本発明は、第１および第２共振器（７０_１，７０_２）を備え、上記第１および第２共振器は第１および第２線形発振器（３_１，３_２，４_１，４_２）からなる結合系としてそれぞれ形成されており、上記第１共振器（７０_１）と上記第２共振器（７０_２）とが共通の振動軸（７２）に沿って逆方向に振動するコリオリの角速度計（１’）に関するものである。本発明の結合系により、回転速度と加速度とを同時に測定することができる。また、本発明の結合系は、外部または内部で生成される振動などの妨害の影響を受けにくい。
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アナログ駆動信号とピックオフ信号との間の電気的クロス結合の影響を減らすことを目的として、アナログ駆動信号をピックオフ信号から区別する方法である。当該方法は、第１の周波数における周期的なデジタル信号をデジタルデータ値のストリームの形で受信するステップと、デジタルデータ値の少なくとも１つをランダムな形で変換するステップと、そして、デジタルデータ値のストリームをアナログデータ値のストリームにコンバートしてアナログ駆動信号を形成するステップと、を有する。当該方法はまた、第２の周波数において振動するように構成された共振部材に物理的に結合されたセンサを前記アナログ駆動信号で駆動するステップと、そして、ピックオフ信号の生成のために、センサによって検知される共振部材の運動における変化を感知するステップと、を有する。
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高周波域において所望とする周波数領域で電磁妨害波耐性を実現することを可能とするノイズフィルタを提供する。 センサ２の出力端子２ａ，２ｂと、センサ２の出力信号を検出する検出回路５とを電気的に接続する経路に挿入されるノイズフィルタであって、センサ２側に配置された少なくとも１つのインピーダンス素子としての第１，第２のインダクタンス素子７，８と、インピーダンス素子とを検出回路５との間に接続された少なくとも１つのキャパシタンス素子９とを備えるノイズフィルタ４、並びに該ノイズフィルタを用いたセンサ回路１。 （もっと読む）

Ｘ−Ｙ面内に横方向に配置され、フレーム（３４）に間接的に連結されている２つの質量（２２，２４）を有する角速度センサ。２つの質量（２２，２４）は、これらの質量が、Ｚ方向に沿って必ず反対方向に移動するように、リンク装置（２８，５６，５８）により連結されている。Ｙ軸を中心にするセンサの角速度は、２つの質量（２２，２４）をＺ方向に反対位相で振動させ、それによりフレーム（３４）に加わる角振動の振幅を測定することにより感知することができる。好ましい実施形態では、角速度センサは、バルクＭＥＭＳジャイロスコープ・ウェハ（２０）、キャップ・ウェハ（４２）および基準ウェハ（４４）から製造される。他の好ましい実施形態では、ウェハのこのアセンブリは、質量（２２，２４）と周囲環境との間に密封バリアを形成する。
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光ファイバセンシングコイルは、無被覆光ファイバをほぼ円状のループに巻くことにより形成される。無被覆光ファイバは、コアおよびクラッドを含む。無被覆光ファイバが巻かれた後、無被覆光ファイバのターンは融着され、それによって光ファイバの個々のターンのクラッドは相互接触箇所で互いに融着される。
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慣性センサシステムは、ベース、慣性センサ、および絶縁装置装着具を有する。絶縁装置装着具は、慣性センサをベースに固定し、絶縁装置装着具は、ボルトと、第１および第２振動吸収部材とを含む。ボルトは、慣性センサおよびベースを通して挿入され、第１振動吸収部材が、ボルトと慣性センサとの間にあり、第２振動吸収部材が、慣性センサとベースとの間にある。絶縁装置装着具が、ベースを通してホストシステムから伝播する振動、衝撃および／または音響雑音から慣性センサを絶縁する。

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光ファイバ・ジャイロ（ＦＯＧ）内の検知コイルの固有振動数を検出するシステムは、光源に接続されたファイバ・カップラと、ファイバ・カップラを介して光源から受け取った光を変調することのできる光集積回路チップ（ＩＯＣ）と、ＩＯＣと通信する検知コイルと、第１変調信号を光に付与する第１変調ジェネレータと、検知コイルの回転速度を表す検知コイルから戻る光を受ける光検出器と、を含む。上記と共に、第２の、好ましくは正弦波の変調信号を光に付与する第２変調ジェネレータと、光検出器によって少なくとも間接的に生成された信号と通信する高振動数復調器と、高振動数復調器と通信する低振動数復調器とが提供される。高振動数復調器は、基準振動数として第１変調信号を受け取り、低振動数復調器は、基準振動数として第２変調信号を受け取る。低振動数復調器の出力は、第２変調信号の振動数と固有振動数の偶数高調波との振動数差の大きさ及び符号を表す。
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【課題】 駆動質量体と感知質量体とを両方デカップルド構造とする。
【解決手段】 Ｘ軸を中心に揺動自在な駆動質量体10、Ｚ軸を中心に揺動可能な感知質量体30、及びＸ軸を中心に駆動質量体10と共に揺動しＺ軸を中心に感知質量体30と共に揺動する媒介質量体20を備える。駆動質量体10はＸ軸を中心に捻れ変形する第１捻れバネ51により基板に、媒介質量体20はＺ軸を中心に曲げ変形する第１曲げバネ61により駆動質量体10に、感知質量体30はＸ軸を中心に捻れ変形する第２捻れバネ52により媒介質量体20に、かつＺ軸を中心に曲げ変形する第２曲げバネ62により基板に、各々連結する。駆動質量体10が駆動電極110によってＸ軸を中心に振動中に外部から角速度が印加されれば、コリオリの力によって感知質量体30がＺ軸を中心に回転し感知電極130はこれを感知する。 （もっと読む）

【課題】 角速度検出ジャイロスコープの精度と効率を改善するための構造と配列を開示する。
【解決手段】 電圧ピックオフ用導体が、ジャイロスコープが回転的に静止している場合に実質的にゼロの応力を受ける角速度検出ジャイロスコープの共振エレメントの表面に取付けられている。同じように、ジャイロスコープが回転的に静止している場合に実質的に均一なレベルの応力を受ける共振エレメントの領域によって規定される箇所に、アクチュエータ用導体が共振エレメントに取付けられている。圧電共振エレメントの電圧応答を改善する方法も開示されている。 （もっと読む）