【課題】少なくとも圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】圧電素子は、複数の個別電極と、前記各個別電極上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成され、前記個別電極に対して共通の電極となる共通電極とを有している。更に、圧電素子における前記個別電極の上において、前記共通電極に覆われていない領域には、この領域を覆う保護膜を有している。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドの基板において圧力室や流路などを高密度に配置でき、それによってリフィル周波数の向上を可能とする。
【解決手段】供給口２４の右側に配置されるヒータ９に対する電源‐ヒータ配線１０ａおよびヒータ‐駆動回路配線１０ｂは、個々の供給口を隔てるはり部２０を利用して這いまわしすることができる。これとともに、流路および圧力室にインクを供給するための複数の供給口を設け、これら複数の供給口をはり部によって隔てるようにすることにより、それぞれの供給口の両側に吐出口など吐出に係る構造を配置でき、上記吐出に係る構造を比較的高い密度で配置した場合でも、その配置による制約を受けずにそれぞれのヒータなどを必要で充分なサイズおよび配置とすることができる。また、ヒータと電源配線や駆動回路とを連結する配線も供給口の隔壁となるはり部に這いまわしをすることから、上記複数の供給口の配置を効率的に利用した配線が可能となる。 （もっと読む）

【課題】圧電基板を挟んで設けられる電極と駆動回路との間の電気的接続を容易に行うことができると共に圧電基板から発生した熱を効率的に放熱することが可能なインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】複数チャネル11と,分極された圧電基板13がチャネル11の一壁面を形成するように積層されてなるヘッドチップ1を有し,チャネル11内部の圧電基板13を個別に変形させインクを吐出するインクジェットヘッドH1であって、圧電基板13の表面及び隣接するチャネル11間の隔壁表面に個別電極が形成されると共にチャネル11と反対側の面に共通電極16が形成され,配線基板2端部はヘッドチップ1との接合面から該接合面と平行で,且つ,チャネル11列方向と直交する方向に張り出しており,個別電極及び共通電極16が,配線電極21,22を介して配線基板2の端部まで電気的に引き出されている。 （もっと読む）

【課題】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む圧電体層を有する圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる製造方法を提供する。
【解決手段】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む前駆体溶液であって、水溶液とした場合にｐＨが７以上である前駆体溶液３１を下電極２０上に塗布し、塗布した前駆体溶液３１を結晶化させてペロブスカイト型酸化物を含む圧電セラミックスを形成する。圧電素子の製造方法は、圧電セラミックス３０に電極を形成する工程を備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、圧電素子の製造方法により圧電素子を形成する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される積層体における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性の高い圧電体素子を提供する。
【解決手段】圧電体素子（10）は、基板(12)上に、第１の電極(14)が形成され、その上に第１の圧電体膜(16)が形成される。さらに第1の圧電体膜(16)の上に金属酸化物膜(18)が積層され、金属酸化物膜（18）の上に金属膜(20)が積層して形成される。金属膜（20）の上に第２の圧電体膜（22）が形成され、その上に第２の電極(24)が積層して形成される。金属酸化物膜（18）と金属膜（20）を積層してなる中間層（26）の厚みと応力値の積が１００Ｎ／ｍ^２未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理する。
【解決手段】平板状の圧電プレートの第１の主面Ｓ１に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝５０３，５０４を交互に形成し、複数の第１の溝の内壁面に第１の電極５０５を形成し、複数の第２の溝の内壁面に第２の電極５０６を形成し、複数の第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極８０２と、複数の第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極８０３と、を形成し、第１の共通電極と第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、第１の溝と第２の溝とを仕切る隔壁５１３を分極し、第１の電極が第１の溝ごとに分離されかつ第２の電極が第２の溝ごとに分離されるように、第１及び第２の共通電極を除去する。 （もっと読む）

