【課題】特別な駆動回路を必要とすることなく圧電素子の消極による劣化を防ぐことができ、安定した液滴吐出することができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズルを有するノズルプレートと、前記ノズルプレートを重ねて、前記ノズルに連通する圧力室を形成する流路基板と、前記圧力室を構成する壁に設けられている圧電素子と、を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子の分極方向とは逆に流れる電流を抑える整流手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】複数のユニットブロックを個別に移動可能な構成において、各ユニットブロックの位置精度を確保することが可能な液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】
ヘッドユニット群を、複数のヘッドユニット１１の組から構成される複数のユニットブロック３２に区画して分割し、隣り合うユニットブロック同士の相対的な位置を調整する位置調整機構５７を設け、位置調整機構は、一方のユニットブロックに設けられた雄ネジ部５８、該雄ネジ部を回転させる駆動モータ６０、及び、他方のユニットブロックに設けられた雌ネジ部５９から成り、雄ネジ部を雌ネジ部に嵌め合わせ、駆動モータ６０の駆動により雄ネジ部を正転又は逆転させることで、隣り合うユニットブロック同士を相対的に近接又は離隔させる。 （もっと読む）

【課題】駆動回路からの信号に対して高い応答性を維持することができるような液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１と、変位して液体を加圧する振動板２２を有し、ノズル３１に連通する液体の流路上に設けられる吐出室２１と、振動板２２を変位させる加圧手段となる個別電極１２とを備え、吐出室２１の側壁部分を導電性を有する金属材料で構成する。 （もっと読む）

【課題】接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室内の圧力変化によりインク液をノズル開口部から吐出するインクジェット式記録ヘッド１００の製造方法であって、基板１の表面に圧力発生室となる溝部５１を形成する工程と、溝部５１の底面にノズル開口部となる溝部５２を形成する工程と、溝部５１、５２に犠牲膜５３を埋め込むように形成する工程と、犠牲膜５３及び基板１の表面上に振動膜２０を形成する工程と、振動膜２０上に圧電素子３０を形成する工程と、基板１の裏面を研削して溝部５２の底面を開口させる工程と、基板１の表面側から犠牲膜５３を露出する開口部を形成する工程と、この開口部を介して犠牲膜５３をエッチングし除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】駆動周波数を上げつつ所定のノズルから選択的に液滴を噴射することができる液体噴射ヘッドの駆動方法及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】メイン圧電素子３０１を駆動させて所定ノズル２１から液滴を噴射させる際に、液滴を噴射させないノズル２１に連通するサブ圧力室１２ｂ、１２ｃに対応するサブ圧電素子３０２、３０３に対して、メイン圧電素子３０１に印加する駆動信号とは逆位相の駆動信号を印加して、所定のノズル２１から選択的に液滴を噴射させる。 （もっと読む）

【課題】振動板が振動を続けることによるクラック等による振動板の破損が抑えられた、信頼性の向上した液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコンウェハである流路形成基板用ウェハ１１０とは独立して酸化シリコンを含む振動板５３を形成するので、シリコンウェハの欠陥１１１に起因する酸化シリコンを含む振動板５３中の欠陥を低減できる。したがって、欠陥から生じるクラック等による振動板５３の破損を抑えることができ、信頼性の向上したインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】一つの基板に一対の圧電素子を配置する場合であっても、基板の両側面部に対する電気回路の接合を容易に行なうことができるようにする。
【解決手段】一面側に所定間隔を存して配置され、印字信号に基づいてインクを加圧する一対の圧電素子列１０を有する基板１と、この基板１の両側面部にそれぞれ形成され、一対の圧電素子列１０に接続される第１の配線群１５と、基板１の両側面部にそれぞれ接合され、第１の配線群１５に接続される第２の配線群２１、及び印字信号に基づいて圧電素子列１０に第１及び第２の電線群１５，２１を介して選択的に電力を供給するためのＩＣチップ２０を有する電気回路２と、基板１の他面側に形成され、その対向する内壁面１７ａ，１７ｂが基板１の両側面部に対し平行状態に形成される凹陥部１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動に伴う圧電体層の割れを抑えることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室を有する流路形成基板上に設けられた下電極と下電極上に形成された圧電体層と圧電体層上に形成された上電極とを有する圧電素子を具備し、圧電体層が、下電極上に鉛（Ｐｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）及びチタン（Ｔｉ）を含む複数層の強誘電体膜で構成され、下電極に最も近い１層目の強誘電体膜とその上に形成される２層目の強誘電体膜との境界部分に、ジルコニウムに対するチタンの濃度の最大値が８０％以上の領域を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】周囲のインクジェットを使用して、画像基材の追加パスを必要とすることなくまた印刷プロセスを遅くすることなく、欠落インクジェット、間欠インクジェット又は微弱インクジェットを補償することを可能にする。
【解決手段】システムは、１組の所定の発射信号パラメータ２１２を基準にして複数のインクジェット発射信号を生成するように構成された印刷ヘッド発射信号発生器２０４と、不良インクジェットを識別する信号に応じて不良インクジェットの近くのインクジェットによって射出される第１の量の液体インクを増やすために、少なくとも１つの所定の発射信号パラメータ２１２を修正するように構成された発射信号調整回路２０８とを有する。 （もっと読む）

