【課題】例えば１０ｋＶ程度の耐電圧特性を有すると共に、ウエハチャックに対する着脱操作を簡単に行うことができるウエハチャック用の温度センサを提供する。
【解決手段】本発明のウエハチャック用の温度センサ１０は、ウエハチャック２０のチャックトップ２１の挿入孔２１Ｂに対応する第１の貫通孔１３Ａを有する固定用ブロック１３をチャックトップ２１の側面に第１のネジ部材１５を介して連結し、且つ、第１の貫通孔１３Ａからチャックトップ２１の挿入孔２１Ｂに挿入される測温体１１の基部に設けられた取付部材１４を介して温度センサ１０を固定用ブロック１３にネジ止めして取り付られる。 （もっと読む）

【課題】薬液などの被測定流体による腐食を生ずることなく、温度応答性が良好であり、さらに簡単な構造で効果的に静電気を除去することのできる温度測定センサーおよび温度測定センサーを用いた温度測定装置を提供する。
【解決手段】温度センサー部を構成する測温体と、前記測温体の基端部分に電気的に接続されたリード線部と、少なくとも前記測温体部分を覆う保護管と、を備えた温度測定センサーであって、前記保護管が、炭素を主成分とした材料からなることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 応答性に優れ高精度で温度測定できる白金抵抗素子が剥き出しの極細型の白金測温抵抗体及びその製造方法の実現を目的とする。
【解決手段】セラミック体に白金線の入った白金抵抗素子をその素子の外径とほぼ同じ内径を有する極細のステンレス保護管の内部に挿入し、リード線のある側のステンレス保護管内に、真空引きをしながら樹脂を注入し、その樹脂を硬化した後、ステンレス保護管を溶媒に浸し、ステンレスを溶解除去する。そうすることによって、白金抵抗素子の外径と同径の外径を有する円柱状に樹脂でリード線がモールドされ、リード線部が白金抵抗素子本体と一体化された素子同径型の白金測温抵抗体が得られる。 （もっと読む）

【課題】コンタミネーションの心配なく液体試料の温度を測定して温度調節に利用することが可能な表面弾性波素子、攪拌装置及び分析装置を提供すること。
【解決手段】圧電基板２１ａ上に櫛型電極からなる振動子２１ｂが形成された表面弾性波素子２１、攪拌装置２０及び分析装置。表面弾性波素子２１の圧電基板２１ａは、振動子２１ｂと同一素材からなる温度センサ２１ｄが振動子と共に設けられている。音波を照射することによって容器に保持された液体を攪拌する攪拌装置２０は、容器９に取り付けられ、液体を攪拌する音波を出射する表面弾性波素子２１と、表面弾性波素子による音波の出射を含む駆動を制御する駆動制御回路２４と、温度センサが検出した容器の実測温度に基づき駆動制御回路による表面弾性波素子の駆動周波数を制御して容器に保持された液体の温度を調節する温度調節回路２５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 金属抵抗体の抵抗値の変動を抑制すると共に、感温素子の破損を抑制できる温度センサを提供する。
【解決手段】 第２温度センサ１０１は、感温素子２が金属チューブ１１４の内部に備えられることから、感温素子２が被測定物（排気ガス）に直接接することが無く、被測定物の影響による金属抵抗体４１５の劣化を抑制できる。また、感温素子２のセラミックス基体４１４、セラミックス被覆層４１７および接合層４１６がアルミナ純度９９．９％以上で構成されており、耐マイグレーション性に優れる。さらに、第２温度センサ１０１は、感温素子２が金属チューブ１１４の内部に備えられることから、感温素子２に水滴などが直接付着することがないため、水滴の付着による温度分布の偏りに起因する感温素子２でのクラック発生などの破損を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 炉内の温度制御性能の精度を向上させ、加熱される対象物の品質向上、また品質安定に寄与することができるようにする。
【解決手段】 この発明の加熱炉１は、炉内温度と目標温度との差が所定温度以上の場合、熱電対温度計２５で検出した炉内温度に基づいて温度制御を行い、炉内温度と目標温度との差が所定温度以内の場合、白金シース型抵抗温度計２４で検出した炉内温度に基づいて温度制御を行うようにした。 （もっと読む）