【課題】 電動機１による並進駆動によりテーブル４を回転動作するアライメント装置において、テーブル４を精度良くθ動作できるようにする。
【解決手段】 動作指令演算装置３１と、記憶手段３２と、第１の演算部３３と、第２の演算部３４とを備え、テーブル４の機械的な基準形態と、現在のテーブル４の回転量と、現在の電動機１の位置とを記憶し、基準形態から次の回転による最終的なテーブル４の回転位置になるまでに必要な電動機１の位置を計算し、現在の電動機１の位置と最終的な電動機１の位置の差から次に必要な電動機１の移動量を算出する。 （もっと読む）

【課題】ワーク載置部を支持する石定盤を不要にしてステージに位置検出精度を確保する。
【解決手段】スライダ３２Ａ、３２Ｂは、ガイド部１４の左右側面及び上面に対向するように逆Ｕ字状に形成されており、ガイド部１４Ａ，１４Ｂの左右側面に対向するヨーパッド３４，３５と、Ｚ方向で対向するリフトパッド３６とを有する。また、ガイド部の左右側面には、一対のリニアスケール２２Ａ、２２Ｂが設けられている。第１のリニアスケールは、ガイド部１４Ａの左側面に対するＹステージ１８の移動位置を測定する。また、第２のリニアスケールは、第１のリニアスケールが配されたガイド部の左側面と平行な反対側の右側面に対するＹステージの移動位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】載物台の粗動および微動の切換時に測定対象物が位置ずれを起こすことがなく、載物台の移動が滑らかな載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】載物台および固定部材のいずれか一方に回転可能かつ載物台の移動方向に対して平行に支持された送り軸２１と、この送り軸２１を回転させる微動送りハンドルと、載物台および固定部材のいずれか他方に回転可能かつ送り軸２１と回転軸線が交差するように設けられた複数のころ７４とを有する摩擦移動機構と、ころ７４を送り軸２１に対して当接および離脱させる切換手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】基板吸着テーブルの撓みや変形を防止することのできる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】基板吸着テーブル上に載置された基板の傾き及び高さ位置を調整する調整機構を回転テーブル１４１上に設置された三つのテーブル昇降機構１７から構成した位置決めテーブル装置において、基板吸着テーブル１２の下面部に当接するサポート部材をピストンロッドの先端部に有する５個のエアーシリンダ１８を回転テーブル１４１の周囲に配置した。 （もっと読む）

【課題】モータといった駆動源を１つとしても二次元位置を決めることができるシンプル且つ安価なＸＹステージを提供する。
【解決手段】テーブル２にＸ方向ガイド機構１０が設けられ、移動テーブル３がＸ方向ガイド機構１０によりＸ方向に案内される。移動テーブル３は駆動機構３０によってＸ方向に駆動される。移動テーブル３に移動体５が搭載され、移動体５がＹ方向ガイド機構２０によりＹ方向に案内される。テーブル２に変換板４０及び変換板４２が固定され、変換板４０の傾斜面４１及び変換板４２の傾斜面４３がＸ方向及びＹ方向に対して傾斜し、傾斜面４１及び傾斜面４３は相対している。移動体５が傾斜面４１に当接した状態で移動テーブル３が＋Ｘ方向に移動すると、移動体５が−Ｙ方向に移動する。移動体５が傾斜面４３に当接した状態で移動テーブル３が−Ｘ方向に移動すると、移動体５が＋Ｙ方向に移動する。 （もっと読む）

【課題】誤った欠陥検知または、検査感度の損失を引き起こすことのない基材支持の装置及び方法を提供する。
【解決手段】ステージミラー１１０に対する基材チャック１０６の変位を感知し、ステージミラーへ結合されているＺステージアクチュエータ１２６及びＸＹステージアクチュエータ１４６、１４８のうちの一方又は両方を有する１つ以上のフィードバックループにおける変位に比例する信号を結合することによって、ステージミラーに対する基材チャックの運動が動的に補償される。これに代えて、基材支持装置は、Ｚステージプレート1１２、ステージミラー１１０、Ｚステージプレートへ取り付けられている１つ以上のアクチュエータ、及びステージミラーへ取り付けられている基材チャックを含み得る。基材チャックは基材チャックの６つの運動自由度に対する拘束を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明はθテーブルの回動動作を安定的且つ精密に制御できることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０Ａは、定盤２０と、定盤２０の平面上を移動するステージ３０と、ステージ３０上に載置されたθテーブル４０とを有する。ステージ３０は、Ｙ方向に移動するＹステージ３６と、Ｙ方向と直交するＸ方向に移動するＸステージ３８とを有する。Ｘステージ３８とθテーブル４０との間には、θテーブル４０をθｚ方向に回動可能に支持するピボット軸８０と、ピボット軸８０を回転可能に軸承する軸受８２とが設けられている。一対のθリニアモータ７４は、上方からみるとピボット軸８０を中心に対称となる位置に平行に設けられている。そのため、一対のθリニアモータ７４は、コイルユニット７８に通電することによりピボット軸８０を中心とする偶力を発生させてθテーブル４０を側面からθｚ方向に回動させる。 （もっと読む）

