通配線交差領域ＣＲのダミーチャンネル１２に面取り部１０を形成することに加えて、個別配線交差領域ＳＲの吐出チャンネル１１にも面取り部１０を形成する。また、カバープレート接合工程においては、カバープレート３の後方端ＲＥ側の端部に封止材１３を設置して吐出チャンネル１１から液体が漏洩することを防止する。
【００６６】
また、本実施形態では電極のパターニングをリフトオフ法により行ったが、本発明はこれに限定されず、斜め蒸着法により電極を形成した後にフォトリソグラフィ及びエッチング工程を通して電極をパターニングしてもよい。また、駆動電極形成工程Ｓ５において、隔壁６の側面と上面の角部を切削により面取りすることに代えて、レーザビームやフォトリソグラフィ及びエッチング法により駆動電極７の上端部のみを除去しても良い。また、本実施形態では駆動電極形成工程Ｓ５と引出電極形成工程Ｓ６を個別に実施したが本発明はこれに限定されず、駆動電極形成工程Ｓ５と引出電極形成工程Ｓ６を同時に実施することができる。例えば、基板準備工程において感光性樹脂２１を塗布せず、電極堆積工程Ｓ２の前に隔壁６の側面上端部や隔壁の上面にマスクを設置し、その後電極堆積工程Ｓ２において電極材料を堆積する。次に電極形成工程Ｓ３においてマスクを除去し、上端部の一部が隔壁６の上面の高さよりも溝５の深さ方向に低い駆動電極７を隔壁６の側面に、引出電極を隔壁６の上面に同時に形成することができる。従って、隔壁６の側面と上面の角部を面取りする工程や側面の上端部電極を追加的に除去する工程を必要としない。
【００６７】
また、駆動電極形成工程Ｓ５と引出電極形成工程Ｓ６を同時に実施する他の方法として、例えば、溝形成工程Ｓ１により溝５を形成した後に感光性樹脂２１を軟化させて隔壁６の側面上端部まで流動させる。次に電極堆積工程Ｓ２において電極材料を堆積し、次に電極形成工程Ｓ３において感光性樹脂２１を除去する。つまり、隔壁６の上面の感光性樹脂２１が流動して隔壁６の上端部を覆うので、感光性樹脂２１を除去すれば上端部の一部が隔壁６の上面の高さよりも溝５の深さ方向に低い駆動電極７が形成される。従って、隔壁６の側面の駆動電極７と隔壁６の上面の引出電極とを同時に形成することができ、隔壁６の側面と上面の角部を面取りする工程や側面の上端部電極を追加的に除去する工程を必要としない。なお、上記のように感光性樹脂２１のパターニング後に電極材料を堆積し、次に感光性樹脂２１を除去して電極パターンを形成するリフトオフ法では感光性樹脂２１はマスクとして機能している。
【００６８】
＜液体噴射装置＞
（第四実施形態）
図１１は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射装置３０の模式的な斜視図である。
液体噴射装置３０は、上記本発明に係る液体噴射ヘッド１、１’を往復移動させる移動機構４３と、液体噴射ヘッド１、１’に液体を供給する液体供給管３３、３３’と、液体供給管３３、３３’に液体を供給する液体タンク３１、３１’を備えている。各液体噴射ヘッド１、１’は本発明に係る液体噴射ヘッド１から構成される。即ち、基板表面に並列する複数の溝と、隣接する溝を離隔する隔壁を有するアクチュエータ基板と、溝を覆い、アクチュエータ基板の基板表面に接合するカバープレートと、溝に連通するノズルを有し、アクチュエータ基板の端面に接合するノズルプレートと、を備えている。このアクチュエータ基板は、液滴吐出用の吐出チャンネルと液滴を吐出しないダミーチャンネルが交互に配列している。そして、アクチュエータ基板の基板表面の後方端近傍には、吐出チャンネルの側面に形成した駆動電極に接続する共通引出電極とダミーチャンネルの当該吐出チャンネル側の側面に形成した駆動電極に接続する個別引出電極が設置されている。共通引出電極は個別引出電極よりも前方端側に位置している。フレキシブル基板には、共通引出電極に電気的に接続する共通配線電極と、個別引出電極に電気的に接続する個別配線電極が設置されている。
【００６９】
具体的に説明する。液体噴射装置３０は、紙等の被記録媒体３４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段４１、４２と、被記録媒体３４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１、１’と、液体タンク３１、３１’に貯留した液体を液体供給管３３、３３’に押圧して供給するポンプ３２、３２’と、液体噴射ヘッド１を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構４３等を備えている。
【００７０】
一対の搬送手段４１、４２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体３４を主走査方向に搬送する。移動機構４３は、副走査方向に延びた一対のガイドレール３６、３７と、一対のガイドレール３６、３７に沿って摺動可能なキャリッジユニット３８と、キャリッジユニット３８を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト３９と、この無端ベルト３９を図示しないプーリを介して周回させるモータ４０を備えている。
【００７１】
キャリッジユニット３８は、複数の液体噴射ヘッド１、１’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク３１、３１’は対応する色の液体を貯留し、ポンプ３２、３２’、液体供給管３３、３３’を介して液体噴射ヘッド１、１’に供給する。各液体噴射ヘッド１、１’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット３８を駆動するモータ４０の回転及び被記録媒体３４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体３４上に任意のパターンを記録することできる。
【００７２】
この構成により、アクチュエータ基板上の端子電極数に対しフレキシブル基板上の配線電極数が低減し、配線密度が概ね１／２となる。更に、溝５に形成した駆動電極７とフレキシブル基板４の配線電極とが交差する領域において駆動電極７の上端部を隔壁６の上面より深く形成したのでフレキシブル基板４の配線電極と溝５に形成した駆動電極７とが電気的に接触することがない。その結果、フレキシブル基板４のアクチュエータ基板２に対する接着が容易となり、製造歩留まり向上させることができる。
【符号の説明】
【００７３】
１ 液体噴射ヘッド
２ アクチュエータ基板
３ カバープレート
４ フレキシブル基板
５ 溝
６ 隔壁
７ 駆動電極
８ 引出電極
９ 配線電極
１０ 面取り部
１１ 吐出チャンネル
１２ ダミーチャンネル
１３ 封止材
１４ 液体供給室
１５ スリット
１６ ノズルプレート
１７ ノズル
１８ 保護部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を吐出して被記録媒体に画像や文字、あるいは薄膜材料を形成する液体噴射ヘッド及びこれを用いた液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録紙等にインク滴を吐出し、文字、図形を描画する、あるいは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜のパターンを形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料を液体タンクから供給管を介して液体噴射ヘッドに供給し、液体噴射ヘッドに形成した微小空間にこのインクを充填し、駆動信号に応じて微小空間の容積を瞬間的に縮小し溝に連通するノズルから液滴を吐出させる。
【０００３】
図１２はこの種のインクジェットヘッド５１の分解斜視図を表す。インクジェットヘッド５１は、表面に多数の溝５６が形成された圧電体基板５２と、液体供給室６２とスリット６３が形成されたカバープレート５４と、液体を吐出するためのノズル６４を備えたノズルプレート５５と、駆動回路で生成され駆動信号を圧電体基板５２に供給するためのフレキシブル基板５３などから構成される。各溝５６はカバープレート５４により上部開口を塞がれてチャンネルを構成する。各溝５６は隔壁５７により仕切られ、隔壁５７の側面には隔壁５７を駆動するための駆動電極５９が形成されている。各駆動電極５９は圧電体基板５２の後方端ＲＥの表面に形成した引出電極６０に接続されている。圧電体から成る隔壁５７は垂直方向に分極されている。隔壁５７の両側面に形成した駆動電極５９に駆動信号を与えることにより、隔壁５７は厚みすべり変形を生じる。予め溝５６から成るチャンネルに液体を充填しておき、駆動時に隔壁５７を変形させることにより、チャンネルの容積が変化して、圧電体基板５２の前方端ＦＥの表面に接合したノズルプレート５５のノズル６４からインクが吐出される。
【０００４】
図１３は、圧電体基板５２の後方端ＲＥ近傍の表面に接着したフレキシブル基板５３を圧電体基板５２から分離し、下方にずらした状態の圧電体基板５２とフレキシブル基板５３の上面模式図である。圧電体基板５２の表面には溝からなるチャンネルが形成され、各チャンネルはダミーチャンネルＤ１〜Ｄｎ＋１と液滴を吐出する吐出チャンネルＣ１〜Ｃｎが交互に配置されている。各チャンネルを区画する隔壁５７の側面には隔壁５７を変形駆動するための駆動電極５９が形成されている。圧電体基板５２の後方端ＲＥ近傍の表面には各チャンネルの駆動電極５９に電気的に接続する引出電極６０が形成されている。例えば、吐出チャンネルＣ１を構成する両隔壁５７の吐出チャンネル側の両側面には駆動電極５９ｃ１が形成され、第一引出電極６０ｃ１に接続されている。ダミーチャンネルＤ１の吐出チャンネルＣ１側の側面には駆動電極５９ｄ１が形成され、ダミーチャンネルＤ２の吐出チャンネルＣ１側の側面には駆動電極５９ｄ２が形成され、いずれも第二引出電極６０ｄ１に電気的に接続されている。他の吐出チャンネルＣ２〜Ｃｎや、ダミーチャンネルＤ２〜Ｄｎ＋１や第一及び第二引出電極６０ｃ、６０ｄも同様の構成を備えている。
