【課題】検出部を被検物に対して移動させて測定位置毎に停止させて測定する場合の測定速度を向上させることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被検物に対しての相対位置が変更されて被検物の表面の形状を検出する検出部（２０）と、検出部により検出された被検物の表面の形状の変位を示す情報に基づいて、被検物に対して検出部が相対的に静止しているか否かを判定する判定部（静止判定部５８）と、判定部により検出部が相対的に静止していると判定された場合の形状に基づいて、被検物の表面の形状データを算出する算出部（座標算出部５３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検物の形状測定において、測定プローブと被検物との位置合わせ作業を簡単に
行うことが可能な構成の形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物に対して光プローブ２０を相対移動させて、光プローブ２０により得
られた情報から被検物の三次元形状を非接触で測定するように構成された形状測定装置に
おいて、光プローブ２０を被検物に対して所定の位置となるように移動させる門型構造体
１０と、被検物を少なくとも２つの回転軸方向に回転させる支持装置３０とを有して構成
される。 （もっと読む）

【課題】高い操作性を有する新たな形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物６０を挟んで対向配置される少なくとも２台の駆動機構付き測定機ＣＭＭ１，ＣＭＭ２と、これらの測定機ごとにそれぞれ対応して接続される少なくとも２台の操作コントローラ５１，５２と、を備えるものである。そして、操作コントローラ５１，５２のそれぞれは、非接続の測定機ＣＭＭ２，ＣＭＭ１を含むすべての測定機を操作可能に構成されている。また、操作コントローラ５１，５２は、切替ボタン５３，５４を有しており、この切替ボタンを切り替えることによって操作対象となる測定機を選択可能となっている。 （もっと読む）

【課題】位置決めおよび測定精度に及ぼす工作物の重量の影響を低減する単純かつコスト効率の高い代案を提供する。
【解決手段】測定対象物３０についての測定可能な変数を決定する装置は、複数の機械脚部３８、４２上に取り付けられた底板１２を有している。測定ヘッド２８は、底板に対して移動させることができる。工作物テーブル４６は、測定対象物３０を支持するために底板１２上に設置することができる。本発明の一局面によれば、底板１２は、垂直方向に調節することができるように機械脚部３８、４２に取り付けられている。機械脚部３８、４２は、工作物テーブル４６を保持するために第１の調節位置で底板１２から上方に突出している。第２の調節位置においては、機械脚部３８、４２は、底板１２内に後退されている。 （もっと読む）

【課題】 操作性に優れたテーブル移動機構およびプローブ走査装置を提供する。
【解決手段】 プローブ走査装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を一体的に備える。原子間力顕微鏡１０は試料載置台３０を有する。試料載置台３０は、ＸＹ方向移動機構３０ａおよびＺ方向移動機構３０ｂを含む。ＸＹ方向移動機構３０ａの上部には、試料Ｍを載置するための第３の移動プレート３３０が設けられている。ＸＹ方向移動機構３０ａの側面側からＹ方向に延びるようにＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０が互いに平行に設けられている。使用者がＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０を回転操作することにより、第３の移動プレート３３０がＸ方向およびＹ方向に移動する。第３の移動プレート３３０のＸ方向およびＹ方向への移動時において、Ｘ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０はＸ方向およびＹ方向に移動しない。 （もっと読む）