【課題】エア使用量を削減することができるエアマイクロシステムを提供する。
【解決手段】エアマイクロメータ１３と測定具１４の間に電磁弁４１を設ける。空気源１１に第二レギュレータ５３を介して接続されたエアセンサ５５は、通流するエアの変化を検出して電磁弁４１へ伝達する。例えばエアセンサ５５の通流量が所定値を超えた際に、その旨を電磁弁４１へ出力すると、電磁弁４１は閉弁して測定具１４へのエアの供給を遮断する。測定具１４の支持板上面にジェットノズル１０１を設け、エアセンサ５５からのエアをジェットノズル１０１の吹出口１０２からワークの下端面へ吹き付ける。測定具１４からワークが取り外されて吹出口１０２が開放されると、エアセンサ５５のエア流量が増大するので、電磁弁４１が測定ヘッドの噴出口８４へのエアの供給を遮断する。 （もっと読む）

【課題】披検出物までの距離が10μm以下の短い距離になってしまうと、背圧が上昇完了するまでに多くの時間が必要になり距離の判別に時間がかかる。
【解決手段】検出圧力を設定するレギュレータ１を内部または外部に設け、供給空気を遮断するための２ポート電磁弁２を設け、この二次側に圧力変換器（圧力センサ・圧力スイッチ・圧力トランデューサなど）３を設け、２ポート電磁弁２と圧力変換器３を制御する制御回路を設ける。検出物の検出面に用意した検出オリフィスまでの間の配管を行い、検出オリフィス５より被検出物に対し空気を流出させる。尚、２ポート電磁弁２はノーマルオープン又はノーマルクローズのどちらを使用しても良いが、この場合制御回路上で検出を行なう時に空気を遮断するよう制御すれば良い。尚、配管の内部に空気温度センサ、外部に温度センサを設けて圧力変換器３の温度による誤差に対し補正をかけても良い。 （もっと読む）

【課題】基準面スタンドオフと測定面スタンドオフの間の差を感知するためのチョークドフローオリフィスを有するガスゲージ近接センサを提供する。
【解決手段】現在の近接センサとは異なり、本発明のガスゲージ近接センサは、マスフローコントローラの代わりにチョークドフローオリフィスを使用している。チョークドフローオリフィスを使用することにより、装置コストが低減し、システムの信頼性が改善される。ガス供給源は、ガスを近接センサ内に強制的に供給する。その時点で、質量流量の流速が圧力の変動の影響をほとんど受けなくなる音速状態を達成するために、ガスがチョークドフローオリフィスを通して強制的に供給される。ガスの流れは、チョークドフローオリフィスからセンサ流路システム内に進む。センサ流路システム内の質量流量センサは、制御動作をスタートするために使用することができる測定スタンドオフを検出するために流速を監視する。 （もっと読む）