【課題】バーミラーの形状、スライダの走り、スライダのヨーイング角の情報を、高精度に識別して測定可能な機能を備えるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテン上をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御されるスライダと、前記スライダの一辺近傍に配置されたバーミラーと、このバーミラーに光を当てて距離を計測するレーザ干渉計とを具備するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーに沿って等間隔に固定配置された３個の距離計と、
前記スライダを所定距離づつｎ回（ｎ≧２）平行移動させるスライダ移動手段と、
前記スライダの初期位置及び所定距離の移動毎に、前記距離計の測定値に基づいて前記バーミラーの形状、前記スライダの走り、前記スライダのヨーイング角の少なく共いずれかを演算するバーミラー形状演算装置と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象の移動距離、或いは測定対象が小さい場合でも測定を可能とする。
【解決手段】測定基準物１及び測定基準物１に沿って一定の測定間隔ｄ１で直線移動及び停止可能なステージ３と、測定基準物１及びステージ３の表面形状及び運動軌跡間の相対変位を検出する変位センサ７とを備え、ステージ３上の２点につき測定間隔ｄ１毎に相対変位を測定した結果に基づき測定基準物１及びステージ３の形状誤差、運動誤差を求める真直度測定装置において、相対変位の測定間隔ｄ１毎の測定を、ステージ３の２点についてステージ３の移動を繰り返し変位センサ７を各別に配置して行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長尺体のロール状原反の評価を正確に定量的に評価する方法を提供することを目的としている。
【解決手段】長尺体のロール状原反の幅方向の表面形状の評価方法であって、該表面形状を二次元曲線で表し、該二次元曲線を平均中心線との関連においてデータ処理することにより表面形状を定量化して、長尺体の厚みむらを判定することを特徴とする。 （もっと読む）