【課題】本発明は、角速度検出装置をパッケージ後であっても、振動子の強誘電体層に自発分極を生じさせるポーリング処理を容易に行なうことが可能な角速度検出装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、半導体基板の一領域に形成した振動子１００と、振動子１００が形成された領域とは異なる半導体基板の領域に形成した電子回路とを備える角速度検出装置１である。振動子１００は、半導体基板上に形成した下部電極１９４と、下部電極１９４上に形成した圧電体（強誘電体層）１４２と、圧電体１４２上に形成した上部電極（第１駆動電極１４４など）とを有する。電子回路は、振動子１００の上部電極と接続して、振動子１００に駆動信号を印加または振動子からの電気信号を出力する増幅回路と、振動子１００の下部電極１９４と接続し、圧電体１４２に自発分極を生じさせる程度の電圧を印加することが可能な電極端子４４とを有する。 （もっと読む）

【課題】構造設計が容易であり、体格の増大と、熱応力による検出精度の低下とが抑制された半導体装置、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】母基板（１０）と、母基板（１０）に連結された複数の子基板（３０）と、子基板（３０）に形成された素子と、を有する半導体装置であって、母基板（１０）と子基板（３０）とを連結する連結部（５０）を有し、複数の子基板（３０）の内、ある子基板（３０）に形成された素子は、互いに対向する可動電極と固定電極から成るコンデンサを有し、該コンデンサの静電容量変化に基づいて物理量を検出するセンサ部（４０）であり、任意の子基板（３０）と母基板（１０）とを連結する連結部（５０）と、任意の子基板（３０）とは異なる子基板（３０）と母基板（１０）とを連結する連結部（５０）とは、高さ方向の長さが異なり、複数の子基板（３０）は、高さ方向に並んでいる。 （もっと読む）

【課題】駆動モニタ信号の低周波成分が変動してしまったとしても、"Ｈ"区間と、"Ｌ"区間とが略等しい同期検波用のタイミング信号を生成可能な振動型ジャイロセンサ等の技術を提供すること。
【解決手段】タイミング信号出力部２４は、ローパスフィルタ２９と、コンパレータ３０と、第１の位相シフト器３１とを有する。コンパレータ３０は、ローパスフィルタ２９により取り出された駆動モニタ信号の低周波成分を閾値として、駆動モニタ信号を２値化信号に変換する。第１の位相シフト器３１は、２値化信号の位相をシフトさせて、同期検波用のタイミング信号として出力する。コンパレータ３０は、ローパスフィルタ２９により取り出された駆動モニタ信号の低周波成分を閾値として、駆動モニタ信号を２値化信号に変換するので、駆動モニタ信号の低周波成分が変動したとしても、"Ｈ"区間と、"Ｌ"区間とが略等しい２値化信号を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】安定した特性と高い強度を確保して振動子の振動特性を調整する。
【解決手段】本発明に係る振動型ジャイロセンサは、一方の面に圧電膜、駆動電極、一対の検出電極、及び配線接続端子が形成された振動型ジャイロセンサ素子と、この振動型ジャイロセンサ素子が実装されるランドが形成された支持基板とを備える。前記振動型ジャイロセンサ素子は片持ち梁状の振動子部を有し、前記一方の面側を前記支持基板側に向けて実装されているとともに、前記一方の面以外の領域を、前記振動子部の振動特性調整用の凹部が形成された被加工領域としている。 （もっと読む）