【課題】大きな液体吐出力が得られる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】圧電ブロック５内に設けられている圧力室３の壁を変形させることにより、圧力室３内の液体を圧力室３に連通している吐出口７から吐出させる液体吐出ヘッドであって、圧力室３と、圧電材料からなる壁を挟んで圧力室３と隣接する空洞４、９と、壁の圧力室３の側に設けられた電極１２と、壁の空洞４、９の側に設けられた電極１３、１４と、を有し、電極１２と電極１３、１４と間に電圧が印加されたときに、電界方向および分極方向が圧力室３の中心軸から外側へ向かう放射状となるように、電極１２の少なくとも一部の幅が圧力室３の幅よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】複合酸化物を生成させる回数が増加しても、電極を疎水化させることが可能な電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子並びに吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】複合酸化物膜１２が形成されている共通電極１１上の複合酸化物膜１２が形成されていない領域に自己組織化単分子膜１３を形成して疎水化し、共通電極１１上の自己組織化単分子膜１３が形成されていない領域にゾルゲル液１４を塗布、仮焼して複合酸化物膜１４'を形成し、複合酸化物膜の積層体１５を形成し、複合酸化物膜の積層体１５が形成された共通電極１１を酸洗浄し、複合酸化物膜の積層体１５が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させ、共通電極１１上の自己組織化単分子膜が形成されていない領域にゾルゲル液を塗布し、ゾルゲル液が塗布された共通電極１１を仮焼して複合酸化物膜を形成し、複合酸化物膜の積層体を形成する。 （もっと読む）

【課題】複数の振動モードを同時に効率よく用いて、圧電素子の変位量を増大させることが可能な液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッド１１０は液体を吐出する吐出口１０２と、吐出口１０２に連通して長手方向に延びる圧力室１０３と、を有する。圧力室１０３の側壁の所定の一部は圧電材料からなる隔壁２１０によって画定され、隔壁２１０の圧力室側の面に第一の電極２０１が、第一の電極２０１を挟んで圧力室１０３と反対側の面に第二の電極２０２がそれぞれ設けられる。隔壁２１０は、第一の電極２０１と第二の電極２０２との間に電圧を印加することにより生じる電界方向に対して一方側に傾いて分極された第一の領域と、電界方向に対して一方側とは逆側に傾いて分極された第二の領域と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、下地電極にルテニウム酸ストロンチウムを用い、構造が比較的簡易で経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、（１１１）配向を有するＰｔ族の元素製の電極１４と、電極１４上に形成された電極１５と、電極１５上に形成され（１１１）を優先配向とするＰＺＴからなる電気−機械変換膜１６と、膜１６上に形成された個別電極１７と、電極１７上に形成された金属の個別電極１８とを有し、電極１５、１７はルテニウム酸ストロンチウムからなり、電極１５は、ペロブスカイト構造を有する（１１１）配向を有し、表面粗さが４ｎｍ以上１５ｎｍ以下であり、厚さが４０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】圧電部材とベース部材を導電性接着剤で接合するためにコストが高くなる。
【解決手段】ベース部材１３にはノズル配列方向（圧電柱配列方向）と直交する方向に溝加工が施されて、複数の凹部５１がノズル配列方向に配列されて形成されている。そして、ベース部材１３の凹部５１内に充填した接着剤５３で、ベース部材１３と圧電部材１２の接合面が接合され、ベース部材１３の凹部５１以外の凸部５２でベース部材１３と圧電部材１２の共通電極２５とが電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】調整抵抗部によって生じる発熱の影響を低下させることができるインクジェットヘッド用基板を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド用基板は、複数の層が積層された積層構造を有し、複数の発熱抵抗部１８、複数の導通路１６、複数の調整抵抗部１９、および共通配線２２を備える。複数の発熱抵抗部１８は、複数のノズル２の各々に対応して設けられ、複数のノズル２の各々からインクを吐出させるための熱エネルギーを発生させる。複数の導通路１６は、複数の発熱抵抗部１８の各々に電流を流す。複数の調整抵抗部１９は、複数の導通路１６の各々に設けられ、複数の発熱抵抗部１８の各々で発生する熱エネルギーを調整する。共通配線２２は、電源によって供給される電流を複数の導通路１６の各々に流す。共通配線２２は、複数の調整抵抗部１９の各々が設けられた領域と基板の積層方向において重なる位置を通過する。 （もっと読む）

