【課題】走行体の変位量を正確に検出できる走行装置を提供する。
【解決手段】略平行に配設されたガイドレール３１０、３２０と、ガイドレール３１０、３２０に摺動可能に設けられたスライダ部７１１、７１２および２つのスライダ部７１１、７１２を連結する連結部７２０を有する走行体７００と、推進力を付与する推進力付与手段５００と、ガイドレール３１０、３２０間で配設されたスケール６１０およびスケール６１０に対する変位量を検出する検出ヘッド６２０を有する変位検出手段６００と、を備える。連結部７２０は、スライダ部７１１、７１２を架橋する主ビーム７２１と、両端が主ビーム７２１においてスライダ部７１１、７１２に近接する位置に固定された補助ビーム７２２と、を備える。推進力付与手段５００は主ビーム７２１に推進力を付与し、検出ヘッド６２０は補助ビーム７２２に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 安価で耐環境性に優れたＸＹ位置検出器で構成でき、ＸＹスライダの可動範囲に制約を受けず複数台のＸＹスライダを駆動できるＸＹ位置決め装置を提供する。
【解決手段】 直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って格子状に形成されたプラテン１００と、プラテン１００とギャップを介して対向配置されたＸＹスライダ１と、ＸＹスライダ１をＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ推力を発生させるＸ電機子およびＹ電機子と、より構成されるＸＹ位置決め装置において、プラテン１００上に配置され、Ｘ軸位置とＹ軸位置を検出するための目盛を有する平面状のＸＹスケール１０４と、ＸＹスライダ１に配置され、ＸＹスケール１０４の目盛を検出するＸＹ位置検出器８とよりなる平面エンコーダを備え、ＸＹ位置検出器より得られたＸ軸位置とＹ軸位置の位置情報をもとにＸＹスライダの位置決めを行うようにした。 （もっと読む）

試料台（６）を基体部（４）に対して動かすための位置決め部材（２）が記載されている。位置決め部材は、駆動軸に沿って膨張及び収縮するように配置された圧電素子によって駆動されており、圧電素子は、基体部に取り付けられた入力端と、圧電素子の駆動軸から離間するように反対方向に延在する第１の出力レバー（１４）及び第２の出力レバー（１６）とを備えている。それぞれの出力レバーは、圧電素子が膨張するときに圧電素子によって作用されるように配置された内側アーム部と、試料台が台支持部（２６，２８）を介して取り付けられた出力アーム部とを備えている。出力レバーは、圧電素子が出力レバーの内側アーム部に作用し、外側アーム部を、駆動軸を含む平面内で動かすように取り付けられている。出力レバーのこの動きは、台支持部を介して試料台に伝導し、試料台を基体部に対して駆動軸に平行な方向に沿って動かす。
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多軸圧電位置決め装置（１６、３６、５６、１１６）について述べる。位置決め装置には、面内で可動部（２２、６２、１２２）を基準にして移動し得る固定部（２０、６０、１２０）が含まれる。可動部には、面内において膨張及び収縮し得るように構成された圧電素子（２４、６４Ａ−Ｄ、６６Ａ−Ｄ、１２４）が含まれる。可動部は、対応する第１、第２及び第３の解放可能なクランプ機構（２８Ａ−Ｃ、３４Ａ−Ｃ、６３Ａ−Ｄ、１２８Ａ−Ｃ）によって、第１、第２及び第３位置における固定部を基準にした所定の位置において選択的にクランプし得る。可動部は、従って、圧電素子が膨張又は収縮する間、解放可能なクランプ機構の幾つかを選択的に作動することによって、固定部に相対的に面内で移動し得る。これによって、平行機構多軸圧電位置決め装置が提供される。三軸位置決め装置を規定する面に対し垂直な方向に沿って配置し得る支持体を備えてよい。
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