【０００５】
フレキシブル基板５３の圧電体基板５２側の表面には駆動電極５９に駆動信号を供給するための配線電極６１が形成されている。フレキシブル基板５３は矢印で示すように圧電体基板５２の後方端ＲＥ側の表面に移動させて配線電極６１ｄ１が引出電極６０ｄ１に、配線電極６１ｃ１が引出電極６０ｃ１に、配線電極６１ｄ２が引出電極６０ｄ２にそれぞれ電気的に接続して圧電体基板５２の表面に接着されている。その他の配線電極６１も同様である。
【０００６】
図１４は、他のインクジェットヘッドを表す斜視図である（特許文献１の図１）。圧電セラミックス基板７１の下面にチャンネルを構成する多数の溝が形成されている。圧電セラミックス基板７１の前端部の表面７４には図示しないノズルプレートが接合し、ノズルプレートのノズルに溝からなるインク室７２が連通する。下面の各インク室７２を区画する隔壁には駆動電極が形成され、各駆動電極は引出電極７６により表面７４を経由して表面７５に引き出されている。表面７４において電極は絶縁部７３により分離され、表面７５において引出電極７６は絶縁部７７により電気的に分離されている。引出電極７６は後方端上面の電気接続端７８において電気配線７９と接続して図示しない駆動回路に接続している。この例においては、インク室７２のピッチＷ１よりも電気接続端７８のピッチＷ２を大きく形成して、外部接続回路との接続を容易にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−２９９７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図１２及び図１３に示す従来例において、フレキシブル基板５３に形成した配線電極６１の引出電極６０との接続点のピッチＰ１は、圧電体基板５２に形成したチャンネルの配列ピッチＰ２と同程度としなければならない。しかし、近年チャンネル数が増大するとともにその配列ピッチＰ２が狭くなってきている。そのために、フレキシブル基板５３の配線電極６１の引出電極６０との接続点のピッチＰ１も狭ピッチ化しなければならず、位置合わせを行って実装する際の位置合わせ精度が厳しく、製造が困難となる、あるいは製造歩留まりが悪化する等の課題があった。
【０００９】
また、図１４に示すように圧電セラミックス基板７１の裏面側に引出電極７６を形成するためには、圧電セラミックス基板７１の前方端の表面７４及び上方の表面７５に電極パターンを形成しなければならない。そのため、製造工程が複雑となって量産性が低下する課題があった。
【００１０】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、簡便に構成することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明による液体噴射ヘッドは、基板表面の前方端から後方端の方向に細長く、互いに隔壁により離隔し、前記方向に交差する方向に配列する複数の溝と、前記隔壁の側面に形成された駆動電極と、前記駆動電極に電気的に接続し、前記基板表面の後方端近傍に形成された引出電極とを有するアクチュエータ基板と、前記基板表面に接合し、前記複数の溝の上部開口を塞いで複数のチャンネルを構成するカバープレートと、前記基板表面の後方端近傍に接着し、前記引出電極に電気的に接続する配線電極を有するフレキシブル基板と、を備え、前記複数のチャンネルは、液体を吐出する吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に配列し、前記ダミーチャンネルを構成する溝は前記アクチュエータ基板の後方端まで延在し、前記引出電極は、前記吐出チャンネルの両側に隣接する２つのダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記２つのダミーチャンネルの間であり、前記基板表面の後方端近傍に形成された個別引出電極と、前記吐出チャンネルの２つの側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記基板表面の後方端近傍であり、前記個別引出電極よりも前方端の側に形成された共通引出電極とを有し、前記配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記共通引出電極と他の吐出チャンネルに対応する他の共通引出電極とを電気的に接続する共通配線電極と、各吐出チャンネルに対応する個別引出電極のそれぞれに個別に電気的に接続する複数の個別配線電極を有し、前記共通配線電極と前記駆動電極とが交差する共通配線交差領域において、前記ダミーチャンネルを構成する溝の側面に形成された駆動電極は、その上端部が前記基板表面よりも溝の深さ方向に深く形成されることとした。
【００１２】
また、前記共通配線交差領域において、前記基板表面と前記ダミーチャンネルを構成する溝の側面との間の角部が深さ方向に切削されることとした。
【００１３】
また、前記吐出チャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端の手前まで延在することとした。
【００１４】
また、前記吐出チャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端まで延在し、前記個別引出電極は、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第一の個別引出電極と、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第二の個別引出電極とを含み、前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極は前記第一の個別引出電極と電気的に接続し、前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極は前記第二の個別引出電極と電気的に接続し、前記共通引出電極は、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第一の共通引出電極と、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第二の共通引出電極とを含み、前記吐出チャンネルを構成する溝の一方の側の側面に形成された駆動電極は前記第一の共通引出電極に電気的に接続し、前記吐出チャンネルを構成する溝の他方の側の側面に形成された駆動電極は前記第二の共通引出電極に電気的に接続し、前記共通配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記第一の共通引出電極と前記第二の共通引出電極とを電気的に接続することとした。
【００１５】
また、前記個別配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記第一の個別引出電極と前記第二の個別引出電極とを電気的に接続することとした。
【００１６】
また、前記個別配線電極と前記駆動電極とが交差する個別配線交差領域において、前記吐出チャンネルを構成する溝の側面に形成された駆動電極は、その上端部が前記基板表面よりも溝の深さ方向に深く形成されることとした。
【００１７】
また、前記個別配線交差領域において、前記基板表面と前記吐出チャンネルを構成する溝の側面との間の角部が深さ方向に切削されることとした。
【００１８】
本発明の液体噴射装置は、上記いずれかに記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。
【００１９】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、アクチュエータ基板の基板表面に互いに隔壁により離隔する複数の溝を形成する溝形成工程と、前記隔壁の側面と前記隔壁の上面に電極材料を堆積する電極堆積工程と、前記隔壁の側面に、上端部の一部が前記上面の高さよりも前記溝の深さ方向に低い形状の駆動電極を形成するとともに、前記上面に引出電極を形成する電極形成工程と、配線電極を形成したフレキシブル基板を前記隔壁の上面に接着し、前記引出電極と前記配線電極とを電気的に接続するフレキシブル基板接着工程と、を備えることとした。
【００２０】
また、前記電極形成工程は、前記側面の上端部に堆積した電極の一部を除去して前記駆動電極を形成する駆動電極形成工程と、前記隔壁の前記上面に堆積した電極をパターニングして引出電極を形成する引出電極形成工程とを含むこととした。
【００２１】
また、前記駆動電極形成工程は、前記隔壁の前記上面と前記側面との間の角部を面取りする工程からなることとした。
【００２２】
