【課題】半導体製造分野で用いられるＳＥＭの試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を簡易な構造で可能とするステージ装置の提供。
【解決手段】ステージ装置は、ベースに支持されて移動するテーブルを備えるとともに、そのテーブルに組付けられる制動機構１７ｘを備えている。制動機構１７ｘは、押圧作動力を発生させる押圧アクチェータ４１、ベースに設けられた制動面１９ｘを押圧作動力に応じた押圧力で押圧する押圧部材４３、および押圧部材に押圧作動力を伝達する動力伝達部材４２を有し、押圧部材は、押圧力を制動面の法線Ｐに対し傾けて作用させるようにされ、それにより押圧力から法線方向の分力として制動力５２を得るとともに、制動面内の分力として推力５３を得るようにされ、そして推力により、当該推力に応じた移動距離についてテーブルに移動を生じさせることで高精度な位置決めをなさせるとともに、制動力によりテーブルの停止状態を安定化させるようにされている。 （もっと読む）

【課題】
可動テーブルの重量を増加させることなく、ステージ停止時における十分な制動力を発生するブレーキ機構を有するステージ装置を構成する。
【解決手段】
ステージ機構１は、Ｘベース１２０の上に固定されるＸ方向の案内機構としてのＸガイド１２１と、これに拘束されてＸ方向に移動可能なＸテーブル１２２と、これに可動部を固定されたＸアクチュエータ１２３と、Ｘベース１２０の上に固定されたＸテーブル１２２の制動機構であるＸブレーキ１２４などから構成される。制御装置２は、ステージ停止時にＸブレーキ１２４をＸテーブル１２２の下面に押し付けて制動力を発生させ、ステージ停止後にはＸアクチュエータをサーボ制御をオフにする位置決め制御を行う。 （もっと読む）

ＸＹテーブルは、固定基準部分（Ｂ）と、該基準部分（Ｂ）に対して相対的に第１の方向（Ｙ）に移動可能に保持されている中間部分（Ｆ）と、該中間部分（Ｆ）に対して相対的に第２の方向（Ｘ）に移動可能に保持されている物体（Ｏ）とを含む。この場合、処理されるべき部品（Ｗ）が物体（Ｏ）又は基準部分（Ｂ）上に配置される。さらに、第１の方向（Ｙ）に対して、基準部分（Ｂ）と中間部分（Ｆ）との間の平面内自由度（Ｘ、Ｙ、Ｒｚ）を測定するための少なくとも１つの１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_１、Ｍ_２）と、第２の方向（Ｘ）に対して、物体（Ｏ）と中間部分（Ｆ）との間の平面内自由度（Ｘ、Ｙ、Ｒｚ）を測定するための少なくとも１つの１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_３、Ｍ_４）とを含む。これにより、部品（Ｗ）又は物体（Ｏ）におけるツール中心点（ＴＣＰ）の位置（Ｘｏ、Ｙｏ）が測定可能である。１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_１、Ｍ_２、Ｍ_３、Ｍ_４）は、第１及び第２（Ｙ、Ｘ）の方向に広がる平面であってツール中心点（ＴＣＰ）を含む平面内へのそれらの投影が、ＸＹテーブルの全走行領域内で部品（Ｗ）の外側に存在するように配置されている。これにより、アッベ（Ａｂｂｅ）条件が満足されるので、簡単な１Ｄプラスエンコーダを用いて物体（Ｏ）におけるツール中心点（ＴＣＰ）の正確な測定を可能にする。
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【課題】 ボールねじとリニアスケールを近接一体化して耐荷重構造とし、精度を良くするとともに、移動対象をサブミクロンオーダーで移動することができるようにするものである。
【解決手段】 パーソナルコンピュータに連結するコントローラを介してモータケーブルとスケールケーブルで操作される位置決め自動ステージにおいて、位置決め自動ステージ本体のどちらかの一端にステッピングモータを配設し、駆動部が配設された上面を２５〜４８ｍｍにスリム化し、ボールねじをリニアスケールの上部に、若干の間隙を持たせながらも密着させないように近接一体化して耐荷重ステージ構造とし、位置決め自動ステージの両サイドには組み込み方式のクロスローラガイドを設け、フィードバック制御をリニアスケールで行い、ボールねじとリニアスケールを近接一体化して内蔵した位置決め自動ステージ （もっと読む）

