【課題】 小型化が可能で、高分解能で、安価な力センサを提供する。
【解決手段】 絶縁性のセラミックスからなる可撓性基板１１と、可撓性基板の両端を支持する支持部１２ａ、１２ｂを備えた固定部材１２と、可撓性基板１１の支持部間に設けられたプローブホルダー１６とプローブ１７とを備え、プローブ１７に荷重を付加したときに、可撓性基板１１上の歪みが生じる部位に薄膜状に形成され、可撓性基板の歪みにより電気抵抗値が変化する４つの歪みゲージ１３ａ〜１３ｄと、該歪みゲージによりプローブに加わった力を測定するとともに、前記プローブホルダーが移動する範囲を制限するようにプローブホルダーの一部をカバー１８で覆った。 （もっと読む）

【課題】 高分解能ステージと、低分解能ステージとを交換する手間を無くし、小型、軽量な位置決めステージと、この位置決めステージに使用される積層型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 積層型圧電素子１００と、該積層型圧電素子に通電することによって前記積層型圧電素子に変位を発生させる電気回路１３０とを備えた積層型圧電アクチュエータ２００において、前記積層型圧電素子１００が電気的に絶縁された複数の小積層型圧電素子１１０，１２０に分割され、電気回路１３０が切替手段１４０を有し、該切替手段１４０により、前記複数個の小積層型圧電素子の全てに通電する場合と、一部に通電する場合とに切替可能とした。 （もっと読む）

【課題】衝撃体の摺動面に与えられる摩擦力の影響を最小限にし、運動エネルギーを効率的に利用することができる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子２２の一方側に取り付けられる慣性体２１と、圧電素子２２のもう一方側に取り付けられる衝撃体２３と、慣性体２１と衝撃体２３の移動方向に予圧を与え、ケース２７に取り付けられた衝撃体移動方向予圧手段２４と、慣性体２１及び衝撃体２３をガイドする案内手段２５、２６と、圧電素子２２に外部より電圧パターンを与える手段と、を具備し、ケース２７がベース２９に固定されている。 （もっと読む）

【課題】リード部材を積層型圧電素子の端面から取り出すことができる積層型圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電セラミックスからなる下層保護層３３ｂ、第１、第２の内部電極と圧電セラミックスとが積層されてなる圧電活性部３２、及び圧電セラミックスからなる上層保護層３３ａが積層された積層体３１と、下層保護層３３ｂと圧電活性部３２とを貫通し、第１の内部電極３５ａに電気的に接続された第１のスルーホール電極３４ａと、下層保護層３３ｂと圧電活性部３２とを貫通し、第２の内部電極３５ｂに電気的に接続された第２のスルーホール電極３４ｂと、第１のスルーホール電極３４ａに電気的に接続され、積層体３１の端面から取り出された第１のリード線３７ａと、第２のスルーホール電極３４ｂに電気的に接続され、積層体３１の端面から取り出された第２のリード線３７ｂと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトな位置決め装置を提供する。
【解決手段】 リード部材が下端面から取り出された積層型圧電素子１０と、ネジ切りされた支柱部６１及びリード部材を外部に導出する孔部６２ａ、６２ｂを有する積層型圧電素子１０を支持する台座部材５１と、内孔に支柱部６１を通し、積層型圧電素子１０の上端面に当接するように積層型圧電素子１０に載置された筒状部材５２と、内孔に支柱部６１を通し、筒状部材５２の上部に保持される皿バネ５３と、皿バネ５３を介して筒状部材５２と台座部材５１との間で積層型圧電素子１０に所定の保持力が掛かるように、支柱部６１の先端に皿バネ５３と当接して固定されるナット部材５４と、筒状部材５２に嵌め合わされて積層型圧電素子１０を覆うカバー部材５５と、を具備し、積層型圧電素子１０を伸縮駆動させ、筒状部材５２を介してカバー部材５５を、積層型圧電素子１０に発生する変位にしたがって移動させる。 （もっと読む）