【課題】安価で製作が容易な粗微動位置決め装置を提供する。
【解決手段】粗微動位置決め装置は、移動台を移動させる粗動機構と、粗動機構よりも高い移動精度で移動台を移動させる微動機構と、移動台の位置を検出する位置センサと、位置センサからのフィードバック信号に基づいて粗動機構を制御する粗動制御装置と、位置センサからのフィードバック信号に基づいて微動機構を制御する微動制御装置と、フィードバック経路に介在して設けられた信号調整器とを備える。信号調整器は、位置センサの検出信号を第１分解能でエンコードして得られた第１エンコード信号を粗動制御装置に出力し、位置センサの検出信号を第２分解能でエンコードして得られた第２エンコード信号と指令値信号との偏差を示す偏差信号を微動制御装置に出力する。 （もっと読む）

【課題】長ストロークで高い応答性の微動動作が可能であるとともに圧電アクチュエータの破損を防止することができる回転機構付軸方向微動機構を提供する。
【解決手段】粗動機構は、基台に回転可能に支持されたねじ軸と、ねじ軸に螺合し、移動台に固定されたナットとを有し、ねじ軸の回転により移動台を基台に対して軸方向に移動させる。回転機構付軸方向微動機構は、対向配置して予圧を付与した２つの転がり軸受装置と、基台に固定され、転がり軸受装置のそれぞれの外輪が嵌合するハウジングと、伸縮方向に対して直列に配置した２つの圧電アクチュエータとを有し、転がり軸受装置のそれぞれの内輪をねじ軸に嵌合させ、内輪をねじ軸に軸方向に固定し、外輪の一方を軸方向に拘束し、外輪間の軸方向の距離を複数の圧電アクチュエータの伸縮により変化させるようにした。 （もっと読む）

【課題】このスライド装置は，スライダを軌道レール上で摺動させる送りねじ機構をねじ軸支持体を介して軌道レールの上面に対して取り付け，組立作業性を改善する。
【解決手段】スライダ３は，軌道レール２のＵ字状凹部５に嵌挿され，駆動モータによって駆動され且つスライダ３に取外し可能なナット体１７に螺合するねじ軸４によって，軌道レール２上を摺動する。ねじ軸４の端部を回転自在に支持するねじ軸支持体１１，１２を，軌道レール２の上面１３に載置して取り付ける。送りねじ機構のリードを変更する場合やメンテナンスの場合には，ねじ軸支持体１１，１２を軌道レール２から取り外すと，ねじ軸４とナット体１７がスライダ３から取り外すことができ作業性が改善される。 （もっと読む）

【課題】本発明はステージ駆動時の反力を受けた駆動手段の支持部を介してステージに伝達されることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、ガントリ部を移動させるガントリ移動型ステージであり、コンクリート製の床面に固定された架台１２と、架台１２上に支持された石定盤１４と、石定盤１４上に支持されたワーク載置台１６と、ワーク載置台１６の上方を跨ぐように横架されたＹステージ１８と、Ｙステージ１８の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０と、リニアモータ２０が受ける反力を緩衝する緩衝部材５０とを有する。リニアモータ２０の駆動力によりＹステージ１８をＹ方向に移動させる際に発生する反力は、緩衝部材５０に吸収されると共に、リニアモータ支持部４６を介してコンクリート床面に伝達される。 （もっと読む）

一実施例によれば、線形平行移動ステージが提供される。前記線形平行移動ステージは、互いに対する相対平行移動のために構成された第１の部分（例えば、基盤部分）および第２の部分（例えば、ステージ部分）を含む。前記第１の部分または前記第２の部分のうちの一方は、それに関連するコイルを有し、前記第１の部分または前記第２の部分のうちのもう一方はそれに関連する磁気源を有する。前記磁気源は、電流が前記コイルを介して前記コイルに与える力を発生させ、それによって前記第２の部分に関連して前記第１の部分を平行移動させるように、一般的に前記コイルを包含する磁場を生成するために１つ以上の磁石を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】 原点復帰時のスライダ部同士の衝突を防止し、レーザ干渉計のつなぎ箇所にて発生する累積検出誤差をキャンセルする機能を備えたＸＹステージを実現する。
【解決手段】 四辺形のプラテン上で２個のスライダ部を夫々２次元方向に位置制御するにＸＹステージにおいて、
前記四辺形の対角点位置又は一辺の両端位置に、前記スライダ部の夫々に対応する原点位置検出手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】摩耗粉除去パッドと可動体の当接面との隙間から摩耗粉が逃げ出して外部に摩耗粉が飛散するのを防ぐ超音波モータ用の案内装置を提供する。
【解決手段】楕円運動する振動体と、該振動体の楕円運動を伝達するための摩擦部材５６とを有する超音波モータ５００と、摩擦部材５６に当接する当接面６４ａを有し、摩擦部材５６と前記当接面６４ａとの摩擦駆動により移動可能に設けられた可動体６４と、超音波モータ５００を包囲し、可動体６４側に開口する筐体１とを含む案内装置において、前記可動体６４の当接面６４ａに摺接する摺接面２ａを備えるとともに、超音波モータ５００に対応する開口部を備えた封止体２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来、人間によって指定又は調整を行なわなければならず問題であった基準マークの登録、ＸＹθステージと同上システムとの間の座標軸の自由度調整、カメラの配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側かの判定・調整および基準マークのカメラ視野内への捕捉を完全に自動化したＸＹθステージ位置アライメントシステムを提供する。
【解決手段】カメラの視野から幾何学的に特徴的なパターンを特別な画像処理アルゴリズムにより基準マークとして抽出・登録する手段、ＸＹθステージの所定の動作に対するカメラの撮像画像上での動きの計測によるＸＹθステージと位置アライメントシステムの座標軸の自由度自動調整手段、カメラのＸＹθステージに対する配置位置の自動判定・自由度自動調整手段、更には所定の視野移動方法による基準マークを含む探索パターンのカメラ視野内への自動捕捉手段の内の任意の組合せを適宜具備させる。 （もっと読む）