また、前記電極形成工程は、前記電極堆積工程の前に前記隔壁の前記上面又は前記上面の近傍にマスクを設置し、前記電極堆積工程の後に前記マスクを除去して前記駆動電極と前記引出電極を形成する工程であることとした。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の液体噴射ヘッドは、基板表面の前方端から後方端の方向に細長く、互いに隔壁により離隔し、前記方向に交差する方向に配列する複数の溝と、前記隔壁の側面に形成された駆動電極と、前記駆動電極に電気的に接続し、前記基板表面の後方端近傍に形成された引出電極とを有するアクチュエータ基板と、前記基板表面に接合し、前記複数の溝の上部開口を塞いで複数のチャンネルを構成するカバープレートと、前記基板表面の後方端近傍に接着し、前記引出電極に電気的に接続する配線電極を有するフレキシブル基板と、を備えている。前記複数のチャンネルは、液体を吐出する吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に配列し、前記ダミーチャンネルを構成する溝は前記アクチュエータ基板の後方端まで延在している。前記引出電極は、前記吐出チャンネルの両側に隣接する２つのダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記２つのダミーチャンネルの間であり、前記基板表面の後方端近傍に形成された個別引出電極と、前記吐出チャンネルの２つの側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記基板表面の後方端近傍であり、前記個別引出電極よりも前方端の側に形成された共通引出電極とを有している。前記配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記共通引出電極と他の吐出チャンネルに対応する他の共通引出電極とを電気的に接続する共通配線電極と、各吐出チャンネルに対応する個別引出電極のそれぞれに個別に電気的に接続する複数の個別配線電極を有している。前記フレキシブル基板の共通配線電極と前記駆動電極とが交差する共通配線交差領域において、前記ダミーチャンネルを構成する溝の側面に形成された駆動電極は、その上端部が前記基板表面よりも溝の深さ方向に深く形成されている。
【００２４】
この構成により、アクチュエータ基板上の引出電極数に対し、フレキシブル基板上の配線電極数を概ね１／２に低減できる。加えて、フレキシブル基板上の配線電極と隔壁の側面上に形成した駆動電極とが平面視交差する交差部において両電極間に間隙を設けたので、両電極の絶縁性を向上させることができる。その結果、アクチュエータ基板の引出電極とフレキシブル基板の配線電極の電気的な接続が容易となり、製造歩留まりを向上させ製造コストを低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な分解斜視図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドに用いるアクチュエータ基板の説明図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドのアクチュエータ基板にフレキシブル基板を接着した状態を表す図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドに用いるアクチュエータ基板の模式的な部分斜視図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な部分上面図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な部分縦断面図である。
【図７】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な縦断面図である。
【図８】本発明の液体噴射ヘッドの基本的な製造方法を表す工程図である。
【図９】本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【図１０】本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【図１１】本発明の第四実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。
【図１２】従来公知の液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図１３】従来公知の圧電体基板とフレキシブル基板の上面模式図である。
【図１４】従来公知のインクジェットヘッドの模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
＜液体噴射ヘッド＞
（第一実施形態）
図１〜図３は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１を説明するための図であり、図１は液体噴射ヘッド１の模式的な分解斜視図であり、図２はアクチュエータ基板２の説明図であり、図３はアクチュエータ基板２にフレキシブル基板４を接着した状態を表す図である。
【００２７】
図１に示すように、液体噴射ヘッド１はアクチュエータ基板２とカバープレート３とフレキシブル基板４とノズルプレート１６を備えている。アクチュエータ基板２は、基板表面ＳＦの前方端ＦＥから後方端ＲＥのｙ方向に細長く、互いに隔壁６により離隔して上記ｙ方向に交差するｘ方向に配列する複数の溝５と、隔壁６の側面に形成された駆動電極７と、駆動電極７に電気的に接続し、基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に形成された引出電極８とを有する。カバープレート３は、基板表面ＳＦに接合し、複数の溝５の上部開口を塞いでチャンネルを構成する。フレキシブル基板４は、基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に接着され、引出電極８に電気的に接続する配線電極９（図３に示す共通配線電極９ａ及び個別配線電極９ｂ）を有する。ノズルプレート１６は、ノズル１７を有し、アクチュエータ基板２及びカバープレート３の前方端ＦＥに接合する。アクチュエータ基板２に形成した溝５は、液体を吐出する吐出チャンネル１１を構成する溝５と液体を吐出しないダミーチャンネル１２を構成する溝５とが交互に配列している。カバープレート３は液体供給室１４を備え、液体供給室１４はその底面に形成したスリット１５を介して吐出チャンネル１１用の溝５に連通している。つまり、液体供給室１４に供給された液体は、スリット１５を介して吐出チャンネル１１に流入し、ノズル１７から吐出される。
【００２８】
図２（ａ）は、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥ近傍の模式的な部分斜視図であり、（ｂ）は、部分ＡＡの縦断面模式図である。ダミーチャンネル１２を構成する溝５は、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥまで延在し、吐出チャンネル１１を構成する溝５は、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥの手前まで延在している。ダミーチャンネル１２と吐出チャンネル１１とは交互に配列し、各チャンネルを構成する溝５は、隔壁６を介して離隔している。各隔壁６はその側面の両方に駆動電極７を備えている。各駆動電極７は溝５の最も深い深さの略１／２よりも上部に形成されている。個別引出電極８ｂは、吐出チャンネル１１の両側に隣接する２つのダミーチャンネル１２の間の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に形成されている。個別引出電極８ｂは、吐出チャンネル１１の両側に隣接する２つのダミーチャンネル１２の、吐出チャンネル１１側の各隔壁６の側面に形成される駆動電極７と電気的に接続している。共通引出電極８ａは、個別引出電極８ｂよりも前方端ＦＥ側の基板表面ＳＦに形成されており、吐出チャンネル１１を構成する２つの隔壁６に形成した駆動電極７と電気的に接続している。
【００２９】
共通配線交差領域ＣＲは、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａとダミーチャンネル１２の駆動電極７とが交差する領域を表し（図３（ａ）を参照。）、この領域のダミーチャンネル１２の側面と基板表面ＳＦとの角部に面取り部１０を形成している。この面取り部１０において、駆動電極７の上端部は基板表面ＳＦの高さよりも溝５の深さ方向に距離ｇ低い。具体的には、溝５を形成し、次に駆動電極７を形成した後に、ダイシングブレードを用いて溝５の側面と上面との間の角部を面取りする。これにより、溝５の側面と基板表面ＳＦとの間の角部が駆動電極７とともに切削されて駆動電極７の上端部は基板表面ＳＦよりも深さ方向に深くなる。
【００３０】
図３（ａ）は、アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥにフレキシブル基板４を接着した液体噴射ヘッド１の模式的な部分斜視図であり、（ｂ）は、部分ＢＢの縦断面模式図である。フレキシブル基板４は、アクチュエータ基板２側の表面に形成した共通配線電極９ａと複数の個別配線電極９ｂを備えている。共通配線電極９ａは、共通配線交差領域ＣＲにおいて各共通引出電極８ａに電気的に接続し、各個別配線電極９ｂは、それぞれ対応する個別引出電極８ｂに電気的に接続している。つまり、複数の共通引出電極８ａが１本の共通配線電極９ａに接続するので、フレキシブル基板４上の配線電極数は略１／２に減少する。また、個別引出電極８ｂはｘ方向に１個の吐出チャンネル１１の幅と２個の隔壁６の厚さの合計の長さを有し、個別引出電極８ｂに対する個別配線電極９ｂの位置合わせ精度が大幅に緩和されている。共通配線電極９ａと駆動電極７が交差する共通配線交差領域ＣＲに面取り部１０を形成したので、共通配線電極９ａと駆動電極７とは電気的に分離する。