【課題】振動子の起動を確実にし、安定して振動を維持する装置を提供する。
【解決手段】振動子１２と、振動状態を検出する検出アンプ１３と、振動情報を２値化してコンパレータ出力信号を出力する振幅比較器１４と、制御発振器入力信号に応じて周波数が変化する電圧制御発振器１５１と、コンパレータ出力信号と比較信号との位相差信号を出力する位相比較器１５３と、位相差信号の低域成分を出力するループフィルタ１５４と、比較信号に対して予め定める位相差を有する位相シフト信号を出力する位相シフト器２２と、位相シフト信号を入力する駆動アンプ１１と、操作信号を出力する操作信号発生器２１と、制御発振器入力信号として操作信号を選択し、制御発振器出力信号の周波数がキャプチャレンジの範囲となったときに、制御発振器入力信号として位相差情報信号を選択する操作切換器２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化、特性向上、コスト低減を図って２軸の振動検出を可能とする。
【解決手段】振動型ジャイロセンサは、複数の端子部が形成された基部を有し、それぞれ異なる軸方向の振動を検出する少なくとも２個の振動素子と、前記少なくとも２個の振動素子の駆動検出を行う単数のＩＣ部品と、前記各振動素子の前記複数の端子部、および前記ＩＣ部品と接続される複数個のランドを有する配線パターンが形成された第１の面と、前記第１の面の裏側であって、外部の基板と対向し前記外部の基板のランドへ前記振動型ジャイロセンサをリフロー表面実装するための複数個の外部接続端子が形成された第２の面とを有する１個の支持基板とを備え、前記少なくとも２個の振動素子のうち少なくとも一方の基部は、前記支持基板のコーナ部位に実装され、前記支持基板の第１の面を第１〜第４の象限に分けたとき、各象限に前記ＩＣ部品の実装領域の一部が属する。 （もっと読む）

【課題】 １つのアームに対する電極数が２本と少なく、駆動検出回路の規模や接続部周辺の占有面積を小さくでき、且つ、従来よりも高い検出感度を有する圧電振動ジャイロ用振動子及び角速度検出システムを提供すること。
【解決手段】 屈曲振動するアーム５とこれを支持固定する基部７とを有する基板と、下部電極４と圧電膜３と上部電極２ａおよび２ｂとを備え、圧電膜３の成膜面に対し平行なＸ軸方向及び圧電膜３の成膜面に対し垂直なＺ軸方向の振動の駆動及び検出をそれぞれ可能とし、上部電極２ａおよび２ｂはアーム５の屈曲部に形成され、上部電極２ａをＸ軸方向の振動の駆動もしくは検出に使用し、上部電極２ｂをＺ軸方向の振動の駆動もしくは検出に使用する。ここで、上部電極２ａおよび２ｂのＸ軸方向の幅をそれぞれＡ及びＢとした場合、０．３≦Ａ／Ｂ≦０．７を満たす値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子の出力信号の感度が劣化したままの状態で出力信号を出力し続けるということがなく、振動子の出力信号の感度を監視することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ドライブ回路の出力信号を第１のセンス電極３４または第２のセンス電極３５のうちのいずれか一方のセンス電極に入力するとともに、他方のセンス電極からの出力信号を検出することにより、振動子３０の出力信号の感度を監視する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】 隣接する電極間の静電容量による電気的結合にともなう特性の低下を抑えてＳＮ比を高めるとともに、設計の自由度を高めて、駆動および検出回路構成を簡素化し、かつ分極工程を簡素化して量産性に優れた、低コストの圧電素子を提供する。
【解決手段】 Ｈ字形状もしくは直方体の基板１０１の一面上に、下部電極１２０、分極された圧電薄膜１１９、および上部電極からなる、同一平面内に配置された、３以上の電気−機械変換手段を備えて、任意の１以上の前記電気−機械変換手段の分極された圧電薄膜１１９、すなわち分極部の分極の向きと、他の前記電気−機械変換手段の分極部の分極の向きとが互いに逆向きになるよう構成し、平衡形の駆動回路および／または検出回路を用いて、面内／面外方向の駆動振動モードを励振、または面内／面外方向の検出振動モードを検出する。 （もっと読む）

