【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台１１に設けられたレール１２の上にそれぞれ摺動可能に立設された第１のスライド部材２１と第２のスライド部材２２、但し、第１のスライド部材には、レールとの係合により第１のスライド部材を一時的に固定することのできる第１の仮固定機構３１が設けられており、また第２のスライド部材には、斜面２２ｃが設けられている；第１のスライド部材の側面２１ｂと第２のスライド部材の斜面２２ｃとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材２３、但し、対象物支持部材２３には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第２の仮固定機構３２が設けられている；そして、第２のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材４１を含む位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】オイルによる汚染がなく、磁気ノイズを発生しない、エネルギ効率のよい、高性能なステージ位置決め装置を提供する。
【解決手段】Ｙステージ７をＸ、Ｙ、Ｚの３軸方向に移動するステージ位置決め装置１であって、架台に対してテーブル１０を水圧によってＺ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１１と、テーブル１０に設けられるガイドレール９に対してＸステージ８を水圧によって支持する静圧軸受１８と、テーブル１０に対してＸステージ８を水圧によってＸ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１９と、Ｘステージ８に設けられるガイドレール２０に対してＹステージ７を水圧によって支持する静圧軸受１７と、Ｘステージ８に対してＹステージ７を水圧によってＹ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】多段階の位置決めが可能であり、故障や停電等の電気系統のトラブルが発生した際の復旧が極めて容易な汎用位置決めテーブルを提供する。
【解決手段】汎用位置決めテーブル１は、一方向に摺動可能なテーブル１１と、当該一方向と平行をなす軸を中心に回転可能なシャフト１３１と、シャフト１３１の側面上に設けられた、摺動するテーブル１１を停止させるための複数のストッパ１３２と、を備えている。ここで、摺動するテーブル１１は、複数のストッパ１３２のうちシャフト１３１の回転により切り替え可能な一のストッパ１３２に当接することで停止させられる。 （もっと読む）

【課題】弾性体で可動ステージの重量を支持し、アクチュエータで可動ステージを駆動する精密微動位置決め装置において、装置を小型にし多自由度化する。
【解決手段】固定ベースと、固定ベースの上に取り付けられた電磁アクチュエータの固定子と、固定子と一定の空隙を介して対向し、固定子に対して上下に移動可能な電磁アクチュエータの可動子と、固定ベースと可動ベースとの相対的な変位を検知する変位センサが収納され、固定ベースの上に下端が取り付けられた弾性支持機構と、弾性支持機構の上端と電磁アクチュエータの可動子の上端とが固定された可動ベースと、を備えた精密微動位置決め装置とした。 （もっと読む）

【課題】面精度を確保する面を最小にでき、駆動を精度良く行える位置決め装置を提供する。
【解決手段】不図示の駆動装置を駆動することによって、Ｘ軸ステージ５はＹ軸ステージ３に対して第１の方向に駆動されるが、この駆動力は、連結部材１０とテーブル９に伝達され、更に棒部材７を介してスライダ８に伝達される。このとき、連結部材１０は、第１の方向においては剛性が高いので、Ｘ軸ステージ５に対して遅れなくテーブル９とスライダ８が追従することができ、第１の方向において高精度な駆動を実現できる。 （もっと読む）