【課題】 正確な被温度検出体の表面温度の検出を行うことができる温度センサ装置を提供する。
【解決手段】 この温度センサ装置は、被温度検出体の表面に面接触して被温度検出体よりの熱を受熱する接触面１１aを裏面に備えた受熱部品１１の表面に、サーミスタ素子５の収納部１１bを備え、受熱部品１１を嵌合保持するように形成された開口部１２aおよびサーミスタ素子５よりの第１のリード線５a、５bに第２のリード線５c、５dが接続された接続導電部５e、５fを収納するための収納部１２bを備えた樹脂ホルダー１２を備え、受熱部品１１の収納部１１bにサーミスタ素子５を収納し、サーミスタ素子５を収納した受熱部品１１を樹脂部材１２の開口部１２aに収納し、第１のリード線５a、５bに第２のリード線５c、５dが接続された接続導電部５e、５fを樹脂ホルダー１２の収納部１２bに収納した構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板を熱処理するとき、温度ムラをなくすために予め熱電対を埋め込んだ実基板を用いて表面の温度分布が測定される。問題は、接着部が剥離して、熱電対が基板から外れることである。
【解決方法】 測温部材平坦面に配置した熱電対接合部に、無機接着剤の液滴を滴下して、該液滴の中に該熱電対接合部を埋入して該測温部材平坦面に接合するに際して、該該測温部材平坦面に該熱電対接合部を取囲む鋳枠を設けて該鋳枠の中に該液滴を滴下して、該滴下した液滴の広がりを該鋳枠で堰き止め、該液滴を該鋳枠内面に接触させて該鋳枠の中で固化させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 急速加熱可能であって且つウエハ載置面での均熱性に優れている上、高精度でレスポンスの良い温度制御が可能なウエハ加熱装置を提供する。
【解決手段】 このウエハ加熱装置は、一方の面にウエハ載置面１０ａを有すると共に他方の面に抵抗発熱体２０を有する均熱プレート１０と、該均熱プレート１０の温度を測定する測温抵抗体素子３０とを備えている。均熱プレート１０は、他方の面側に測温抵抗体素子３０を埋設する掘り込み部１１及び該掘り込み部１１を覆う蓋プレート１３を備えており、測温抵抗体素子３０は掘り込み部１１の底面１１ａに密着して埋設されている。蓋プレート１３の下面にも少なくとも部分的に抵抗発熱体２０の回路が形成されているのが好ましい。 （もっと読む）

高動圧環境で使用することができる方法及びサーモウェルシステム。熱電対システムは、媒体が流れる構造体に入るように構成されるサーモウェルと、サーモウェル内に部分的に提供され、温度を測定するように構成される細長いプローブと、細長いプローブの第１の端部の周りに配置され、サーモウェルと接触することにより細長いプローブの振動を緩衝するように構成される、少なくとも１つのＯリングと、細長いプローブ部分の第２の端部の周りに配置され、サーモウェルと接触することにより細長いプローブの振動を緩衝するように構成されるエラストマとを含む。 （もっと読む）

【課題】溶接等の出力によるシースのパンクを回避でき、取付作業の効率化を図ることができるとともに、溝内に隙間を生じることなく熱電対を埋め込むことができ、温度分布の乱れを回避して温度計測精度の向上を図ることができる管壁への熱電対取付構造及び取付方法を提供せんとする。
【解決手段】凹溝１０を内装されるシース熱電対１のシース径より広い所定幅に設定し、凹溝１０内に嵌着される押さえ板２を設け、該押さえ板２の内面側の略中央部に、シース熱電対１の断面視外側略半分１ａを隙間なく収納するための曲面Ｒ１を備えた第１の収納溝２０を形成するとともに、凹溝１０の底面１０ｃの略中央部に、シース熱電対１の残りの部分である断面視内側略半分１ｂを隙間なく収納するための曲面Ｒ２を備えた第２の収納溝３０を形成し、第１の収納溝２０と第２の収納溝３０の間にシース熱電対１を隙間無く挟み込んだ状態で凹溝１０内に埋め込む構造とした。 （もっと読む）