【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】予め回転基準位置に対する磁性体位置の位相差を計測しておく必要がなく、ポンプ組み立て作業が簡素化される真空ポンプの提供。
【解決手段】インダクタンス検出部４４は、少なくとも一つの磁性体１０２が設けられたインダクタンス被検出面に対向するように隙間を設けて配設され、インダクタンス信号を出力する。演算手段３１３は、基準位相信号発生手段が発生する基準位相信号を基準とする複数の回転位相に関するインダクタンス信号Ｓ１〜Ｓ３に基づいて、回転基準位置に対する磁性体１０２の位置（位相差）を算出する。温度推定手段３１４は、演算手段３１３で算出された磁性体１０２の位置に基づいて、インダクタンス検出部４４が磁性体１０２に対向したときのインダクタンス信号を抽出し、該インダクタンス信号に基づいてロータの温度を推定する。 （もっと読む）

【課題】Ａ／Ｄ変換器を不要にできて自動化に適し、耐熱性を高め、ウェハの温度分布を測定できるウェハ型温度センサと、これを用いた温度測定装置、温度測定機能を有する熱処理装置および温度測定方法を提供する。
【解決手段】ウェハ１と、ウェハ１の上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数の温度センサ２ａ，２ｂ…とを備えてウェハ型温度センサ１０を構成し、各温度センサ２ａ，２ｂ…は、電源電圧が入力されたことに応じて、各領域ごとに異なる周波数帯域内で対応する領域の温度に基づく周波数信号を発振する発振回路を備える。 （もっと読む）

【課題】汚れ等に影響されずに、タイヤに生じた異常を直接検出し、これを運転者に知らせるためのタイヤの異常検出方法を提供する。
【解決手段】磁性体３を、タイヤの環状部分２に周方向に沿って所定のピッチで配設するとともに、環状部分と交差する環状磁路を形成する磁石１２を車体側に設け、タイヤの回転に伴い生起する環状磁路の磁束密度変化によって誘起される起電力を測定し、この測定波形から前記タイヤ環状部分の異常を検出する。 （もっと読む）