【課題】
液浸露光装置の投影光学系の波面収差を高精度に測定する波面収差測定装置を提供する。
【解決手段】
光源からの光を被検光と参照光とに分離し、投影光学系に前記被検光を入射させる入射光学系と、前記投影光学系から出射される前記被検光を、再び、同一光路で前記投影光学系に向けて反射する反射光学系と、前記反射光学系により反射され前記投影光学系から出射される前記被検光と、前記投影光学系を通過しない前記参照光との干渉により生成された干渉縞を検出する検出器と、を有し、前記投影光学系と基板との間の浸液を介して前記基板を露光する露光装置の前記投影光学系の波面収差を測定する波面収差測定装置において、前記反射光学系を回転させる回転機構および傾斜させる傾斜機構を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 干渉光学系以外の光学系における観察光学系によって、干渉光学系と干渉光学系以外の光学系におけるサンプルの高さ情報の取得範囲を設定でき、サンプルの３次元形状画像を短時間に容易に取得することができる３次元形状観察装置を提供する。
【解決手段】 フィルタ切換機構１９は、バンドパスフィルタ２１を光軸上に配置し、第１の撮像素子１６は、可視光による光学顕微鏡観察像を撮像し、制御本体部５１は、光学顕微鏡観察画像を用いてサンプル１７の観察位置の調整と、フォーカス位置の調整と、干渉光学系と光学顕微鏡光学系の両方の高さ情報の取得範囲（取得範囲Ｄ１，Ｄ２）を設定する。 （もっと読む）

本発明は、対象物を研究するための光学デバイスに関するものである。本発明による光学デバイスは、単純な手段によって干渉器アームどうしの最大の適合を確保することができる。これにより、医療条件下や産業的条件下での使用時に、深さ方向の解像度を得ることができる。本発明においては、干渉計の少なくとも一方のアームにおいて、特定の光学的パラメータを有した少なくとも１つの交換可能部分を使用する。この特定の光学的パラメータは、例えば、他方のアームの光学的特性によって決定され、特に、光ファイバプローブの光学的特性によって決定される。
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