【課題】細穴の奥や突起部を有するような被測定物でも高精度、かつ高速に測定を行うタッチプローブを提供する。
【解決手段】鉛直下方に延びて、材料側面に測定子１４を接触させて該材料の位置を検出するタッチプローブ１において、柱状に形成された鉛直方向に延びるプローブ本体１２と、前記プローブ本体１２の先端に取り付けられた測定子１４と、前記測定子１４の上部であって、プローブ本体長手方向に形成された二つの切れ込み１８ａ、１８ｂと、該二つの切れ込み１８ａ、１８ｂにより、連結部が形成され、該連結部を支点２０ａ、２０ｂとして可動する可動部分と、前記支点２０ａ、２０ｂを挟むように形成される差動変圧部とを備え、互いに直交する２方向の変位を検出可能とした。 （もっと読む）

【課題】細穴の奥や突起部を有するような被測定物でも高精度、かつ高速に測定を行うタッチプローブを提供する。
【解決手段】プローブ本体１２と、前記プローブ本体１２の先端部に形成された、被測定物と接触する測定子１４と、前記プローブ本体１２内に形成され、前記プローブ本体１２の軸方向に垂直でかつ互いに直交する２方向に変位可能に構成された変位機構と、前記２方向の各変位を検出する前記変位機構に設けられた変位検出部２５
ａ、２５ｂと、を備えたことを特徴とするタッチプローブ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＡＥセンサをなるべく加工点の近くに設置し、加工中にＳ／Ｎ比の良い明瞭なＡＥ信号を検出することによりワークの面粗さの推定及び砥石のドレスタイミングの検出を可能とするとともに、ＡＥセンサの取り付けを容易にする。
【解決手段】研削加工中の加工物に接触してその寸法変化を検出しこれを電気信号として出力する測定ヘッドと、前記測定ヘッドのフィンガー部に取り付けられた接触子と、前記接触子からの電気信号に基づいて前記加工物の寸法を検出し、前記加工物が所定の寸法に加工されるように前記加工物を加工する工作機械を制御する定寸制御手段と、前記工作機械の加工具が前記加工物に接触する際のアコースティックエミッションを検出するため、前記加工物に直接接触する部位に取り付けられたＡＥセンサと、前記ＡＥセンサの検出信号に基づいて前記加工物の加工状況を検出するＡＥセンサ制御手段とを備えたことを特徴とする定寸装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】プローブ部材の摺動部に滑り軸受けを用いた接触式変位測定器において、プローブ部材伸縮時の蛇腹ブーツ内の空気の移動をスムーズにして測定値バラツキを防止する。
【解決手段】測定対象物に当接して変位可能な接触子４と、前記接触子４と接続し滑り軸受構造により変位するプローブ部材８と、前記接触子４及び前記プローブ部材８の間に設けられた蛇腹部６と、前記プローブ部材８の変位に対応した出力を行う差動トランス１４，１６を有する接触式変位測定ヘッド１を備えた接触式変位測定器であって、前記プローブ部材８の変位に伴って前記蛇腹部６が伸縮する時の前記蛇腹部６内の空気を逃がす通路１８を前記プローブ部材８の内部に設けた。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに形成されたチップの電気的特性の検査において、検査装置を複雑化させることなく、簡易な構成でウエハ裏面に対するケルビン接続を実現することが可能な半導体ウエハ及び半導体検査方法を提供する。
【解決手段】半導体ウエハ２の表面に、ウエハ裏面に電気的に接続されて裏面の電位測定に供される裏面電位測定用電極５を設け、この裏面電位測定用電極５と裏面とを半導体ウエハ２を貫通して導通する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は半導体ウエハに形成されたチップの電気的特性の検査において、簡易な構成でウエハ裏面に対するケルビン接続を実現する半導体検査装置及びウエハチャックを提供する。
【解決手段】 半導体検査装置１の試料台１０の表面に、半導体ウエハ２の裏面に接触させる２種類以上の電極１１ｆ及び１１ｓを設けて構成し、各電極１１ｆ、１１ｓは帯状部分１２ｆ及び１２ｓをそれぞれ有するように形成され、異なる種類の電極の帯状部分１２ｆ及び１２ｓを試料台１０の表面上に交互に配置する。 （もっと読む）

【課題】研削抵抗によって発生する砥石とウェーハとの関係位置の撓みによるズレを補正して、ウェーハの両面を均等に面取りすることができるウェーハ面取り装置を提供すること。
【解決手段】ウェーハＷの一方の面位置を検出する第１のセンサ２１と、ウェーハＷの他方の面位置を検出する第２のセンサ２２とを設け、第１のセンサ２１によるウェーハＷの一方の面の検出値と第２のセンサ２２によるウェーハＷの他方の面の検出値とが等しくなるように、回転軸方向移動手段１４を制御してウェーハＷを砥石１９の溝１９ａの中心に位置付け、ウェーハＷの両面をウェーハ厚さ中心に対し均等に面取りすることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】
効率的なウェーハ面取り砥石のツルーイング方法及びウェーハ面取り装置を提供する。
【解決手段】
回転するウェーハテーブル３４に載置されたウェーハＷの外周部を、回転する砥石により所定の形状に加工する面取り装置１０において、外周精研削砥石５５へのツルーイングの際、ツルアー４１の端部を、Ｙテーブル２８とＺテーブル３１とによりウェーハＷ外周部の面取り形状に相当する軌道上を移動させてツルーイングを行なうことにより、ツルアー４１の交換を行うことなく、あらゆる形状の面取り用溝を外周精研削砥石５５に形成する効率的な面取り砥石のツルーイングが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ及び砥石の冷却と研削屑の除去洗浄というクーラント液本来の目的を十分達成することのできる、効率のよいクーラント液の供給を可能にしたウェーハ面取り装置を提供すること。
【解決手段】ウェーハ面取り装置１０には、ウェーハＷの表面内側にクーラント液９１Ａを供給するクーラントノズル７１Ａ、７１Ｂを設け、供給されたクーラント液９１Ａがウェーハ表面で表面内側から外周に向けて広がって研削位置に到達するようにし、総形砥石を用いたヘリカル研削による面取り加工の場合やノッチ部Ｎの面取り加工の場合においても、加工ポイントに効率よくクーラント液９１Ａを供給することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】
ウェーハ面取り装置の機構を簡略化するとともに、精度の高い安定した面取り加工を行なうウェーハ面取り装置を提供する。
【解決手段】
回転するウェーハテーブル３４に載置されたウェーハＷの外周部を、回転する砥石により所定の形状に加工する面取り装置１０において、ウェーハＷ外周部の粗研削を行なう粗研削砥石５１、９０、９１、９２と、ツルーイング砥石５２、８５、８６、８７とが一体に形成された兼用砥石８０により、面取り装置１０の機構が簡略化するとともに、精度の高い安定した面取り加工を行なうことが可能になる。 （もっと読む）