【課題】 設置位置の調整の手間がなく簡単に移動対象物の位置を検知することができるインパクト駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】 インパクト駆動アクチュエータ１００は、パルス電圧の印加により急峻な変形を起こし、衝撃的な慣性力を移動対象物２１に与えて移動対象物２１を移動させる積層型圧電素子１１０と、該圧電素子１１０を移動対象物２１に接触させるエアシリンダ１２０と、圧電素子１１０と一体的に設けられて移動対象物２１の位置を検知する接触式の変位センサ１４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】 高剛性・高感度であり、静荷重の測定時にもドリフトが生じない力センサの提供を目的としている。
【解決手段】 測定対象としての荷重を受け弾性変形する着力部である上プレート２ｂと上プレート２ｂの変位量を拡大する変位拡大機構３と変位拡大機構３が拡大した上プレート２ｂの変位量を測定する歪ゲージ変位センサ４と、を有することを特徴としている。また、変位拡大機構３が、複数の梃子３５，３６からなり、各梃子３５，３６の力点、支点、作用点のうち、１つの作用点とその隣の梃子の力点とが重なり、上プレート２ｂの変位量が、各梃子３５，３６の倍率を掛け合わせた倍率に拡大されたものを変位センサ４が測定する構成とすることもできる。 （もっと読む）

【課題】 サブミクロンオーダーの分解能を有してｍｍオーダーの変位量を得ることが可能な位置決めステージや、微小角の回転が可能な回転ステージを提供する。
【解決手段】 位置決めステージ１００は、ネジ１２１を備えた基台１２０と、該基台のネジ１２１と螺合するネジ１４１を一方の面の中央近傍に立設し、両ネジ１２１、１４１が螺合して回転することで基台との距離が変更可能な板状台１４０と、該板状台１４０の前記ネジ１４１の両側に衝撃力を付与して板状台１４０に前記ネジ１４１を中心とした回転を与える複数のアクチュエータ１６０，１６０’と、前記板状台１４０と前記基台１２０とを相互に接近方向又は離反方向に付勢する弾性体１３０と、を有する。アクチュエータ１６０又は１６０’が衝撃力を板状台１４０に与えることで板状台１４０が回転し、ネジ１４１の螺旋に沿って板状台１４０がＺ方向に昇降することで、位置決めステージとなる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子に大きな変位を短時間で生じさせ、しかもその分解能を高めた変位量制御を行うための圧電素子駆動装置および駆動方法を提供する。
【解決手段】 圧電素子５０を変位させるための駆動装置１０は、コンピュータ２０と、駆動電源３０を有する。駆動電源３０は、圧電素子５０に電流を供給するためのカレントソースＩｐ_１と、圧電素子５０に充電された電荷を放電させるためのカレントシンクＩｍ_１と、カレントソースＩｐ_１に設けられた給電用の切り換えスイッチＳｐ_１と、カレントシンクＩｍ_１に設けられた放電用の切り換えスイッチＳｍ_１とを備えている。一定のスイッチング時間ｔ_１でスイッチＳｐ_１のオン／オフを繰り返して行うことで圧電素子５０を伸ばす。圧電素子５０に対して充放電が行われていないときには、圧電素子５０は駆動電源３０と切り離された状態となるので、変位量が一定に維持される。 （もっと読む）

【課題】 部品の角度調節を容易に行うことができ、かつ、部品どうしを面合わせした状態で部品の位置合わせを行うことができる位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】 位置合わせ装置10は、光学部品11aを保持する第１チャック12a、光学部品11bを保持する第２チャック12b、Ｘステージ13、Ｙステージ14、θｘステージ15、θｙステージ16、これら各ステージを打叩して衝撃的な慣性力を与えることにより各ステージを微小距離スライドさせるアクチュエータ23a等、昇降／押圧機構18、を具備する。光学部品11cが光学部品11aと光学部品11bの間に挟まれ、光学部品11aと光学部品11cは曲面で接し、光学部品11bと光学部品11cは平面で接し、光学部品11a〜11cは昇降／押圧機構18によって摩擦保持される。Ｘステージ13とＹステージ14をスライドさせて光学部品11b・11cを位置合わせし、θｘステージ15とθｙステージ16をスライドさせて光学部品11a・11cの位置合わせを行う。 （もっと読む）