【００３１】
なお、本第一実施形態において、アクチュエータ基板２としてチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）セラミックス基板を使用し、予め基板面に垂直方向に分極処理を施している。アクチュエータ基板２の前方端ＦＥから後方端ＲＥまでの距離は略１１ｍｍであり、溝５の幅は７０μｍ〜８０μｍであり、溝５の深さは３００μｍ〜５００μｍであり、面取り部１０の長さは略２．５ｍｍであり、距離ｇは２０μｍ〜３０μｍである。
【００３２】
この液体噴射ヘッド１は次のように動作する。まず、液体供給室１４にインク等の液体を供給し、スリット１５を介して吐出チャンネル１１に液体を充填する。図示しない駆動回路により駆動信号を生成し、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａをＧＮＤにして各個別配線電極９ｂに駆動信号が与えられる。駆動信号は個別引出電極８ｂからダミーチャンネル１２の吐出チャンネル１１側の駆動電極７に伝達し、一方、ＧＮＤ電位は共通配線電極９ａから共通引出電極８ａに伝達し、吐出チャンネル１１の２つの側壁の駆動電極７に伝達する。その結果、吐出チャンネル１１を構成する２つの隔壁６はその厚さ方向に印加された電界により厚み滑り変形し、吐出チャンネル１１内の容積が変化してその内部に充填された液体が図示しないノズルから吐出される。
【００３３】
このように、フレキシブル基板４に形成した共通引出電極８ａが各吐出チャンネル１１に対応する各共通引出電極８ａに電気的に共通に接続するので、フレキシブル基板４上の配線電極の数を概ね１／２に減少させて配線電極のピッチが略２倍となる。これに伴い、共通引出電極８ａと共通配線電極９ａとの間のｘ方向の位置合わせがほぼ不要となり、個別引出電極８ｂと個別配線電極９ｂとの間のｘ方向の位置合わせ精度は従来法と比較して略１／２に緩和される。更に、共通配線交差領域ＣＲにおいてダミーチャンネル１２の側面に形成した駆動電極７の上端部を基板表面ＳＦよりも深さ方向に深く形成したので、共通配線電極９ａと駆動電極７との間の絶縁性が向上した。その結果、アクチュエータ基板２の基板表面にフレキシブル基板４を接着することが容易となり、製造歩留まりを向上させ製造コストを低減させることができる。
【００３４】
なお、ノズルプレート１６をアクチュエータ基板２の前方端ＦＥに接合して−ｙ方向に液滴を吐出する構成を説明したが、本発明はこの構成に限定されない。例えば吐出チャンネル１１を構成する溝５の底面に開口部を形成し、ノズルプレート１６をアクチュエータ基板２の裏面側に設置し、ノズルプレート１６に形成するノズル１７を上記開口部に連通させて、液滴を−ｚ方向に吐出させてもよい。また、面取り部１０のＸ方向の断面形状は円弧形状の他に矩形形状や傾斜形状であっても良い。
【００３５】
また、面取り部１０を形成して駆動電極７の上端部を基板表面ＳＦの高さよりも低く（溝の深さ方向に深く）形成したが、本発明はこれに限定されない。例えばレーザビームやフォトリソグラフィ及びエッチング法により、共通配線交差領域ＣＲにおける駆動電極７の上端部のみを除去し、隔壁６の上端角部を残してもよい。また、前述した実施形態では、駆動電極７を形成した後に、ダミーチャネル１２の共通配線交差領域ＣＲにて駆動電極７の上端部のみを除去する構成を示したが、この形態に限られるものではない。すなわち、駆動電極７を形成する前に、ダミーチャネル１２の共通配線交差領域ＣＲにてダミーチャネル１２の側面上端部をマスクすることにより、本実施形態を実現することも可能である。つまり、ダミーチャネル１２の側面上端部をマスクした上で電極材料を堆積して駆動電極７を形成し、その後にマスクを除去すれば、共通配線交差領域ＣＲにて共通配線電極９ａとダミーチャネル１２の駆動電極７が接触することがない。要は、フレキシブル基板４をアクチュエータ基板２に接着したときに、共通配線電極９ａと駆動電極７が電気的に短絡しないように、駆動電極７の上端部を基板表面ＳＦの位置よりも深さ方向に深く形成すればよい。
【００３６】
（第二実施形態）
図４は本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１のアクチュエータ基板２の後方端ＲＥ側を表す模式的な部分斜視図である。第一実施形態と異なる部分は、吐出チャンネル１１を構成する溝５が後方端ＲＥまで延在し、一つの吐出チャンネル１１に対応する共通引出電極８ａや個別引出電極８ｂがこの吐出チャンネル１１の両側に位置する２つの隔壁６の上面に分割されている点である。
【００３７】
液体噴射ヘッド１は、アクチュエータ基板２と、その上に接合した図示しないカバープレートと、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥ近傍の基板表面に接着したフレキシブル基板４（図５参照）と、アクチュエータ基板２及びカバープレートの前方端ＦＥに接合した図示しないノズルプレートを備えている。カバープレート及びノズルプレートの構成は第一実施形態と同様なので説明を省略する。
【００３８】
図４に示すように、アクチュエータ基板２は、基板表面ＳＦの前方端ＦＥから後方端ＲＥのｙ方向に細長く、互いに隔壁６により離隔して上記ｙ方向に交差するｘ方向に配列する複数の溝５を備えている。吐出チャンネル１１を構成する溝５は前方端ＦＥから後方端ＲＥまで延在し、ダミーチャンネル１２を構成する溝５も前方端ＦＥから後方端ＲＥまで延在し、互いに交互にｘ方向に配列している。各隔壁６は、その両側面の隔壁６の高さの略１／２よりも上部に駆動電極７を有しており、駆動電極７はアクチュエータ基板２の前方端ＦＥから後方端ＲＥまで延在する。
【００３９】
吐出チャンネル１１の一方の側（−ｘ方向）には隔壁６-が、他方の側（＋ｘ方向）には隔壁６+が設置され、両方の隔壁６-、６+の側面の上半分には駆動電極７が形成されている。アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍には個別配線交差領域ＳＲが設定され、個別配線交差領域ＳＲよりも前方端ＦＥ側の基板表面ＳＦには共通配線交差領域ＣＲが設定されている。個別配線交差領域ＳＲは、フレキシブル基板４をアクチュエータ基板２に接着したときに吐出チャンネル１１の側面に形成した駆動電極７とフレキシブル基板４に形成した個別配線電極９ｂとが平面視交差する領域である。共通配線交差領域ＣＲは、フレキシブル基板４をアクチュエータ基板２に接着したときにダミーチャンネル１２の側面に形成した駆動電極７とフレキシブル基板４に形成した共通引出電極８ａとが平面視交差する領域である。
【００４０】
図４に示すように、隔壁６-は、その上面、即ち基板表面ＳＦであり、個別配線交差領域ＳＲ内の−ｘ側には個別引出電極８ｂ-を備え、共通配線交差領域ＣＲ内であって＋ｘ側には共通引出電極８ａ-を備えている。個別引出電極８ｂ-は隔壁６-のダミーチャンネル１２-に形成される駆動電極７に電気的に接続し、共通引出電極８ａ-は隔壁６-の吐出チャンネル１１側の図示しない駆動電極に電気的に接続している。同様に、隔壁６+は、その上面、即ち基板表面ＳＦであり、個別配線交差領域ＳＲ内の＋ｘ側には個別引出電極８ｂ+を備え、共通配線交差領域ＣＲ内であって−ｘ側には共通引出電極８ａ+を備えている。個別引出電極８ｂ+は隔壁６+のダミーチャンネル１２+側に形成される図示しない駆動電極に電気的に接続し、共通引出電極８ａ+は隔壁６+の吐出チャンネル１１側の駆動電極７に電気的に接続している。他の吐出チャンネルやダミーチャンネルも同様の構造を備えている。
【００４１】
更に、共通配線交差領域ＣＲにおいて、ダミーチャンネル１２-、１２+を構成する隔壁６-、６+の側面（即ち溝５の側面）と基板表面ＳＦとの間の角部に面取り部１０を設けている。この面取り部１０を形成したことにより、側面に形成した駆動電極７は、その上端部が基板表面ＳＦの高さよりも溝５の深さ方向に低い。同様に、個別配線交差領域ＳＲにおいて、吐出チャンネル１１を構成する溝５の両側面と基板表面ＳＦとの間の角部に面取り部１０を設けている。この面取り部１０により、側面に形成した駆動電極７は、その上端部が基板表面ＳＦの高さよりも溝５の深さ方向に低い。他の吐出チャンネルやダミーチャンネルも同様の構造を備えている。
【００４２】
図５は、液体噴射ヘッド1の模式的な部分上面図であり、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥ近傍の角部を表している。カバープレート３はアクチュエータ基板２の上に接合している。カバープレート３の後方端ＲＥ側の端部に封止材１３が設置され、吐出チャンネル１１を構成する溝５を封止して、吐出チャンネル１１に充填された液体が後方端ＲＥ側に漏えいすることを防止している。フレキシブル基板４はアクチュエータ基板２の後方端ＲＥから封止材１３の手前までの基板表面ＳＦに接着されている。また、封止材１３について図５では、−ｘ方向から＋ｘ方向にわたって封止材１３を形成しているが、インクが充填される吐出チャンネル１１のみに封止材１３を形成し、吐出チャンネル１１の後方端ＲＥ側を封止する構成でもかまわない。
【００４３】
