【課題】高圧測定用の第１の振動方向と低圧測定用の第２の振動方向とを使い分けることで測定可能な圧力範囲を広げている真空計において、測定する気体の圧力によって振動方向を切り替える際の測定不能な時間の発生を無くすとともに、振動方向を切り替える回路が必要ないようにした真空計を提供する。
【解決手段】真空計の機構部分を成す構造体は、錘1、梁2および振動体固定部3からなる振動体4、振動体4を第1の振動方向に加振する加振電極5および6、振動体4を第2の振動方向に加振する加振電極7および8、振動体4の第1の振動方向の振動を検出するための振動検出電極9および10、振動体4の第2の振動方向の振動を検出するための振動検出電極11および12から構成される。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子の電極部分の腐食を防ぎ、固有共振インピーダンスを安定して一定に保つことができ、圧力等の測定精度、および圧力測定機器等としての信頼性および寿命を向上させた水晶振動子を含む計測装置を用いた圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 この計測装置は、圧力の変化に応じて変化する水晶振動子１８の共振インピーダンスを測定することに基づいて計測方法であり、該計測に用いる計測装置は、開口部２０ａを有し、内部に水晶振動子１８を収容する保護ケース２０と、この保護ケースの開口部に関連して設けられ、活性を有する気体分子を、衝突を生じさせながら移動させて開口部に導く通路としての隙間２５を形成する保護キャップ２４と、を備えるように構成される。 （もっと読む）

本発明は、基板（５）と少なくとも１つの質量要素（１）を有する圧力測定用のセンサ素子であって、前記質量要素（１）は、前記基板（５）に対して間隔を置いて配置されており、かつ前記質量要素（１）は、前記基板（５）および／または前記基板（５）に対して相対的に不動の支持体（６）と振動可能であるように接続されており、前記質量要素（１）と前記基板（５）との間に空隙が形成されており、該空隙の幅は、前記質量要素（１）の振動によって変化するセンサ素子に関する。空隙を画定する基板（５）の面には少なくとも１つの凹部および／または少なくとも１つの貫通部が設けられており、これは質量要素を包囲するガスまたはプラズマによる、質量要素の振動の減衰を小さくするために用いられる。このセンサ素子は、真空領域の圧力を測定するための圧力センサに使用される。本発明のセンサ素子を圧力記録器として使用することにより、大気空気圧の領域までの最大圧を検出することができる。検出できる最低圧は10^-6 mbrの領域にある。
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【課題】使用範囲が限定されず、配線が簡単となり、信号伝達ノイズの影響を軽減でき、信頼性の高い測定が可能で、真空度等の測定ができる振動センサ等を提供する。
【解決手段】光ファイバ７と、前記光ファイバの一方の端部側に、振動振幅の方向が該光ファイバの光軸と一致するように設けられた振動体１と、前記光ファイバの他方の端部側に配された、光源１４と、該光源からの光を制御する光源制御装置１６と、該光ファイバからの出射光を検出する光検出手段１８と、を有し、前記光源からの光を前記光源制御装置で強度変調して前記振動体を加振すると共に、前記振動体で反射された前記光源からの光を前記光ファイバの他方の端部側から出射させて前記光検出手段によって検出し、前記振動体の加振による変位を測定可能とした構成を有する。 （もっと読む）