【課題】工作機械の主軸が高速回転する状態での検出分解能及び測定精度の確保と、同じく低速回転する状態での応答性の確保との両立を図る。
【解決手段】演算器は、円周方向に隣り合う１対の凹溝１０ａ、１０ｂに基づいて発生する１対のパルス間の周期である部分周期δと、互いに異なる１対の被検出用特性変化組み合わせ部３ａ、３ａに対応する１対のパルス間の周期である全周期Ｌとの比であるパルス周期比δ／Ｌに基づいて、前記主軸の軸方向変位量を求める。この主軸の回転速度が所定値よりも低い場合に、（Ａ）に示す様に、前記全周期Ｌとして、円周方向に隣り合う１対の被検出用特性変化組み合わせ部３ａ、３ａに関する値Ｌ_aを採用する。これに対して、前記回転速度が前記所定値以上である場合に、（Ｂ）に示す様に、前記全周期Ｌとして、中間を飛ばして存在する１対の被検出用特性変化組み合わせ部３ａ、３ａに関する値Ｌ_bを採用する。 （もっと読む）

【課題】変位や、回転速度等の物理量を検出するセンサを有すると共に、コンパクトなセンサ付き転がり軸受装置を提供すること。
【解決手段】ターゲット部材が貫通している貫通穴８９を有する環状かつ平板状の第１部分８１と、この第１部分８１に交差する平板状の第２部分８２とを有する基板９０の第１部分８１に、貫通穴８９を全周に亘って取り巻くように、第１コイル９２を配置する。また、上記第２部分８２に平面状の第２コイル９２を配置する。第１部分８１および第２部分８２の夫々を、ポリイミド樹脂で構成し、第１コイル９１を、第１部分８１の内部に配置し、第２コイル９２を、第２部分８２の内部に配置する。 （もっと読む）

【課題】 検出された位置信号の交流リップル分を低減できると共に、位相遅れの少ない位置センサ、及びこの位置センサを適用することで安定し、かつ振動のより少ない磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 搬送波発信器２０１及びセンサ１０７とで構成された位置信号検出部と、該位置信号検出部から抽出された信号と前記搬送波発信器２０１の信号とを乗算する乗算器２３１と、該乗算器２３１の出力信号を分岐し、該分岐された一方の信号を遅延させる遅延器２３７と、該遅延器２３７の出力信号と前記分岐された他方の信号とを加算する加算器２３５とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】 車両にコンパクトに荷重センサを設置できて、車輪にかかる荷重を安定して検出できる車輪用軸受を提供する。
【解決手段】 複列の転走面４が内周に形成された外方部材１と、この外方部材１の転走面４と対向する転走面５が形成された内方部材２と、両転走面４，５間に介在した複列の転動体３とを備える。内方部材２の外周には磁歪材で形成されたリング部材２１固定し、このリング部材に対向して外方部材１または外方部材１に固定する部材２４に磁歪センサ２３および変位センサ２２を設ける。磁歪センサ２３は、前記リング部材２１の磁歪変化を測定するものであり、前記変位センサ２２はリング部材２１と変位センサ２２間の距離を測定するものである。 （もっと読む）