【課題】ガラス基材とシリコン基材との接合位置精度を向上させる。
【解決手段】電極部を有するガラス基材と、振動部を有するシリコン基材と、ノズル部を有するノズル基材と、を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記ガラス基材と前記シリコン基材のうち少なくとも一方の面に、レーザー光を吸収する吸収材を付着する吸収材付着工程と、前記吸収材を介して、前記ガラス基材とシリコン基材とを重ね合わせるとともに、接合の位置の位置決めを行うアライメント工程と、常温下において、前記吸収材に向けてレーザー光を照射して、前記ガラス基材と前記シリコン基材とを接合する第１接合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】２つの部材同士を、高い寸法精度で強固にかつ効率よく接合可能な接合方法、２つの部材同士を高い寸法精度で強固に接合してなる接合体、かかる接合体を備えた信頼性の高い液滴吐出ヘッド、およびかかる液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、第１の基材２１の表面上に、プラズマ重合膜３を形成する工程（第１の工程）と、プラズマ重合膜３の表面に紫外光を照射して、表面を活性化させる工程（第２の工程）と、少なくともプラズマ重合膜３と接合される面にプラズマ重合膜を備えない第２の基材２２を用意し、この第２の基材２２と、活性化させたプラズマ重合膜３の表面とが接触するように、第１の基材２１と第２の基材２２とを貼り合わせ、接合体１を得る工程（第３の工程）と、この接合体１を加熱しつつ加圧する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】被着体に対して、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合膜を備えた接合膜付き基材、かかる接合膜付き基材と被着体とを、低温下で効率よく接合する接合方法、および、前記接合膜付き基材と被着体とが高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合膜付き基材は、基板２（基材）と、この基板２上に設けられた接合膜３とを有しており、対向基板４（他の被着体）に対して接合可能なものである。このような接合膜３は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基が導入された膜である。また、この接合膜３は、紫外線を照射することにより、表面３５付近に存在する脱離基が脱離し、これにより接合膜３の表面３５に、対向基板４との接着性が発現し得るものである。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、その下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これらの各接合膜１５、２５は、それぞれ、シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを効率よく製造する液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、封止シート３０と振動板４０とを接合してなる封止板を用意する工程と、ノズルプレート１０上に接合膜１５を形成するとともに封止板の下面に接合膜２５を形成する工程と、各接合膜１５、２５にそれぞれエネルギーを付与する工程と、吐出液貯留室形成基板２０に接合膜１５および接合膜２５が密着するように、封止板、吐出液貯留室形成基板２０およびノズルプレート１０の３部材を同時に接合する工程とを有する。各接合膜１５、２５は、それぞれプラズマ重合法により形成されたものであり、シロキサン結合を含むランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、該Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】 溶着部位ではないインク流路を含んでレーザー溶着によりインクジェット記録ヘッドのインク流路を形成する場合に、溶着の際にレーザー光の照射によりインク流路が受けるダメージを低減することを目的とする。
【解決手段】 レーザー光に対して透過性を有する流路形成部材に、インク流路へ向けて照射されるレーザー光を反射するための傾斜面を設ける。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、その下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これらの各接合膜１５、２５は、それぞれ、シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】 配線基板の電極に配設された導電性接続部材を溶融する際に、効率的に熱を伝達し、また、必要以上に前記配線基板や被接合部材に対して熱量が加わらないようにすることができる配線基板を提供する。
【解決手段】 配線基板８は、絶縁性を有する基板８１の下面に基板側個別電極用配線９２および基板側個別電極用端子９２ａが形成され、さらに、その下面には基板側個別電極用端子９２ａを露出する除去部８２ａを備えた被覆膜８２が形成されている。基板側個別電極用端子９２ａには、バンプ７２が設けられ、基板８１の基板側個別電極用端子９２ａに対応する位置には、基板側個別電極用端子９２ａの上面を表出させる貫通孔８１ｂが貫通形成され、この表出した基板側個別電極用端子９２ａの上面に対して、貫通孔８１ｂを通じてレーザ光が直接照射される。 （もっと読む）

【課題】２つの基材を、一部の領域において部分的に、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合方法、および、２つの基材を、かかる接合方法により、一部の領域において部分的に接合してなる接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、第１の基材２１上の一部の第１の領域３１０ａに接合膜３ａを形成し、第１の被着体４１を作製するとともに、第２の基材２２上の一部に、第１の領域３１０ａと同じパターンで設定された第２の領域３１０ｂに接合膜３ｂを形成する工程と、各接合膜３ａ、３ｂに対してエネルギーを付与し、各接合膜３ａ、３ｂ中から脱離基を脱離させることにより活性化させる工程と、各接合膜３ａ、３ｂ同士が密着するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせることにより、各領域３１０ａ、３１０ｂが重なった部分において部分的に接合してなる接合体１を得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレート接合時のノズル目詰まりや位置ずれを確実に防止する。
【解決手段】ノズルが形成されるノズルプレート60と、前記ノズルプレート側に開口する流路が形成されるとともに前記流路内の液体に圧力変化を与える吐出手段が形成されるヘッド本体部114とを備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレート60及び前記ヘッド本体部114の少なくとも一方の接合面に光硬化性を有する接着剤を付与する工程と、前記接着剤の付与後、前記ノズル51が前記流路に連通するように位置合わせしながら前記ノズルプレート60を前記ヘッド本体部114に積層して加圧する工程と、前記積層加圧後、前記ノズルプレート60の吐出側から露光を行い、前記ノズル51の吐出側開口部から前記流路内部に入射した光により、前記流路内に存在する接着剤を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】インクを吐出するための吐出口を有する吐出エレメントと、外部から導入されたインクを貯留するとともに、インクを吐出エレメントに供給するために貯留部と、を具えたインクジェットヘッドにおいて、その大型化を伴わずに好ましいインク供給性を得るとともに、部品点数を少なくし、組立工程を簡略化して低廉化に資する。
【解決手段】一面が開放された箱形状を有する貯留室形成部材２１１と、これに接合する蓋部材２１２とにより貯留部を構成する。貯留室形成部材２１１を、開放面に対向する底面上に設けられた内壁によって包囲され、外部からインクを直接導入するインク導入室２３０となる部分と、その外側にあって吐出エレメント１５０へのインク供給室となる部分とに仕切り、インク導入室２３０となる部分の底面と対向する面にフィルタを配置し、フィルタを介してインク導入室２３０とインク供給室とが連通するようにする。 （もっと読む）

