【課題】管路内走行時に管の正確な内径を測定できる内径測定装置及びその内径測定装置を用いた管路内径測定システムを提供する。
【解決手段】本体部及び本体部を既設管路の内部で走行可能に支持する本体支持部、本体部に配設されて既設管路の内径を計測する内径測定部を備える内径測定装置において、内径測定装置の重心位置を、内径測定装置の既設管路への導入状態における中央位置に対して下方へ偏位させる。これにより、既設管路内を走行中の内径測定装置に振動等が付与されることに起因する内径測定装置の内壁に沿った旋回しながらの走行が抑制される。その結果、内径測定部による計測の軌跡が管路の軸線に平行するので、既設管路の正確かつ精密な内径測定が達成される。 （もっと読む）

【課題】ウエハ端部形状にかかわらず、測定対象ウエハの中心点を確実に測定する方法を提供すること。
【解決手段】ウエハ１６を挿入するウエハホルダ３０は３つ以上の物理的接触要素２２を備える。ウエハは接触要素２２に物理的に接触する。接触要素は、ウエハ１６の中心点４０がその内側に入るような幾何学的形状を規定するように、ウエハホルダ３０に分散配置される。各接触要素２２の位置が測定され、所望のウエハ１６の幾何学的変数が接触要素２２の位置から計算される。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ正確に被測定面の位置を測定可能な位置測定装置を提供する。
【解決手段】被測定面上に測定点Ｐ１〜Ｐ４を４つ以上設定し、フランジ面１４ａ内に各測定点Ｐ１〜Ｐ４を頂点とした第１〜第４の仮想三角形Ｘ１〜Ｘ４を複数形成するとともに、各仮想三角形Ｘ１〜Ｘ４を含むフランジ面１４ａの位置を三点測量方法により算出する。これにより、測定作業が簡単でかつ、測定点Ｐ１〜Ｐ４が３つの場合に比べてフランジ面１４ａの位置を正確に測定することができる。 （もっと読む）