【課題】複数の不可逆性示温ラベルを使用する場合において、ＵＶ光をあてることにより発色温度や発色色調を判別することができる不可逆性示温ラベルの提供。
【解決手段】第一の不可逆性示温ラベルは、赤色の基材１の上に第一の温度で融解するワックス２−１を塗工して基材１を遮蔽し、そのうえにＵＶ発色塗料３−１を積層する。その後表面に透明フィルム４を被覆して不可逆性示温ラベルとする。同様に、緑色基材１と第二の温度で融解するワックス２−１によって第二の不可逆性示温ラベルを得る。ワックスが融解しない温度では、第一と第二の示温ワベルは区別出来ないが、ブラックライトでＵＶ光をあてるとそれぞれ赤色と緑色に発色するので区別することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の温度の計測精度を向上することができる温度計測装置および温度分布計測システムを提供する。
【解決手段】Ｓｉ、ＳｉＣ、ＧａＮ、ＧａＡｓ、ＩｎＰなどの半導体基板３３の温度を計測する温度計測装置１００において、広帯域光源３１と、広帯域光源３１から出射した光を半導体基板３３に集光する集光光学系３２と、半導体基板３３からの散乱光を受光し、集光する受光光学系３４と、受光光学系３４により集光した光を分光し、光スペクトルを測定する分光計３５と、分光計３５で測定された光スペクトルに基づいて半導体基板３３の温度を演算計測する温度演算手段３６とを含んで構成する。温度演算手段３６は、分光計３５で測定された光スペクトルを波長で微分することによって、波長と散乱光の強度変化率に基づく吸収波長を演算し、この吸収波長に基づいて半導体基板３３の温度を演算計測するようにする。 （もっと読む）

【課題】 被測定対象物の温度を検出することが可能な照射集光装置を実現する。
【解決手段】 光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの反射光を集光して供給する照射集光装置において、光源からの光を伝播させる照射用光ファイバと、被測定対象物からの反射光を伝播させる集光用光ファイバと、温度変化によってフィルタ特性が変化する温度検出フィルタと、照射用光ファイバの出射光を平行光にして温度検出フィルタを介して被測定対象物上に照射させると共に被測定対象物上からの反射光を集光用光ファイバに集光させるレンズとを設ける。 （もっと読む）