アクチュエータ基板２は、その基板表面に吐出チャンネル１１、ダミーチャンネル１２-、１２+、隔壁６-、６+を備え、隔壁６-、６+の上面（即ちアクチュエータ基板２の基板表面ＳＦ）に共通引出電極８ａ-、８ａ+、個別引出電極８ｂ-、８ｂ+を備え、その配置は図４と同様である。フレキシブル基板４は、アクチュエータ基板２側の表面の外周に沿って共通配線電極９ａを備え、共通配線電極９ａよりも内側に複数の個別配線電極９ｂを備えている。共通配線交差領域ＣＲは、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａとダミーチャンネル１２-、１２+等の両側面に形成した駆動電極７とが交差する領域である。個別配線交差領域ＳＲは、フレキシブル基板４の個別配線電極９ｂと吐出チャンネル１１の両側面に形成した駆動電極７とが交差する領域である。共通配線交差領域ＣＲと個別配線交差領域ＳＲに形成した面取り部１０は図４において説明したと同様である。
【００４４】
フレキシブル基板４は、アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ領域に図示しない異方性導電膜を介して接着されている。これにより、共通配線電極９ａは隔壁６-に設置される共通引出電極８ａ-、隔壁６+に設置される共通引出電極８ａ+、その他の隔壁６に設置される他の共通引出電極８ａと電気的に接続する。また、個別配線電極９ｂは吐出チャンネル１１を跨いでその両側の隔壁６-に設置される個別引出電極８ｂ-と隔壁６+に設置される個別引出電極８ｂ+とを電気的に接続する。その他の吐出チャンネル１１も同様である。
【００４５】
図６（ａ）は、図５に示す部分ＣＣの縦断面の一部を表し、図６（ｂ）は、図５に示す部分ＤＤの縦断面の一部を表す。図６（ａ）を用いて説明する。吐出チャンネル１１の一方の側の隔壁６-の上面に形成した第一の共通引出電極８ａ-と他方の側の隔壁６+の上面に形成した第二の共通引出電極８ａ+がフレキシブル基板４の共通配線電極９ａに電気的に接続する。他の吐出チャンネル１１の第一及び第二の両共通引出電極８ａ-、８ａ+も同じ共通配線電極９ａに電気的に接続する。また、共通配線交差領域ＣＲにおいて、吐出チャンネル１１の一方の側の隔壁６-のダミーチャンネル１２-の側面と上面の角部に面取り部１０を形成し、駆動電極７の上端部と基板表面ＳＦの位置との間に距離ｇを設けた。これにより、駆動電極７と共通配線電極９ａとは電気的に分離する。他のダミーチャンネル１２も同様の構造を有している。
【００４６】
図６（ｂ）を用いて説明する。吐出チャンネル１１の一方の側の隔壁６-の上面に形成した第一の個別引出電極８ｂ-と、吐出チャンネル１１の他方の側の隔壁６+の上面に形成した第二の個別引出電極８ｂ+はいずれもフレキシブル基板４の個別配線電極９ｂに電気的に接続する。他の吐出チャンネルの第一及び第二の個別引出電極８ｂ-、８ｂ+も同じ構造を有している。また、個別配線交差領域ＳＲにおいて、吐出チャンネル１１を構成する両隔壁６-、６+の側面と上面の角部に面取り部１０を形成し、駆動電極７の上端部と基板表面ＳＦの位置との間に距離ｇを設けて、駆動電極７と個別配線電極９ｂを電気的に分離させた。
【００４７】
図７は、図５に示す部分ＥＥの模式的な縦断面図である。アクチュエータ基板２の上にカバープレート３を接合し、アクチュエータ基板２に形成した溝５とカバープレート３により吐出チャンネル１１を構成している。カバープレート３の後方端ＲＥ側の端部に封止材１３をモールドし、吐出チャンネル１１に充填した液体が後方側に漏洩しないようにしている。アクチュエータ基板２の基板表面の後方端ＲＥ近傍にフレキシブル基板４を接着している。フレキシブル基板４の表面には共通配線電極９ａと複数の個別配線電極９ｂが設置され、アクチュエータ基板２の基板表面の後方端ＲＥ近傍に形成した図示しない共通引出電極と個別引出電極に図示しない異方性導電膜を介して電気的に接続している。
【００４８】
液体供給室１４に供給されたインク等の液体はスリット１５を介して吐出チャンネル１１に充填される。図示しない駆動回路から各個別配線電極９ｂに駆動信号が供給されると、個別引出電極８ｂを介してダミーチャンネル１２の吐出チャンネル１１側の側面に形成された駆動電極７にその駆動信号が与えられる。一方、共通配線電極９ａはＧＮＤに接続され、共通配線電極９ａに接続する共通引出電極もＧＮＤに接続される。従って吐出チャンネル１１の両側面に形成された駆動電極もＧＮＤに接続される。吐出チャンネル１１の両隔壁に駆動信号が与えられると、垂直方向に分極された隔壁は厚み滑り変形して吐出チャンネル１１内の容積が変化する。これにより、吐出チャンネル１１に連通する図示しないノズルから液体が吐出される。なお、本発明の液体噴射ヘッド１は駆動電極７が液体に接触する構造を有しているが、吐出チャンネル１１の側面に形成した駆動電極７は全てＧＮＤに接続される。従って、液体が導電性である場合でも、液体を介して駆動信号が漏れ出すことが無い。また配線電極９の表面には保護部材１８を設置して配線電極９の劣化を防止している。
【００４９】
本実施形態においては、吐出チャンネル１１及びダミーチャンネル１２を構成する溝５を前方端ＦＥから後方端ＲＥに亘ってストレートに形成するので、アクチュエータ基板２の前方端ＦＥから後方端ＲＥまでの長さを縮小させることができる。つまり、溝は円盤状のダイシングブレードを用いて形成するので、第一実施形態のようにアクチュエータ基板２の基板表面の途中まで溝を形成する場合はダイシングブレードの円弧形状が転写される。そのため、基板表面において溝の端部から溝が所定の深さとなるまでの距離が必要となったが、本実施形態の場合はこの距離を必要としないので、その分、小型化することができる。
【００５０】
また、従来例と比較してフレキシブル基板４上の配線電極数が概ね１／２と減少し、配線ピッチが略２倍となる。そのため、アクチュエータ基板２上の引出電極とフレキシブル基板４上の配線電極の位置合わせ精度が緩和されて接続が容易となる。また、配線ピッチを縮小できるのでチャンネル配列の高密度化にも適する。また、共通配線交差領域ＣＲや個別配線交差領域ＳＲにおいて、駆動電極７の上端部を基板表面ＳＦの高さよりも溝の深さ方向に深く形成したので、駆動電極７と共通配線電極９ａや個別配線電極９ｂとの絶縁性が向上した。そのため、配線電極９と駆動電極７の間の絶縁対策を必要としない、あるいは必要としても簡便な方法で済むので、アクチュエータ基板２に対するフレキシブル基板４の接着が極めて容易になる。
【００５１】
なお、上記第一及び第二実施形態において、面取り部１０を形成して駆動電極７の上端部を基板表面ＳＦの位置よりも溝の深さ方向に深く形成したが、本発明はこの構成に限定されない。例えばレーザビームやフォトリソグラフィ及びエッチング法により、共通配線交差領域ＣＲや個別配線交差領域ＳＲにおける駆動電極７の上端部のみを除去し、隔壁６の上端角部を残してもよい。また、駆動電極７の上端部を除去する除去工程を用いないで、隔壁６の側面の上端部にマスクを設置し、その上から電極材料を堆積し、その後マスクを除去して、基板表面ＳＦの位置よりも溝の底面側に低い（深さ方向に深い）上端部を有する駆動電極７を形成することも可能である。この場合も隔壁６の上端角部は残る。
【００５２】
＜液体噴射ヘッドの製造方法＞
図８は、本発明に係る液体噴射ヘッド1の基本的な製造方法を表す工程図である。
まず、溝形成工程Ｓ１において、圧電体基板又は絶縁体基板の上に圧電体を張り合わせたアクチュエータ基板を準備し、このアクチュエータ基板の基板表面に互いに隔壁により離隔する複数の溝を形成する。複数の溝は、フォトリソグラフィ及びエッチング法やサンドブラスト法により、或いはダイシングブレードを用いた切削法により形成することができる。次に、電極堆積工程Ｓ２において、隔壁の側面と隔壁の上面に電極材料を堆積する。金属等の導体をスパッタリング法や真空蒸着法、或いはめっき法により堆積することができる。次に、電極形成工程Ｓ３において、隔壁の側面に、上端部の一部が上面の高さよりも溝の深さ方向に低い形状の駆動電極を形成し、更に、隔壁の上面に引出電極を形成する。引出電極は、隔壁の側面に形成した駆動電極と電気的に接続し、フレキシブル基板等に形成した配線電極と電気的に接続するための端子電極として機能する。次に、フレキシブル基板接着工程Ｓ４において、配線電極を形成したフレキシブル基板をアクチュエータ基板の隔壁の上面に接着し、配線電極と引出電極とを電気的に接続する。駆動電極の上端部の一部を隔壁の上面の高さよりも溝の深さ方向に低く形成する領域は、後にフレキシブル基板をアクチュエータ基板の後端部近傍の隔壁の上面に接着する際に、フレキシブル基板に形成した配線電極と隔壁の側面に形成した駆動電極が平面視交差する領域である。
【００５３】
電極形成工程Ｓ３は、隔壁の側面に堆積した電極の一部を除去して駆動電極を形成する駆動電極形成工程Ｓ５と、隔壁の上面に堆積した電極をパターニングして引出電極を形成する引出電極形成工程Ｓ６とを含めることができる。この場合に、駆動電極形成工程Ｓ５と引出電極形成工程Ｓ６とを個別に実施することができる。駆動電極形成工程Ｓ５として、例えば、電極堆積工程Ｓ２の後にダイシングブレードを用いて隔壁の側面と上面の角部を面取りして隔壁の側面に堆積した電極の上端部を溝の深さ方向に除去する。また、レーザ光を照射して側面上端部の電極を蒸発させて除去する。また、フォトリソグラフィ及びエッチング法により隔壁の側面上端部の電極を除去する。また、駆動電極形成工程Ｓ５と引出電極形成工程Ｓ６とを同時に実施することができる。例えば、電極堆積工程Ｓ２の前に隔壁の側面上端部や隔壁の上面にマスクを設置し、その後電極堆積工程Ｓ２において電極材料を堆積する。次に電極形成工程Ｓ３においてマスクを除去し、上端部の一部が隔壁の上面の高さよりも溝の深さ方向に低い駆動電極を隔壁の側面に、引出電極を隔壁の上面に同時に形成することができる。
【００５４】
