本発明は、測定対象のオブジェクト（２）の、例えばその幾何学的寸法またはその電気伝導度などのような、被調査特性を、電磁誘導を使用して非接触式に決定するための方法に係る。この方法において、電磁場が、測定対象の前記オブジェクト（２）の一方のサイドに配置されたトランスミッタ・コイル（３）の中に発生され；測定対象の前記オブジェクト（２）を貫通する磁場が、測定対象の前記オブジェクト（２）のもう一方のサイドに配置されたレシーバ・コイル（４）により検出される。本発明は、下記工程を有している：コントロール・コイル（５）を、前記トランスミッタ・コイル（３）の近傍に配置する；前記トランスミッタ・コイル（３）の磁場の中に変化を発生させる；前記コントロール・コイル（５）の中の磁場の変化を検出する；前記レシーバ・コイル（４）の中の磁場を検出する；前記コントロール・コイル（５）の中と前記レシーバ・コイル（４）の中で、それぞれ磁場の変化が検出される時間の相違を決定する；測定対象の前記オブジェクト（２）を磁場が貫通する時間（Ｔ２）を決定する；その時間から、測定対象の前記オブジェクト（２）の厚さまたは電気伝導度を決定する。

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【課題】透明膜の段差の測定方法に関し、非接触、非破壊で且つ簡単な操作で高速、高精度に位相シフターの段差を測定すること。
【解決手段】第１の透明膜１の一部に形成された複数の第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n の段差量ｔ₁ ，…．ｔ_n と該第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n からの反射光の偏光状態を示すパラメータの値との相関関係ｆ₁ を求めてデータベース化した後に、第２の透明膜４２の一部に形成された第２の溝４５の反射光の偏光状態を示すパラメータの第１の値を計測して、該第１の値と前記データベースの前記相関関係に基づいて該第２の溝４５の第１の段差量を求める工程を含む。 （もっと読む）