【課題】配線部材や圧電部材の大型化や部材コストアップを生じる。
【解決手段】圧電部材１２の一端部には、駆動柱１２Ａよりも幅広の共通電極取出し用圧電柱１２Ｂを形成し、圧電柱１２Ｂの個別外部電極側端面にすべての駆動柱１２Ａの共通外部電極２４を接続した取出し用共通外部電極２５を設け、各駆動柱１２Ａの個別外部電極２３にはＦＰＣ１５の個別配線電極３１Ａを、圧電柱１２Ｂの取出し用共通外部電極２５にはＦＰＣ１５の共通配線電極３１Ｂを電気的に接続し、共通電極取出し用圧電柱１２Ｂの高さＨｂは、駆動柱１２Ａの高さＨａの約１／２とし、取出し用共通外部電極２５の圧電柱配列方向における単位長当たりの面積を、個別外部電極２３の圧電柱配列方向における単位長当たりの面積と同じとしている。 （もっと読む）

【課題】個別電極の形成ばらつきに対する変位量のばらつきが小さい圧電アクチュエータ、およびそれを用いた液体吐出ヘッドならびに記録装置を提供する。
【解決手段】振動板２１ａ上に、内部電極３４、圧電セラミック層２１ｂおよび表面電極３５がこの順で積層されている圧電アクチュエータ２１であって、表面電極３５の周縁部の下の圧電セラミック層２１ｂに空間２１ｃ、２１ｄが設けられている圧電アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】小型化及び高解像度化を実現する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室１２の列が複数設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板の一方面側に形成される複数列の圧力発生素子３００とを具備し、流路形成基板の圧力発生室の列の並設方向に交差する方向の両側に配置された列の圧力発生素子のそれぞれに対応して形成された個別電極に接続される個別電極用の端子９１が、前記列の中央部に設けられ、個別電極用の端子上に、外部からの電気信号を個別電極に電気的に接続させる駆動回路２００が実装されており、駆動回路と重畳するように下側に配置され、圧力発生素子に対して共通の電極となる共通電極に接続する共通電極用配線９５と、駆動回路に外部から電気信号を供給するための端子及び共通電極用配線の端子とからなる可撓性のテープ基板４００が接続される実装部４１０と、が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電体に発生するクラックが少ない液体噴射ヘッドの製造方法を得ること。
【解決手段】加熱工程（Ｓ５）を行って冷却工程（Ｓ６）を行なう。加熱工程（Ｓ５）では、第１層８１の原子の再配列、歪の除去、応力の緩和が行なわれる。冷却工程（Ｓ６）では、第１層８１の熱膨張率が圧電体７０より大きいので、第１層８１の冷却による収縮量が圧電体７０と比較して大きく、熱膨張差による熱応力が、圧電体７０に加わる。この圧電体７０に加わる熱応力は、圧電体７０を圧縮する力として働く。したがって、第１層８１と接する圧電体７０の界面に圧縮する力が加わり、界面からのクラックの発生を抑えることができ、圧電体７０の変形量を大きくしても耐クラック性に優れたインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルに連通する圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室に対応して設けられて、第１電極６０、該第１電極上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記圧力発生室の並設方向と交差する方向の少なくとも一方の端部において、前記流路形成基板が薄い一定の厚さとなって当該圧力発生室の深さが浅くなった段差部１１０を具備し、前記圧電体層の前記第１及び第２電極の両者に挟まれて電界が発生される活性部３２０と前記第１及び第２電極の何れかが存在しないで電界が発生しない非活性部３３０との境界が、前記段差部に対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動を効率的に行う液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の一方面側に圧力発生室１２に対応して設けられた第１電極６０、第１電極上に設けられた圧電体層７０及び圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００毎に対して個別に設けられた第１電極６０に電気的に接続されるリード電極９０と、第２電極８０が形成されておらず前記圧電体層７０が露出している領域の、前記第１電極６０が部分的に露出されている領域に、前記第１電極６０に少なくとも一部が接して設けられている導電層８１と、を具備し、リード電極９０は、前記導電層８１を介して前記第１電極６０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第２電極８０に接続され圧力発生室１２に相対向する領域外に形成される配線層９５が設けられ、第２電極８０上の圧電体能動部３２０の４つの角部３２１に対向する領域には、圧電体能動部３２０の第１方向端部を中心として第１方向両側に延設される第１部分１２１と、第１部分１２１に連続し且つ圧電体能動部３２０の第１方向端部に沿って第２方向に延設される第２部分１２２とから構成されるＴ型金属層１２０を有し、Ｔ型金属層１２０と配線層９５とが配線層接続部１２３を介して接続されている。 （もっと読む）