本発明の製造方法によれば、アクチュエータ基板の隔壁に形成した駆動電極とフレキシブル基板の配線電極とが交差する交差領域では、駆動電極の上端部が隔壁の上面の高さよりも低くなり、電気的に分離されるので絶縁性が向上した。そのため、配線電極９と駆動電極７の間の絶縁対策を必要としない、あるいは必要としても簡便な方法で済む。以下、液体噴射ヘッドの製造方法について、具体的に説明する。
【００５５】
（第三実施形態）
図９及び図１０は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド１の製造方法を説明するための液体噴射ヘッド１の断面模式図である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００５６】
図９（ａ）及び（ｂ）は基板準備工程を表している。圧電体基板からなるアクチュエータ基板２を準備する。圧電体基板として基板面の垂直方向に分極処理が施されたＰＺＴセラミックス材料を使用している。図９（ｂ）は、アクチュエータ基板２の基板表面に感光性樹脂２１を塗布し、パターニングした状態を表す。感光性樹脂２１のパターンは、例えば引出電極を形成する領域は感光性樹脂２１を除去し、最終的に電極を形成しない領域は感光性樹脂２１を残すようにパターニングする。
【００５７】
図９（ｃ）及び（ｄ）は溝形成工程Ｓ１を表している。ダイシングブレード２２を用いてアクチュエータ基板２の基板表面を切削して溝５を並列に形成する。隣接する溝５は隔壁６により離隔される。第一実施形態の液体噴射ヘッド１の場合は、ダミーチャンネル１２用の溝５はアクチュエータ基板２の前方端ＦＥから後方端ＲＥに亘ってストレートに形成し、吐出チャンネル１１用の溝５はアクチュエータ基板２の前方端から後方端ＲＥの手前まで形成する。第二実施形態の液体噴射ヘッド１の場合は、ダミーチャンネル１２用と吐出チャンネル１１用のいずれの溝５も前方端ＦＥから後方端ＲＥに亘ってストレートに形成する。この場合はダイシングブレード２２の外形形状が転写されないのでアクチュエータ基板２の幅を狭く形成することができる。
【００５８】
図９（ｅ）及び（ｆ）は電極堆積工程Ｓ２を表している。複数の溝５が形成された基板表面に斜め蒸着法により垂直方向ｎに対して角度θ傾斜する方向から導電材料を蒸着する。これにより、溝５を構成する隔壁６の側面に溝５の深さの略１／２から隔壁６の上面にかけて導体膜２３を形成することができる。導電材料として、アルミニウム、金、クロム、チタン等の金属材料を使用することができる。なお、本実施形態においてはアクチュエータ基板２の基板表面の一部が隔壁６の上面を構成している。
【００５９】
図１０（ｇ）は引出電極形成工程Ｓ６を表す。溝形成工程の前に形成した感光性樹脂２１を除去する。これにより感光性樹脂２１が形成されている領域の導体膜２３が除去され、感光性樹脂２１が除去された領域の導体膜２３が残る。これによりアクチュエータ基板２の基板表面に引出電極を形成することができる。
【００６０】
図１０（ｈ）は駆動電極形成工程Ｓ５を表している。駆動電極７とフレキシブル基板に形成した共通配線電極が交差する共通配線交差領域において、ダミーチャンネル１２を構成する２つの隔壁６の側面と上面との間の角部を切削し、面取り部１０を形成する。角部の面取りは溝５の幅よりもわずかに厚いダイシングブレード２２’を用いた。これにより、駆動電極７の上端部を隔壁６の上面の高さよりも深さ方向に低く形成することができる。駆動電極７の上端部を隔壁６の上面の位置から溝５の底面方向に２０μｍ〜３０μｍ切削すれば、隔壁６の上面にフレキシブル基板の共通配線電極を接着しても、駆動電極７と共通配線電極とは電気的に短絡しない。
【００６１】
なお、隔壁６の上面からの切削量が大きくなると面取り部１０の長さが長くなり、個別引出電極８ｂの形成領域まで面取されて個別引出電極８ｂと駆動電極７が電気的に切断される。例えば、直径２インチ（５０．８ｍｍφ）のダイシングブレード２２’を用いて深さ３０μｍの面取り部１０を形成する場合、ダイシングブレード２２’の外周の円弧分で片側１．２３ｍｍ、全体で２．４６ｍｍの長さに亘って面取りされる。仮に深さ１００μｍの面取り部１０を形成する場合はダイシングブレード２２’の外周の円弧分で片側２．２５ｍｍ、全体で４．５ｍｍの長さに亘って面取りされる。つまり、個別引出電極８ｂと駆動電極７が電気的に切断されないようにするためには溝５の長さを長くしなければならず、従って液体噴射ヘッド１が大きくなる。そこで、液体噴射ヘッド１をコンパクトに構成でき、しかもフレキシブル基板４の共通配線電極９ａと駆動電極７が短絡しない切削量（共通配線交差領域ＣＲにおける隔壁６の上面の位置から底面方向への深さ）は１５μｍ〜５０μｍ、好ましくは２０μｍ〜４０μｍ、より好ましくは３０μｍ程度とするのがよい。なお、面取り部１０を形成する際に、溝５の幅より厚さの厚いダイシングブレードを用いたが、例えば溝５を形成したダイシングブレードを用いて溝５の一方の側面と他方の側面を順次面取りしてもよい。
【００６２】
図１０（ｉ）はカバープレート３をアクチュエータ基板２の基板表面に接合するカバープレート接合工程を表す。カバープレート３はアクチュエータ基板２の吐出チャンネル１１を構成する溝５を閉塞し、アクチュエータ基板２の後方端ＲＥ近傍の基板表面に形成した共通引出電極及び個別引出電極を露出させて接着剤により接合する。カバープレート３の液体供給室１４の下部に形成した各スリット１５は、吐出チャンネル１１に連通させて液体供給室１４から液体を充填可能とし、ダミーチャンネル１２はカバープレート３の底面により閉塞して液体供給室１４から液体が供給されない。
【００６３】
図１０（ｊ）はフレキシブル基板接着工程Ｓ４を表す。共通配線電極９ａ及び個別配線電極９ｂを形成したフレキシブル基板４をアクチュエータ基板２の後方端ＲＥ近傍の基板表面に異方性導電膜２４を介して接着する。これにより、アクチュエータ基板２上の共通引出電極８ａ及び個別引出電極８ｂはフレキシブル基板４上の共通配線電極９ａ及び個別配線電極９ｂに異方性導電膜２４を介してそれぞれ電気的に接続する。共通引出電極８ａは吐出チャンネル１１の両側面に形成した駆動電極７に電気的に接続し、個別引出電極８ｂは吐出チャンネル１１に隣接する図示しない両ダミーチャンネルの吐出チャンネル１１側の側面に形成した駆動電極に電気的に接続している。アクチュエータ基板２の上にはカバープレート３が接合し、液体供給室１４はスリット１５を介して吐出チャンネル１１に連通している。フレキシブル基板４に形成した配線電極９ａ、９ｂは保護部材１８により表面が保護されている。
【００６４】
このように、各吐出チャンネル１１に対応する共通引出電極８ａを共通配線電極９ａにより接続したのでフレキシブル基板４上の配線電極を従来例と比較して略１／２に減少させることができる。更に、共通配線交差領域ＣＲにおいて、溝５の側面に形成した駆動電極７の上端部を切削したので、駆動電極７と共通配線電極９ａの絶縁性が向上した。そのため、配線電極９と駆動電極７の間の絶縁対策を必要としない、あるいは必要としても簡便な方法で済むので、アクチュエータ基板２に対するフレキシブル基板４の接着が極めて容易となり、製造コストを削減できる。
【００６５】
なお、本実施形態では第一実施形態で説明した液体噴射ヘッド１の製造方法を説明したが、第二実施形態で説明した液体噴射ヘッド１も同様に製造することができる。この場合は、溝形成工程Ｓ１において、ダミーチャンネル１２用の溝５と同様に吐出チャンネル１１用の溝５をアクチュエータ基板２の前方端ＦＥから後方端ＲＥに亘って形成する。また、駆動電極形成工程Ｓ５においては、共通配線交差領域ＣＲのダミーチャンネル１２に面取り部１０を形成することに加えて、個別配線交差領域ＳＲの吐出チャンネル１１にも面取り部１０を形成する。また、カバープレート接合工程においては、カバープレート３の後方端ＲＥ側の端部に封止材１３を設置して吐出チャンネル１１から液体が漏洩することを防止する。
【００６６】
また、本実施形態では電極のパターニングをリフトオフ法により行ったが、本発明はこれに限定されず、斜め蒸着法により電極を形成した後にフォトリソグラフィ及びエッチング工程を通して電極をパターニングしてもよい。また、駆動電極形成工程Ｓ５において、隔壁６の側面と上面の角部を切削により面取りすることに代えて、レーザビームやフォトリソグラフィ及びエッチング法により駆動電極７の上端部のみを除去しても良い。また、本実施形態では駆動電極形成工程Ｓ５と引出電極形成工程Ｓ６を個別に実施したが本発明はこれに限定されず、駆動電極形成工程Ｓ５と引出電極形成工程Ｓ６を同時に実施することができる。例えば、基板準備工程において感光性樹脂２１を塗布せず、電極堆積工程Ｓ２の前に隔壁６の側面上端部や隔壁の上面にマスクを設置し、その後電極堆積工程Ｓ２において電極材料を堆積する。次に電極形成工程Ｓ３においてマスクを除去し、上端部の一部が隔壁６の上面の高さよりも溝５の深さ方向に低い駆動電極７を隔壁６の側面に、引出電極を隔壁６の上面に同時に形成することができる。従って、隔壁６の側面と上面の角部を面取りする工程や側面の上端部電極を追加的に除去する工程を必要としない。
【００６７】
また、駆動電極形成工程Ｓ５と引出電極形成工程Ｓ６を同時に実施する他の方法として、例えば、溝形成工程Ｓ１により溝５を形成した後に感光性樹脂２１を軟化させて隔壁６の側面上端部まで流動させる。次に電極堆積工程Ｓ２において電極材料を堆積し、次に電極形成工程Ｓ３において感光性樹脂２１を除去する。つまり、隔壁６の上面の感光性樹脂２１が流動して隔壁６の上端部を覆うので、感光性樹脂２１を除去すれば上端部の一部が隔壁６の上面の高さよりも溝５の深さ方向に低い駆動電極７が形成される。従って、隔壁６の側面の駆動電極７と隔壁６の上面の引出電極とを同時に形成することができ、隔壁６の側面と上面の角部を面取りする工程や側面の上端部電極を追加的に除去する工程を必要としない。なお、上記のように感光性樹脂２１のパターニング後に電極材料を堆積し、次に感光性樹脂２１を除去して電極パターンを形成するリフトオフ法では感光性樹脂２１はマスクとして機能している。
