【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】金属被検体とのリフトオフ変動や形状変化の影響があっても、僅かな電磁気特性の変化を測定できる装置を提供する。
【解決手段】発振器１ａ，１ｂからの発振周波数ｆ１、ｆ２の交流信号を加算器２で加算し磁気センサ３に印加して交流磁束を発生させ、この交流磁束により生じる第１の誘導電圧信号、交流磁束と熱延鋼板１０との相互作用により生じる交流磁束による第２の誘導電圧信号を磁気センサ３から取り込んで差分を求め、この演算により得られた交流磁束と熱延鋼板１０との相互作用分のみの信号を交流信号ｆ１で同期を取ってＸ成分、Ｙ成分の値Ｘ_f1，Ｙ_f1を検波し、また、前記信号をもう一方の交流信号ｆ２で同期を取ってＸ成分、Ｙ成分の値Ｘ_f2，Ｙ_f2を検波し、これら値Ｘ_f1，Ｙ_f1，Ｘ_f2，Ｙ_f2を所定の演算式に当てはめてＸ，Ｙの値を算出し，予め求められた検量線とから温度値を判別する。 （もっと読む）

【課題】距離または温度の一方または両方を正確に測定する。
【解決手段】距離ｘと温度Ｔとインダクタンス値Ｌの関数ｆ(x,T,L)と、距離ｘと温度Ｔと抵抗値Ｒの関数ｇ(x,T,R)との連立方程式ｆ(x,T,L)，ｇ(x,T,R)を立て、実測したインダクタンス値Ｌおよび抵抗値Ｒを代入して解くことにより、２つの未知数である距離ｘおよび温度Ｔを求める。
【効果】温度Ｔによる誤差なく、距離ｘを正確に測定することが出来る。距離ｘによる誤差なく、温度Ｔを正確に測定することが出来る。さらに、距離ｘと温度Ｔの両方を正確に測定することも出来る。 （もっと読む）