【課題】バーミラーの形状、スライダの走り、スライダのヨーイング角の情報を、高精度に識別して測定可能な機能を備えるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテン上をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御されるスライダと、前記スライダの一辺近傍に配置されたバーミラーと、このバーミラーに光を当てて距離を計測するレーザ干渉計とを具備するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーに沿って等間隔に固定配置された３個の距離計と、
前記スライダを所定距離づつｎ回（ｎ≧２）平行移動させるスライダ移動手段と、
前記スライダの初期位置及び所定距離の移動毎に、前記距離計の測定値に基づいて前記バーミラーの形状、前記スライダの走り、前記スライダのヨーイング角の少なく共いずれかを演算するバーミラー形状演算装置と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の二次元型テーブル微小角度駆動機構は、検出した傾斜角に誤差が含まれており、二軸テーブルの利用において精度が低下している。
【解決手段】本発明による二次元型テーブル微小角度駆動機構は、補正手段５３は、Ｘ軸に沿う傾斜角とＹ軸に沿う傾斜角とを軸とした二次元座標系の各設定点の中から、指定傾斜角５２ａを囲む設定点を抽出するとともに、この前記指定傾斜角５２ａを囲む前記設定点の前記補正用誤差データ５５ａに基づいて、前記指定傾斜角５２ａにおける補正量ΔＸ，ΔＹを求め、傾斜角検出手段５４により検出された傾斜角５４ａを、補正量ΔＸ，ΔＹを用いて補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、二軸テーブルの微小角傾動を４個のヒンジを有するフレクチャヒンジ体を介して行うことにより、円滑で高精度の傾動動作を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明による二次元型テーブル微小角度駆動機構は、ベース(1)のシャフト(3)上に４個のヒンジ(31〜34)を有するフレクチャヒンジ体(4)を設け、このフレクチャヒンジ体(4)の可動側に二軸テーブル(5)を設け、この二軸テーブル(5)を二軸方向に駆動するための二軸の駆動トルカ(20〜23)を設け、各駆動トルカ(20〜23)を選択的に駆動することにより各ヒンジ(31〜34)のねじりによって二軸テーブル(5)の傾動を行う構成である。 （もっと読む）

【課題】弾性体で可動ステージの重量を支持し、アクチュエータで可動ステージを駆動する精密微動位置決め装置において、装置を小型にし多自由度化する。
【解決手段】固定ベースと、固定ベースの上に取り付けられた電磁アクチュエータの固定子と、固定子と一定の空隙を介して対向し、固定子に対して上下に移動可能な電磁アクチュエータの可動子と、固定ベースと可動ベースとの相対的な変位を検知する変位センサが収納され、固定ベースの上に下端が取り付けられた弾性支持機構と、弾性支持機構の上端と電磁アクチュエータの可動子の上端とが固定された可動ベースと、を備えた精密微動位置決め装置とした。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置制御を行うことが可能なステージ装置の設計方法、ステージ装置の製造方法、露光装置の製造方法、およびステージ装置を提供する。
【解決手段】ＸステージとＸステージ上を移動するＹステージとを含む力学系の伝達関数を求め、求めた伝達関数の零点の実部が負の値となるように、Ｙステージの質量またはＹステージの重心まわりの慣性モーメントを決定する。 （もっと読む）