【００６８】
＜液体噴射装置＞
（第四実施形態）
図１１は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射装置３０の模式的な斜視図である。
液体噴射装置３０は、上記本発明に係る液体噴射ヘッド１、１’を往復移動させる移動機構４３と、液体噴射ヘッド１、１’に液体を供給する液体供給管３３、３３’と、液体供給管３３、３３’に液体を供給する液体タンク３１、３１’を備えている。各液体噴射ヘッド１、１’は本発明に係る液体噴射ヘッド１から構成される。即ち、基板表面に並列する複数の溝と、隣接する溝を離隔する隔壁を有するアクチュエータ基板と、溝を覆い、アクチュエータ基板の基板表面に接合するカバープレートと、溝に連通するノズルを有し、アクチュエータ基板の端面に接合するノズルプレートと、を備えている。このアクチュエータ基板は、液滴吐出用の吐出チャンネルと液滴を吐出しないダミーチャンネルが交互に配列している。そして、アクチュエータ基板の基板表面の後方端近傍には、吐出チャンネルの側面に形成した駆動電極に接続する共通引出電極とダミーチャンネルの当該吐出チャンネル側の側面に形成した駆動電極に接続する個別引出電極が設置されている。共通引出電極は個別引出電極よりも前方端側に位置している。フレキシブル基板には、共通引出電極に電気的に接続する共通配線電極と、個別引出電極に電気的に接続する個別配線電極が設置されている。
【００６９】
具体的に説明する。液体噴射装置３０は、紙等の被記録媒体３４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段４１、４２と、被記録媒体３４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１、１’と、液体タンク３１、３１’に貯留した液体を液体供給管３３、３３’に押圧して供給するポンプ３２、３２’と、液体噴射ヘッド１を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構４３等を備えている。
【００７０】
一対の搬送手段４１、４２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体３４を主走査方向に搬送する。移動機構４３は、副走査方向に延びた一対のガイドレール３６、３７と、一対のガイドレール３６、３７に沿って摺動可能なキャリッジユニット３８と、キャリッジユニット３８を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト３９と、この無端ベルト３９を図示しないプーリを介して周回させるモータ４０を備えている。
【００７１】
キャリッジユニット３８は、複数の液体噴射ヘッド１、１’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク３１、３１’は対応する色の液体を貯留し、ポンプ３２、３２’、液体供給管３３、３３’を介して液体噴射ヘッド１、１’に供給する。各液体噴射ヘッド１、１’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット３８を駆動するモータ４０の回転及び被記録媒体３４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体３４上に任意のパターンを記録することできる。
【００７２】
この構成により、アクチュエータ基板上の端子電極数に対しフレキシブル基板上の配線電極数が低減し、配線密度が概ね１／２となる。更に、溝５に形成した駆動電極７とフレキシブル基板４の配線電極とが交差する領域において駆動電極７の上端部を隔壁６の上面より深く形成したのでフレキシブル基板４の配線電極と溝５に形成した駆動電極７とが電気的に接触することがない。その結果、フレキシブル基板４のアクチュエータ基板２に対する接着が容易となり、製造歩留まり向上させることができる。
【符号の説明】
【００７３】
１ 液体噴射ヘッド
２ アクチュエータ基板
３ カバープレート
４ フレキシブル基板
５ 溝
６ 隔壁
７ 駆動電極
８ 引出電極
９ 配線電極
１０ 面取り部
１１ 吐出チャンネル
１２ ダミーチャンネル
１３ 封止材
１４ 液体供給室
１５ スリット
１６ ノズルプレート
１７ ノズル
１８ 保護部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板表面の前方端から後方端の方向に細長く、互いに隔壁により離隔し、前記方向に交差する方向に配列する複数の溝と、前記隔壁の側面に形成された駆動電極と、前記駆動電極に電気的に接続し、前記基板表面の後方端近傍に形成された引出電極とを有するアクチュエータ基板と、
前記基板表面に接合し、前記複数の溝の上部開口を塞いで複数のチャンネルを構成するカバープレートと、
前記基板表面の後方端近傍に接着し、前記引出電極に電気的に接続する配線電極を有するフレキシブル基板と、を備え、
前記複数のチャンネルは、液体を吐出する吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に配列し、
前記ダミーチャンネルを構成する溝は前記アクチュエータ基板の後方端まで延在し、
前記引出電極は、前記吐出チャンネルの両側に隣接する２つのダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記２つのダミーチャンネルの間であり、前記基板表面の後方端近傍に形成された個別引出電極と、前記吐出チャンネルの２つの側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記基板表面の後方端近傍であり、前記個別引出電極よりも前方端の側に形成された共通引出電極とを有し、
前記配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記共通引出電極と他の吐出チャンネルに対応する他の共通引出電極とを電気的に接続する共通配線電極と、各吐出チャンネルに対応する個別引出電極のそれぞれに個別に電気的に接続する複数の個別配線電極を有し、
前記共通配線電極と前記駆動電極とが交差する共通配線交差領域において、前記ダミーチャンネルを構成する溝の側面に形成された駆動電極は、その上端部が前記基板表面よりも溝の深さ方向に深く形成されている液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記共通配線交差領域において、前記基板表面と前記ダミーチャンネルを構成する溝の側面との間の角部が深さ方向に切削されている請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記吐出チャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端の手前まで延在する請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記吐出チャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端まで延在し、
前記個別引出電極は、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第一の個別引出電極と、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第二の個別引出電極とを含み、
前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極は前記第一の個別引出電極と電気的に接続し、前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極は前記第二の個別引出電極と電気的に接続し、
前記共通引出電極は、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第一の共通引出電極と、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第二の共通引出電極とを含み、
前記吐出チャンネルを構成する溝の一方の側の側面に形成された駆動電極は前記第一の共通引出電極に電気的に接続し、前記吐出チャンネルを構成する溝の他方の側の側面に形成された駆動電極は前記第二の共通引出電極に電気的に接続し、
前記共通配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記第一の共通引出電極と前記第二の共通引出電極とを電気的に接続する請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記個別配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記第一の個別引出電極と前記第二の個別引出電極とを電気的に接続する請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記個別配線電極と前記駆動電極とが交差する個別配線交差領域において、前記吐出チャンネルを構成する溝の側面に形成された駆動電極は、その上端部が前記基板表面よりも溝の深さ方向に深く形成されている請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記個別配線交差領域において、前記基板表面と前記吐出チャンネルを構成する溝の側面との間の角部が深さ方向に切削されている請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