【課題】 少なくとも微細な構造を有する３８０ｎｍ以下の波長の光に不透明な部材と少なくとも３８０ｎｍ以下の波長の光に不透明な部材を光カチオン重合型エポキシ樹脂組成物を用いて流動させることなく接合することを目的とする。
【解決手段】 前記接合には光カチオン重合型エポキシ樹脂組成物を用い、接合前に光カチオン重合型エポキシ樹脂組成物を活性化させる光を照射した後に接合する。 （もっと読む）

【課題】吐出室を高密度化しても流路抵抗が高くなるのを抑えて、液滴の吐出性能を確保することができる液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにこの液滴吐出ヘッドを備えた印字性能等の高い液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板５とリザーバ基板４とキャビティ基板３と電極基板２とを接合した４層構造にし、リザーバ専用のリザーバ基板４を設ける。リザーバ基板４には、キャビティ基板３に設けた第１キャビティ１２に液滴を供給するリザーバ１３となるリザーバ用凹部１３ａと、リザーバ１３内の液滴を第１キャビティ１２に供給する供給口用凹部とを同一面側に形成し、また、第１キャビティからノズル孔１７へ液滴を移送するノズル連通孔１６を貫通形成した構造とする。 （もっと読む）

【課題】電磁線硬化型の接着剤を用いた接合工程における、照射条件の異なる複数の領域への電磁線の照射プロセスにおいて、搬送による被接着部材への振動の発生を抑制し、また、滞留時間を低減する。
【解決手段】第１、第２の電磁線照射領域Ｕａ，Ｕｂにそれぞれ対応する開口部１０００ａ，１０００ｂが、第１、第２の電磁線照射領域Ｕａ，Ｕｂの配置と一致するように形成された第１のマスク１０００と、第１の電磁線照射領域Ｕａに対応する開口部２０００ａと、第２の電磁線照射領域Ｕｂに対応する開口部２０００ｂが互いに離れて位置するように形成された第２のマスク２０００と、これらを重ねた状態で保持し、第２のマスク２０００を第１のマスク１０００に対してスライド移動させることができる搬送ユニットＣ１とを有する電磁線遮蔽ユニットを電磁線照射に用いる。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材との密着力を高め、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供すること、および簡便な方法で信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】 特定構造のポリエーテルアミド樹脂に、イオン結合により感光基を導入した感光性樹脂組成物を、インクジェットヘッドの密着層として使用することを特徴とするインクジェットヘッド及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】 記録素子基板と支持基板との密着性を向上させて、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド、およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 カップリング剤を添加した紫外線と熱の併用硬化型接着剤を用いて、第１、第２の記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１と第１のプレートＨ１２００とを接着し、第１のプレートＨ１２００側の接着面に、紫外線の反射を防止するための紫外線反射防止処理領域Ｈ１２５０を形成する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドを構成する天板の材料として高価で加工に制約の多いシリコンウェハを使用する必要のない簡単な構造の液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部１６が所定間隔で設けられた基板３６と、個々の吐出エネルギー発生部１６を仕切るように配列する仕切り壁３７ａを有する仕切り部材３７と、インクが供給されるインク供給穴３８を有する天板３９とを具え、この天板３９を仕切り部材３７を挟んで基板３６に重ね合わせることにより、基端側がインク供給穴３８に連通すると共に先端側がインク滴の吐出口２２となったインク路２１が形成される本発明の液体吐出ヘッド１０は、仕切り部材３７と天板３９との間に介在してこれらを接合する接着層４０をさらに具えている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリンタの本体フレーム１の下面に複数のフロントヘッドユニットを正確且つ迅速に固定する。
【解決手段】前面に列状の複数個のノズルと、この各ノズル毎に圧力室を備えたキャビティプレート１０と、圧力室毎にインクに噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータ２０と、フレキシブルフラットケーブル４０とを積層したフロントヘッドユニット６を、治具４２の表面に載置する。そのとき、キャビティプレート１０の表面側のノズルプレート４３に、ノズル列の前後部位に穿設された位置決め孔に対して治具４２から突出する位置決めピンを嵌合して位置決めした状態で、本体フレーム１の底板５の下面の支持部８をフロントヘッドユニット６に被せ、本体フレーム１の上側に露出する空所９ａ，９ｂからＵＶ接着剤を充填後紫外線照射にてフロントヘッドユニット６を固着する。 （もっと読む）