【課題】寸法安定性も呈するガスゲージ近接覚センサによって、精確なナノメートル規模の測定を提供することである。
【解決手段】対象物への距離を感知するガスゲージは、ガス供給システムと、ガス供給システムからノズルと対象物の間の空間にガスを供給するノズルとを含む。例えば、ガス供給システムは、層流と乱流の間の遷移領域の流れに対応する流量でガスを供給する。表面の摩擦係数を増加させるように、ノズルの表面を粗くすることができ、これはガスの圧力低下を増加させ、ノズルの利得も増加させる。増加した流量によって発生したノイズは、１つ又は複数の戦略的に配置されたヘルムホルツ減衰器及び／又は緩衝器を使用して減衰することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明では、極細径かつ内径寸法などのばらつきのない空気噴出孔を有するノズル部を有し、かつ従来よりも容易に構成な空気マイクロメータ用の測定ヘッドを提供する。
【解決手段】 空気マイクロメータ用の測定ヘッド２０を、絞り加工により形成され、または光ファイバー接続用フェルールのような市販の筒状部材である筒状ノズル部２３Ａ〜２３Ｄを使用することにより、筒状ノズル部２３Ａ〜２３Ｄの内径を直径０．２ｍｍ以下にし、その外径２３Ａ〜２３Ｄが１ｍｍ以上にし、内径中心軸と外径中心軸との間の同心度を０．０１ｍｍ以内にし、かつ長手方向長さを５ｍｍ以上とすることとした。 （もっと読む）