【課題】試料移動ステージをスライドさせて生じるスライドの変形が試料テーブルに伝達されることを防止する試料移動ステージに関する。
【解決手段】ベースフレームに取り付けられ第１のガイドブロックに沿って移動する第１のスライド、および前記第１のスライドに取り付けられかつ第２のガイドブロックに沿って移動する第２のスライドが相互横断方向に取り付けられる可動部と、前記第２のスライドに形成されたひずみメカニズムモジュール５０を仲介して取り付けられた試料テーブルによって試料を移動させる。前記ひずみメカニズム５０は、上下方向に沿って一定間隔で上記第２のスライドの上面を規則的に貫通する多数の緩衝孔５３と、前記緩衝孔５３の中心に当たるように切断され、かつ上記試料テーブルが取り付けられるブリッジ部５６および取付部５２の変形空間を提供する多数の変形ライン５４とからなり、スライドによる変形が試料テーブルに伝達されない。 （もっと読む）

【課題】ナノメートルのオーダの精密度が要求される鉛直方向超精密位置決め装置に対応し得る重力補償機構を提供する。
【解決手段】重力補償機構は真空シリンダ作動器１０と、真空ポンプ１４とを具備する。真空シリンダ作動器は、真空ポンプ１４と連通させられた真空シリンダ１０Ａと、この真空シリンダの一端面側に設けられた非接触シールリング１０Ｂと、この非接触シールリングに挿通させられたピストン１０Ｃとから成り、ピストンに鉛直方向下向きに及ぼされる荷重が真空ポンプの作動により補償させられる。 （もっと読む）

【課題】可動部分が軽量化されており、かつ、可動子にエアパッドを用いないＸＹ位置決め装置を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸＹ座標軸で定義されたＸＹ平面内の位置決めに用いるＸＹ位置決め装置において、Ｎ極を上方向とした永久磁石１２ＢおよびＳ極を上方向とした永久磁石１２Ｃを、少なくとも位置決めが必要な領域について、ＸＹ平面方向に磁極の方向が交互となるように敷き詰めてなるステータ１２と、Ｘ軸方向の列およびＹ軸方向の列それぞれに３個以上の同数のコイル１８Ａが均等に配置されて、コイル１８Ａが正方格子状に配置されており、ステータ１２に対して平行方向に相対的に移動することができる可動子１８と、可動子１８をステータ１２に対して所定の間隔をもってＸＹ平面方向に移動可能に支持するガイド機構１４、１６と、を備えさせる。 （もっと読む）

【課題】
位置検出センサの出力信号の減衰を懸念することなく当該位置検出センサとコントローラを接続することが可能であり、コントローラの小型化に資することが可能な位置検出機能付きアクチュエータを提供する。
【解決手段】
位置検出センサとコントローラとを接続する信号ケーブルとして湾曲自在なフレキシブルプリント基板を用い、かかる信号ケーブルは、前記Ｘ方向センサ部に接続されると共に前記第２部材に固定される固定配設部と、この固定配設部から連続すると共に前記第２部材から引き出されて前記コントローラに接続される可動余裕部とから構成されており、前記信号ケーブルの固定配設部には、前記Ｘ方向センサ部が出力したアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータを実装した。 （もっと読む）

