【課題】温度応答性が良い測温抵抗体を得る。
【解決手段】金属製の保護管１中には、良好な電気絶縁性、熱伝導率を有する素線保持体２が保護管１の内面にほぼ密着して挿入されている。
素線保持体２の周囲には、円周方向に螺旋溝３が平行に２列に形成され、この螺旋溝３に測温用の白金素線４がそれぞれ埋め込まれている。白金素線４にはリード線５ａ、５ｂ、５ｃが接続され、リード線５ａ、５ｂは白金素線４の近端にそれぞれ溶接等で接続され、白金素線４の遠端同士はリード端６により短絡され、リード端６にはリード線５ｃが接続され、リード線５ｃは素線保持体２の中心孔２ａを通って引き出されている。リード線５ｃを引き出した後の中心孔２ａ内には電気絶縁性を有する充填材７が詰められ、更に３本のリード線５ａ〜５ｃは保護管１の入口部に設けた成型体８を通過した後に、ガラス封止材９により封止されている。 （もっと読む）

【課題】例えば１０ｋＶ程度の耐電圧特性を有すると共に、ウエハチャックに対する着脱操作を簡単に行うことができるウエハチャック用の温度センサを提供する。
【解決手段】本発明のウエハチャック用の温度センサ１０は、ウエハチャック２０のチャックトップ２１の挿入孔２１Ｂに対応する第１の貫通孔１３Ａを有する固定用ブロック１３をチャックトップ２１の側面に第１のネジ部材１５を介して連結し、且つ、第１の貫通孔１３Ａからチャックトップ２１の挿入孔２１Ｂに挿入される測温体１１の基部に設けられた取付部材１４を介して温度センサ１０を固定用ブロック１３にネジ止めして取り付られる。 （もっと読む）

【課題】薬液などの被測定流体による腐食を生ずることなく、温度応答性が良好であり、さらに簡単な構造で効果的に静電気を除去することのできる温度測定センサーおよび温度測定センサーを用いた温度測定装置を提供する。
【解決手段】温度センサー部を構成する測温体と、前記測温体の基端部分に電気的に接続されたリード線部と、少なくとも前記測温体部分を覆う保護管と、を備えた温度測定センサーであって、前記保護管が、炭素を主成分とした材料からなることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 応答性に優れ高精度で温度測定できる白金抵抗素子が剥き出しの極細型の白金測温抵抗体及びその製造方法の実現を目的とする。
【解決手段】セラミック体に白金線の入った白金抵抗素子をその素子の外径とほぼ同じ内径を有する極細のステンレス保護管の内部に挿入し、リード線のある側のステンレス保護管内に、真空引きをしながら樹脂を注入し、その樹脂を硬化した後、ステンレス保護管を溶媒に浸し、ステンレスを溶解除去する。そうすることによって、白金抵抗素子の外径と同径の外径を有する円柱状に樹脂でリード線がモールドされ、リード線部が白金抵抗素子本体と一体化された素子同径型の白金測温抵抗体が得られる。 （もっと読む）

【課題】 金属抵抗体の抵抗値の変動を抑制すると共に、感温素子の破損を抑制できる温度センサを提供する。
【解決手段】 第２温度センサ１０１は、感温素子２が金属チューブ１１４の内部に備えられることから、感温素子２が被測定物（排気ガス）に直接接することが無く、被測定物の影響による金属抵抗体４１５の劣化を抑制できる。また、感温素子２のセラミックス基体４１４、セラミックス被覆層４１７および接合層４１６がアルミナ純度９９．９％以上で構成されており、耐マイグレーション性に優れる。さらに、第２温度センサ１０１は、感温素子２が金属チューブ１１４の内部に備えられることから、感温素子２に水滴などが直接付着することがないため、水滴の付着による温度分布の偏りに起因する感温素子２でのクラック発生などの破損を抑制できる。 （もっと読む）