Fターム[2F065FF48]の内容
光学的手段による測長装置 (194,290) | 測定方法 (22,691) | 光の回折利用 (562)
Fターム[2F065FF48]に分類される特許
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マイクロエレクトロニクスにおける寸法検査のための光学フーリエ変換の使用
本発明は、
-像焦点面における物体の基本的な表面の光学フーリエ変換像を形成する手段と、
-検出手段によって提供された情報から少なくとも1つの物体の寸法的および/または構造的な特徴に関連するデータを生成する処理手段と、
を含むことを特徴とする、物体の寸法的または構造的な特徴を測定するための装置に関する。
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機械学習システムを用いた半導体ウェハ上に形成された構造の光学測定
半導体ウェハ上に形成された構造を、測定装置を用いて測定された第1の回折信号を取得することにより検査する。第2の回折信号は、機械学習システムを用いて生成される。機械学習システムは、第2の回折信号を生成するために、構造のプロファイルを特徴付ける1以上のパラメータを入力として受け取る。第1の回折信号と第2の回折信号は比較される。第1の回折信号と第2の回折信号が一致基準の範囲内で一致する場合、構造の形状は、第2の回折信号を生成するために機械学習システムで使用されたプロファイル又は1以上のパラメータに基づいて求められる。
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