【請求項９】
アクチュエータ基板の基板表面に互いに隔壁により離隔する複数の溝を形成する溝形成工程と、
前記隔壁の側面と前記隔壁の上面に電極材料を堆積する電極堆積工程と、
前記隔壁の側面に、上端部の一部が前記上面の高さよりも前記溝の深さ方向に低い形状の駆動電極を形成するとともに、前記上面に引出電極を形成する電極形成工程と、
配線電極を形成したフレキシブル基板を前記隔壁の上面に接着し、前記引出電極と前記配線電極とを電気的に接続するフレキシブル基板接着工程と、を備える液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記電極形成工程は、前記側面の上端部に堆積した電極の一部を除去して前記駆動電極を形成する駆動電極形成工程と、前記隔壁の前記上面に堆積した電極をパターニングして引出電極を形成する引出電極形成工程とを含む請求項９に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記駆動電極形成工程は、前記隔壁の前記上面と前記側面との間の角部を面取りする工程からなる請求項１０に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記電極形成工程は、前記電極堆積工程の前に前記隔壁の前記上面又は前記上面の近傍にマスクを設置し、前記電極堆積工程の後に前記マスクを除去して前記駆動電極と前記引出電極を形成する工程である請求項９〜１１のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１】
基板表面の前方端から後方端の方向に細長く、互いに隔壁により離隔し、前記方向に交差する方向に配列する複数の溝と、前記隔壁の側面に形成された駆動電極と、前記駆動電極に電気的に接続し、前記基板表面の後方端近傍に形成された引出電極とを有するアクチュエータ基板と、
前記基板表面に接合し、前記複数の溝の上部開口を塞いで複数のチャンネルを構成するカバープレートと、
前記基板表面の後方端近傍に接着し、前記引出電極に電気的に接続する配線電極を有するフレキシブル基板と、を備え、
前記複数のチャンネルは、液体を吐出する吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に配列し、
前記ダミーチャンネルを構成する溝は前記アクチュエータ基板の後方端まで延在し、
前記引出電極は、前記吐出チャンネルの両側に隣接する２つのダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記２つのダミーチャンネルの間であり、前記基板表面の後方端近傍に形成された個別引出電極と、前記吐出チャンネルの２つの側面に形成された駆動電極と電気的に接続され、前記基板表面の後方端近傍であり、前記個別引出電極よりも前方端の側に形成された共通引出電極とを有し、
前記配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記共通引出電極と他の吐出チャンネルに対応する他の共通引出電極とを電気的に接続する共通配線電極と、各吐出チャンネルに対応する個別引出電極のそれぞれに個別に電気的に接続する複数の個別配線電極を有し、
前記共通配線電極と前記駆動電極とが交差する共通配線交差領域において、前記ダミーチャンネルを構成する溝の側面に形成された駆動電極は、その上端部が前記基板表面よりも溝の深さ方向に深く形成されている液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記共通配線交差領域において、前記基板表面と前記ダミーチャンネルを構成する溝の側面との間の角部が深さ方向に切削されている請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記吐出チャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端の手前まで延在する請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記吐出チャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端まで延在し、
前記個別引出電極は、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第一の個別引出電極と、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第二の個別引出電極とを含み、
前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極は前記第一の個別引出電極と電気的に接続し、前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルの前記吐出チャンネル側の側面に形成された駆動電極は前記第二の個別引出電極と電気的に接続し、
前記共通引出電極は、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの一方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第一の共通引出電極と、前記吐出チャンネルと前記吐出チャンネルの他方の側に隣接するダミーチャンネルとの間に形成された第二の共通引出電極とを含み、
前記吐出チャンネルを構成する溝の一方の側の側面に形成された駆動電極は前記第一の共通引出電極に電気的に接続し、前記吐出チャンネルを構成する溝の他方の側の側面に形成された駆動電極は前記第二の共通引出電極に電気的に接続し、
前記共通配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記第一の共通引出電極と前記第二の共通引出電極とを電気的に接続する請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記個別配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する前記第一の個別引出電極と前記第二の個別引出電極とを電気的に接続する請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記個別配線電極と前記駆動電極とが交差する個別配線交差領域において、前記吐出チャンネルを構成する溝の側面に形成された駆動電極は、その上端部が前記基板表面よりも溝の深さ方向に深く形成されている請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記個別配線交差領域において、前記基板表面と前記吐出チャンネルを構成する溝の側面との間の角部が深さ方向に切削されている請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
【請求項９】
アクチュエータ基板の基板表面に互いに隔壁により離隔する複数の溝を形成する溝形成工程と、
前記隔壁の側面と前記隔壁の上面に電極材料を堆積する電極堆積工程と、
前記隔壁の側面に、上端部の一部が前記上面の高さよりも前記溝の深さ方向に低い形状の駆動電極を形成するとともに、前記上面に引出電極を形成する電極形成工程と、
配線電極を形成したフレキシブル基板を前記隔壁の上面に接着し、前記引出電極と前記配線電極とを電気的に接続するフレキシブル基板接着工程と、を備える液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記電極形成工程は、前記側面の上端部に堆積した電極の一部を除去して前記駆動電極を形成する駆動電極形成工程と、前記隔壁の前記上面に堆積した電極をパターニングして引出電極を形成する引出電極形成工程とを含む請求項９に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記駆動電極形成工程は、前記隔壁の前記上面と前記側面との間の角部を面取りする工程からなる請求項１０に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記電極形成工程は、前記電極堆積工程の前に前記隔壁の前記上面又は前記上面の近傍にマスクを設置し、前記電極堆積工程の後に前記マスクを除去して前記駆動電極と前記引出電極を形成する工程である請求項９〜１１のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１２−１０１４３７（Ｐ２０１２−１０１４３７Ａ）
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２５１８１６（Ｐ２０１０−２５１８１６）
【出願日】平成２２年１１月１０日（２０１０．１１．１０）
【出願人】（５０１１６７７２５）エスアイアイ・プリンテック株式会社 (198)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月１０日（２０１０．１１．１０）
【出願人】（５０１１６７７２５）エスアイアイ・プリンテック株式会社 (198)
【Ｆターム（参考）】
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