【課題】高品質な印刷を実現することができる液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの駆動方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段に前記圧力発生室の体積を増加させる方向に電圧を印加する第１の電圧変化工程１４１と、前記圧力発生手段に前記圧力発生室の体積を減少させる方向に電圧を印加する第２の電圧変化工程１４３とを具備すると共に、前記第１の電圧変化工程１４１での電圧変化時間Ｔ１と、前記第１の電圧変化工程１４１の終了時刻及び第２の電圧変化工程１４３の開始時刻の間の時間Ｔ２との合計時間が前記圧力発生室の固有振動周期Ｔｃの０．６倍以上、１．３倍以下であると共に、前記時間Ｔ１が固有振動周期Ｔｃの０．１倍以上、１．２倍以下であり、且つ前記時間Ｔ２が固有振動周期Ｔｃの０．０５倍以上、０．７倍以下となる駆動信号を前記圧力発生手段に印加する駆動手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】複数のノズル列が互いに近接して配置された液体噴射ヘッドを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド１０００は、複数の圧力室１２を区画する複数の側壁部材１０と、側壁部材１０の上方に設けられた振動板２０と、振動板２０の上方に、各圧力室１２に対応して設けられた圧電素子３０と、圧電素子３０の上方に設けられた封止板４０と、を有する複数の駆動ユニット１００と、支持基板５０と、を有し、複数の駆動ユニット１００は、支持基板５０の上に積層され、圧力室１２は、第１開口部および第２開口部を有し、第１開口部から圧力室１２に導入された液体が第２開口部を介して排出され、液体が排出される方向は、駆動ユニット１００の積層方向と直交する方向である。 （もっと読む）

【課題】液体状の半田を直接基板上に吐出可能な液体吐出装置を提供する。
【解決手段】加圧液室２および該加圧液室２に連通し該加圧液室２内の液体を外部に吐出する液体吐出口３を有する液体吐出部材４の加圧液室２上に、振動板２５を介して、下部電極２２と圧電体膜２３と上部電極２４とを順次備えた圧電素子２１が形成された液体吐出装置１において、圧電体膜２３として、２００℃以上のキュリー点を有する薄膜圧電体を備え、加圧液室２に充填される、１５０℃以上かつ前記圧電体膜のキュリー点より低い融点を有する材料４０を、該融点以上に加熱する加熱手段２９を備える。 （もっと読む）

【課題】
従来の板材よりも厚さを増した金属板を用いても、パンチが折れ難く、孔形状の不良が生じ難いノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】
金属板３１の一方の面から他方の面に向けて第１パンチ３６を金属板の板厚方向の途中まで打ち込むことにより金属板に、底を有する準下穴４０を形成する第１下穴形成工程と、前記準下穴を形成した金属板の一方の面から準下穴内に前記第１パンチよりも深く第２パンチ５０を打ち込むことにより、準下穴よりも深さを増した下穴４２を形成すると共に前記他方の面に膨出部５５を形成する第２下穴形成工程と、下穴を形成した金属板の他方の面を研削して膨出部を除去して前記下穴を貫通させてノズル開口とする貫通工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイピング動作に対する耐久性と信頼性が優れ、良好な撥水性能を長期間保持できる撥水膜を形成した液滴吐出ヘッドと、その製造方法、および画像記録装置を提供する。
【解決手段】記録液滴を吐出する複数のノズル孔が設けられたノズル形成基材のSiO₂膜上に、少なくとも一個のパーフルオロアルキル基と少なくとも一個のアルコキシシリル基を有するポリマー又は/及びオリゴマー(A)と、式(1)で表されるシラン化合物(B)とを反応させて撥水膜を固着させ、該基材と、記録液室と、記録液を吐出させる駆動手段とを備えた液滴吐出ヘッドとする。Si(Y)(OR)₃ …(1)［式(1)中、Rは水素原子又はアルキル基を表し、Yは置換基を有してもよいアルキル基あるいは置換基を有してもよいアリール基、又は式(1)におけるOR基(前記と同義)を表す。各々のRは同じでも異なってもよい。］ （もっと読む）