【課題】 簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】 移動部材６は、スライダ４，４とガイドレール５，５を介して支持板３に懸架されているので、高精度な位置決めを行うに当たって、定盤１の上面全体を精度良く加工する必要はなく、定盤１を軽量化することができる。これは、位置決め装置を設置するに当たり、定盤１を分解して現地へ搬送し、そこで組み立てる際に有効である。また支持脚２，２の部品精度や変形も位置決めに影響を与えることがない。 （もっと読む）

【課題】
簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
移動部材３は、定盤１上に配置されたガイドレール２、２に沿って移動可能なスライダ３ｄ、３ｄを取り付けた第１の脚部３ａと、定盤１に対して非接触状態で支持された第２の脚部３ｂとにより支持されているので、移動に際しての抵抗が少なく、リニアモータ５に大きな駆動力を必要としないためコンパクトな構成とできる。又、スライダ３ｄ、３ｄは、静圧軸受に比べ一般的に剛性や負荷容量が高い代わりに駆動抵抗が大きいという特徴があるので、スライダ３ｄ、３ｄ側をリニアモータ５によって駆動することにより、駆動時における移動部材３の姿勢変化を抑えることができ、ロストモーションを抑えることで高精度な位置決めを実現できる。 （もっと読む）

【課題】 静止時のクリープ現象の発生を解消し、高速走査と高精度位置決めの両立を可能にし、動的位置決め精度を確保することができる、高速かつ高精度で、スムーズな走査移動等を行うことができる機械式の移動装置を提供する。
【解決手段】 この移動装置は、走査ステージ２１１を移動させる方向に対して平行に設けられた２組の駆動軸機構（２０５Ａ，２０６Ａ−１，２０５Ｂ，２０６Ｂ−１等）と、これらの２組の駆動軸機構のそれぞれに設けられた位置検出機構（２１３Ａ，２１３Ｂ）と、２組の駆動軸機構の動作を制御するコントローラ３３等とから成り、コントローラ等は、少なくとも走査ステージの静止時に、２組の駆動軸機構のそれぞれの駆動位置の偏差ｄを維持するように２組の駆動軸機構を駆動制御するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 フィードバック制御可能な位置決め台の提供。
【解決手段】 中空状のベース内に複数組の連結機構で位置決め台が架設され、該連結機構は板バネで製造されたヒンジ式の機構とされ、ベースと位置決め台間の各軸方向位置にアクチュエータが取り付けられ、アクチュエータの作動時に、位置決め台がベース内で各軸方向の微幅の移動可能で、並びに連結機構を押圧して変形させ、別に連結機構にひずみゲージが取り付けられて連結機構の弾性変形量を検出し、ひずみゲージが電子信号をコントローラにフィードバックし、コントローラの演算により制御信号を修正してアクチュエータを正確に作動させ、位置決め台を正確な位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】小型、低価格、かつ高応答性のＸＹθテーブルを提供する。
【解決手段】ＸＹθテーブルが、載置台と、載置台のＸ軸方向の一の側およびその反対側に配置されたＸ軸バーと、それぞれのＸ軸バーに交互に極性を変えて配置された複数の永久磁石と、Ｘ軸バーの永久磁石の上面および下面にそれぞれ対向配置された複数のコイルを有するＸ軸バー支持ステータと、載置台のＸ軸方向に直交するＹ軸方向の一の側およびその反対側に配置されたＹ軸バーと、それぞれのＹ軸バーに交互に極性を変えて配置された複数の永久磁石と、Ｙ軸バーの永久磁石の上面および下面にそれぞれ対向配置された複数のコイルを有するＹ軸バー支持ステータとを備える。 （もっと読む）