【課題】基準面スタンドオフと測定面スタンドオフの間の差を感知するためのチョークドフローオリフィスを有するガスゲージ近接センサを提供する。
【解決手段】現在の近接センサとは異なり、本発明のガスゲージ近接センサは、マスフローコントローラの代わりにチョークドフローオリフィスを使用している。チョークドフローオリフィスを使用することにより、装置コストが低減し、システムの信頼性が改善される。ガス供給源は、ガスを近接センサ内に強制的に供給する。その時点で、質量流量の流速が圧力の変動の影響をほとんど受けなくなる音速状態を達成するために、ガスがチョークドフローオリフィスを通して強制的に供給される。ガスの流れは、チョークドフローオリフィスからセンサ流路システム内に進む。センサ流路システム内の質量流量センサは、制御動作をスタートするために使用することができる測定スタンドオフを検出するために流速を監視する。 （もっと読む）

【課題】 本発明では、極細径かつ内径寸法などのばらつきのない空気噴出孔を有するノズル部を有し、かつ従来よりも容易に構成な空気マイクロメータ用の測定ヘッドを提供する。
【解決手段】 空気マイクロメータ用の測定ヘッド２０を、絞り加工により形成され、または光ファイバー接続用フェルールのような市販の筒状部材である筒状ノズル部２３Ａ〜２３Ｄを使用することにより、筒状ノズル部２３Ａ〜２３Ｄの内径を直径０．２ｍｍ以下にし、その外径２３Ａ〜２３Ｄが１ｍｍ以上にし、内径中心軸と外径中心軸との間の同心度を０．０１ｍｍ以内にし、かつ長手方向長さを５ｍｍ以上とすることとした。 （もっと読む）

【課題】 ダイヘッド或いはコーティング面を傷付けることなく、ダイヘッドとコーティング面のギャップを測定する。
【解決手段】 ダイヘッド１００の両端には測定ブロック１１０が設けられ、測定ブロック１１０のエア孔１１１からエアを吐出する。エアを吐出する時に発生するエアの圧力抵抗値を差圧計１２０で測定し、圧力抵抗値からギャップ寸法を演算する。差圧計で測定された信号は、制御装置１７０に送信され、制御装置１７０は予め設定されたプリセット値と測定値との差が無くなるようにダイヘッド移動機構１８０を操作する。 （もっと読む）