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Fターム[2F065AA52]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 測定内容 (27,691) | 輪郭 (4,339) | 断面 (424)

Fターム[2F065AA52]に分類される特許

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【解決手段】アイテムの未切断選択セグメントの重量又は価格を表示する装置及び方法は、位置指示部材を、支持面上に位置するアイテム上方を通過させることを含む。位置指示部材は、一つ以上のセンサを有し、そのセンサが、上記部材が基準位置からアイテム上方の選択された他の位置まで横断される際に、アイテムの連続する横断面輪郭に対応し、アイテムの選択セグメントを規定する信号を生成する。同時に、好ましくは一つ以上の微小構造電子機器(MEMS)加速度計装置から構成された作動検出器配置構造は、アイテムに沿って位置指示器支持部材が移動したときにその作動に対応する信号を生成する。これらの信号は、指示部材の選択された連続位置間に位置するアイテムの未切断選択セグメントの体積を決定すべく、信号処理装置で処理される。これらの累積的な体積決定のそれぞれは、数値重量に変換される、又は、特定のセグメントをアイテムから切断する前に、重量又は価格の情報が見ている顧客に同時に提供される。可視光帯は、センサ・バーからアイテムの特定のタイプの密度要素に基づく部分価格値上に投影され、それにより、部材が上記アイテムに沿って横断されたときに数値的な重量又は(重量に基づく)価格値が表示され、したがってアイテムのオペレータが数値表示に対応する選択セグメントの境界を観察者に明確に示すことが可能となる。 (もっと読む)


光学測定を用いた、ウェハ上に形成された構造の形状ラフネスの測定に使用されるシミュレート回折信号を、構造の初期モデルを定義することにより生成する。形状ラフネスの統計関数が定義される。その統計関数に基づいて統計ゆらぎが導出され、構造の初期モデルに重ね合わされて構造の修正モデルを定義する。その構造の修正モデルに基づいて、シミュレート回折信号が生成される。
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図7に示す如く、雄ネジの外観検査装置は、基準の雄ネジのネジ外形画像に対して基準のデジタルゲージを設定し、基準の雄ネジのネジ外形画像と試験用の雄ネジのネジ部片側のネジ外形を撮影して得られたネジ外形画像42とのずれを求め、基準のデジタルゲージの位置を、雄ネジのずれに応じて位置補正し、位置補正したデジタルゲージ(上側デジタルゲージ73、下側デジタルゲージ74)と、ネジ外形画像42とを画像判定して雄ネジが正常品であるか否かを判定する。 (もっと読む)


本発明の側面は、マイクロ電子フィーチャのアレイの対称性/非対称性を測定するための方法及び機構を提供する。本発明の一実施形態は、マイクロ電子デバイスにおける三次元構造の非対称性を測定する方法を提供する。本方法により、光は、マイクロ電子デバイスのマイクロ電子フィーチャのアレイに向けられる。光は、複数のマイクロ電子フィーチャの全長及び全幅を含むアレイの一部を照射する。アレイから散乱し戻された光は、一又はそれ以上の反射角、一又はそれ以上の波長、或いはそれらの組み合わせから成る群より選択された条件で検出される。本方法はまた、反射の余角からのデータを調べることを含む操作を実行することにより、戻り散乱光の一又はそれ以上の特性を調べることも含む。
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