【課題】患者配置システム用の単純及びコンパクトで信頼性、実用性及び費用効率の高い駆動システムを提供する。
【解決手段】支持テーブルを第一の方向に移動させるように構成されている第一の駆動アセンブリ（８０５）と、支持テーブルを第二の方向に移動させるように構成されている第二の駆動アセンブリ（８１０）と、第一の駆動アセンブリ（８０５）及び第二の駆動アセンブリ（８１０）に結合されている駆動モータ（８１５）とを含むテーブル駆動システム（８００）を提供する。駆動モータ（８１５）は、第一の駆動アセンブリ（８０５）及び前記第二の駆動アセンブリ（８１０）を駆動するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 連続配置された２個のプラテン夫々に適正な補正信号を切り替えて出力すると共に、プラテン接続部近傍の補正信号を適正値に計算して出力可能なＸＹステージを実現する。
【解決手段】 互いに一辺を接して同一面に連続配置された第１のプラテン及び第２のプラテンと、
これらプラテン上でＸ軸モータ及びＹ軸モータへ供給する交流信号によりＸ軸方向又はＹ軸方向に移動制御されるスライダと、
前記スライダが前記第１のプラテン上にあるときに前記交流信号の転流位相角に基づいて算出される第１の補正信号により前記スライダに発生するコギング推力に起因するリップル又は推力リップルを抑制する第１のリップル抑制手段と、
前記スライダが前記第２のプラテン上にあるときに前記交流信号の転流位相角に基づいて算出される第２の補正信号により前記スライダに発生するコギング推力に起因するリップル又は推力リップルを抑制する第２のリップル抑制手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 高分解能ステージと、低分解能ステージとを交換する手間を無くし、小型、軽量な位置決めステージと、この位置決めステージに使用される積層型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 積層型圧電素子１００と、該積層型圧電素子に通電することによって前記積層型圧電素子に変位を発生させる電気回路１３０とを備えた積層型圧電アクチュエータ２００において、前記積層型圧電素子１００が電気的に絶縁された複数の小積層型圧電素子１１０，１２０に分割され、電気回路１３０が切替手段１４０を有し、該切替手段１４０により、前記複数個の小積層型圧電素子の全てに通電する場合と、一部に通電する場合とに切替可能とした。 （もっと読む）

【課題】 ステージの移動に伴う反力を質量体を駆動して軽減させつつ、質量体の移動ストロークの縮小を図る。
【解決手段】 質量体を駆動する慣性力付与機構を有する位置決め装置であって、慣性力付与機構は、ステージの移動に伴って発生する反力を軽減するための信号を生成して出力する反力補償制御系と、質量体の位置を計測する位置計測手段の出力に基づいて、蓄積された複数の質量体の相対距離を低減するための信号を生成して出力する位置補償制御系と、位置補償制御系の出力の一部を選択して出力する選択手段とを備え、選択手段の出力に基づいて質量体の駆動が制御される。 （もっと読む）

【課題】小形・軽量化でき、搭載物の変形や位置決め誤差を生じることが無いアライメントステージを提供する。
【解決手段】テーブル１０とベース１００間に配置された推力を発生する少なくとも１つアクチュエータ１５０Ａと、前記テーブル１０上に載置された搭載物４を直線Ｘ方向、直線Ｙ方向、回転θ方向に移動させる支持機構１２１，１２２，１２３を備えたアライメントステージ１において、
前記アクチュエータ１５０Ａは、Ｘ方向とＹ方向の２方向に推力を発生する平面モータ１６０と前記支持機構１２１，１２２，１２３により構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】リニアテーブルを構成する可動テーブルの駆動・制御をするための制御アンプをリニアテーブル外に設置すると、所定装置への組み込みに時間がかかっていた。
【解決手段】本発明のリニアテーブルは、エンコーダとリニアモータとを併設した可動テーブルと、可動テーブルの直下に制御アンプを一体化して配置した構造である。
本発明のリニアテーブルは、上記のような構成にすることでリニアテーブルの所定装置への組込み時間の迅速を図るとともに省配線化を実現する。 （もっと読む）

【課題】２方向に移動可能なステージ機構の構成を簡潔にする。
【解決手段】ステージ基台２０は可動部２１、固定部２２、および支持部２３を有する。可動部２１、固定部２２、および支持部２３を一体的に形成する。ステージ基台２０全体を弾性部材によって形成する。可動部２１を板状の４辺形に形成する。固定部２２を可動部の周囲を囲む枠状に形成する。支持部２３を可動部２１と固定部２２とに連結する。支持部２３を４本の腕部と４つの屈曲部により形成する。第１の屈曲部と可動部２１とを連結する。第１の屈曲部に相対する屈曲部を固定部２２に連結する。可動部２１と固定部２２とに第１、第２の圧電素子１４ａ、１４ｂを挟持する。 （もっと読む）