【課題】タイヤの表面形状の影響を受けにくく、検出に必要な応力を増幅して素子に伝達することができるセンサ取付構造、及び当該センサ取付構造を有するタイヤ状態の検出装置を提供する。
【解決手段】検出方向Ａ１に生じる歪によって入力信号に対する応答信号を変化させる弾性表面波素子１１が、検出方向Ａ１に略垂直な方向Ａ２でタイヤ表面に形成された切断部１５を跨ぐ両側にて、タイヤＴに接着されているセンサ取付構造である。 （もっと読む）

【課題】タイヤの表面形状の影響を受けにくく、検出に必要な応力を精度良く素子に伝達することができ、素子の接着状態を良好に維持することができるセンサ取付構造、及び当該センサ取付構造を有するタイヤ状態の検出装置を提供する。
【解決手段】検出方向Ａ１に生じる歪によって入力信号に対する応答信号を変化させる弾性表面波素子１１が、少なくともその両端部１１ａでは周囲のゴムより硬度が5°以上高い補強ゴム１６を介在しつつ、タイヤＴに接着されているセンサ取付構造である。 （もっと読む）

【課題】 基板上に形成された多層膜の各膜厚を超音波を用いて測定することができる膜厚測定方法を提供することであり、また、多層膜の各膜厚を非破壊的にあるいは成膜プロセスにおいて安全に安価、簡易にかつ高精度で測定することができる膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】 基板１上に形成された多層膜８の表面に超音波５を入射角θで斜入射した際の反射波７の反射率を測定し、反射率の強度が極小となる周波数（強度極小周波数）を指標として、多層膜８の内の一つの膜の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、膜厚測定に強度極小周波数の高次モードを用いるものである。 （もっと読む）

【課題】 成膜時のモニタ感度を調整可能にする。
【解決手段】 基板上に成膜材料を成膜する成膜装置に設けられ、基板上に成膜された薄膜の膜厚をモニタする膜厚モニタ装置１であって、水晶振動子１１に向かって飛翔する成膜材料を間欠的に遮蔽するために、水晶振動子１１上に遮蔽部１２Ａ_２と非遮蔽部１２Ａ_１を交互に移動させる遮蔽手段１２（遮蔽部材１２Ａ，駆動モータ１２Ｂ）を設け、遮蔽手段１２の移動に対して、水晶振動子１１と遮蔽手段１２の相対位置を検出する位置検出手段１３（検出部１３Ａ，被検出部１３Ｂ）と、位置検出手段１３の出力によって、遮蔽手段１２を移動又は停止させる移動制御手段１４を備える。 （もっと読む）

【課題】 経時的に堆積される薄膜の膜厚を別部材を用いずとも簡単かつ容易に、さらには使い捨て可能な低コストで的確に測定しうる膜厚計を提供すること、及び該膜の成膜操作において、膜厚を簡単かつ容易に、さらには低コストで、的確に測定する方法を提供する。
【解決手段】 膜厚計を経時的に堆積される薄膜の膜厚を測定するための検出材料として圧電セラミックを用いてなる発振式質量膜厚計とし、また、膜厚測定法を、経時的に堆積される成膜操作において、それにより得られる成膜本体とは別に、検出材料として圧電セラミックを配設し、その表面に成膜本体と同様に或いは成膜本体の膜厚に比例して成膜させ、それによる質量変化に比例する、該圧電セラミックを組み入れた発振回路の発振周波数の変化を利用して行うものとする。 （もっと読む）