【課題】下電極をオーバーエッチングしたエッチング量を取得することができると共に、圧電素子の特性が均一化されたアクチュエータ装置の製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】基板１０の一方面に下電極６０、圧電体層及び上電極８０を積層形成し、当該上電極８０及び圧電体層を同時にエッチングすることにより圧電素子３００を形成するアクチュエータ装置の製造方法であって、前記基板１０上に前記圧電素子３００の電極とは電気的に不連続で且つ前記下電極６０と同一層を有し、且つ前記上電極８０及び前記圧電体層が前記エッチングにより除去された前記下電極を有するテストパターン４００を形成する工程と、当該テストパターン４００の下電極電気抵抗値を測定することで前記圧電素子３００を形成した際の前記下電極６０のエッチング量を取得する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電体を用いない新規なアクチュエータおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ１００は、変形可能な基板１０と、前記基板１０の上方に設けられ、開口部２２を有する磁石体２０と、前記基板１０の上方に設けられ、かつ、前記磁石体２０を取り囲むように配置されたコイル３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電素子のエネルギー変換効率を向上させた液滴吐出装置を得る。
【解決手段】Ｖ／ｔ_ｐ＝２・σ_ｉ・ｔ_ｉ／ｄ_３１・Ｅ_Ｐ・ｔ_ｐの関係式から、保護膜厚ｔ_ｉに合わせて保護膜６０の応力σ_ｉを設定することで、圧電素子５２のエネルギ効率を良好にすることができる。つまり、保護膜６０の膜応力を利用することにより、アクチュエータ６２の変位量は低下するが圧電素子５２のエネルギ変換効率を大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、保護膜破壊によるパターニング不良の発生を抑制した、安定生産可能なインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供する事を目的とする。
【解決手段】本発明は、流路となる溶解可能な固体層を流路形状にパターニングする際に、後に形成されるオリフィスの下方に存在する固体層をパターニングで除去し、保護膜を充填させる空間を形成することによりパターニング不良の発生を抑制した。
つまり、エッチング時のパターニング不良の原因となるオリフィス下方の固体層の体積を減少させることにより欠陥の発生を減少させ、さらに、保護膜を充填させる空間を形成することにより保護膜の充填量を増加する。これによりエッチング時の保護膜破壊を防ぐ膜強度を得ることができ、パターニング不良の発生を抑制する液体吐出ヘッドを得られる事が判明した。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出時の圧力変動を機械的剛性を弱めたコンプライアンス部によることなく吸収し得る液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】圧力変動により各ノズル開口１３を介して内部のインクをそれぞれ吐出するように長手方向に沿って並設された圧力発生室１１と、各圧力発生室１１に対応して配設され、駆動信号の供給により変形して圧力発生室１１内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子１７と、圧力発生室１１に前記インクを供給するよう圧力発生室１１に連通するとともに気泡溜りとなる空間６０を設けたリザーバ２２とを有する。 （もっと読む）

【課題】基材の表面粗さが大きく表面に凹凸や段差が存在し、接合させる基材どうしが接する接触面積がわずかな場合でも、接合強度や耐久性を確保することが可能な接合体を提供する。
【解決手段】接合基材３００はシロキサン結合と脱離基とを含む薄膜に活性化処理を施した接合膜３２０を有している。接合基材３００と他方の被接合基材３３０からなる接合体３５０は、接合膜３２０を被接合基材３３０と接するように重ね合わせて加圧し、その後、加圧したままで加熱されることによって形成される。 （もっと読む）