【課題】駆動信号の検出電極への容量結合が少なく、感度が高いセンサ用圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電膜６、７に少なくとも１層の埋め込み電極４を設け、埋め込み電極４の内少なくとも１層を電気的に安定な電位である基準電位に接続した基準電極とし、圧電膜６、７の成膜面に対し平行な方向の変位を駆動もしくは検出するための電極１、２と圧電膜６、７の成膜面に対し垂直な方向の変位を駆動もしくは検出するための電極３によって基準電極４を厚み方向に挟んだように構成する。 （もっと読む）

【課題】外部からの衝撃に対して高い耐久性を有するとともに検出精度の高い角速度センサを提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る角速度センサ１は、基部３と、振動子部２と、支持部１６と、緩衝部１５とを具備する。支持部１６は、基部３と振動子部２との間に接続されており、振動子部２を支持し、基部３の幅よりも小さい幅を有している。緩衝部１６は、基部３と支持部１６との間に接続されており、基部３の厚みよりも小さい厚みを有し、基部３の幅と同等の幅を有している。支持部１６は、基部３の幅よりも小さい幅で形成されているため、振動子部２から基部３へ向かう振動の伝播を効率よく抑える。また、緩衝部１６は、基部３の厚さよりも小さい厚みで形成されているため、基部３に比べて撓み易く、これにより支持部１６に作用する応力を効果的に緩和する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、正確に位相を調整することが可能なＰＬＬ回路およびそれを用いた角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明のＰＬＬ回路およびそれを用いた角速度センサは、ＡＤ変換器２１が電圧制御発振器２６の出力するタイミング信号により動作し、かつＤＡ変換器２４が分周器２７の出力するタイミング信号でのＡＤ変換器２１の出力する値に応じたアナログ信号を出力する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】パッケージングした振動型ジャイロセンサ素子を良好な共振特性、且つ、高感度にする。
【解決手段】圧電薄膜５の圧電効果を利用して角速度を検出する振動型ジャイロセンサ素子１０をカバー材３０とＩＣ基板２１を用いて大気中でパッケージングし、上部電極６は、振動子１１を振動させる電圧を印加する振動子１１の長手方向に形成された駆動電極６ａと、駆動電極６ａと接触することなく平行に振動子１１の長手方向に形成され、振動の方向と垂直な方向に発生するコリオリ力を検出する検出電極６ｂ，６ｃとからなり、振動子１１の振動していない状態での、振動子１１から対向部までの距離を、振動子１１が最も振動した場合の変位量である最大変位量の２．５倍以上とした周囲空間が、振動子１１の振動方向に設けられており、振動子１１の振動していない状態での、振動子１１から対向部までの距離を、振動子１１のコリオリ力検出方向の幅の２倍以上とした周囲空間が、振動子１１のコリオリ力検出方向に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 特に、ＭＥＭＳ技術を用いて、音片型振動子を簡単な構造で適切に支持できるジャイロセンサ素子及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 支持基板１１と、支持基板１１の上面１１ａに形成された凹形状のキャビティ１３と、キャビティ１３の一方側に位置する支持基板の上面１１ａから、キャビティ１３上を渡って、キャビティ１３の他方側に位置する支持基板の上面１１ａにかけて架設される音片型振動子１２と、を有する。音片型振動子１２は、下から下部電極、圧電膜及び上側電極の順に形成された駆動部１８，１９及び検出部２０を備えている。キャビティ１３は、音片型振動子１２の下方向への変位に対する許容空間として機能する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出振動片の離調周波数の調整範囲を拡大することを目的としている。
【解決手段】相互に反対を向いて厚みを定義する第１及び第２の表面１２，１４を有し、基部１６及び基部１６から厚み方向に交差する方向に延びる少なくとも１つの腕部１８を含む支持体１０であって、腕部１８の第１の表面１２に、駆動用圧電積層体７０及び検出用圧電積層体８０が形成され、腕部１８に、第２の表面１４が露出している露出領域３０を有する支持体１０を用意する。第２の表面１４の露出領域３０をエッチングする。駆動用圧電積層体７０及び検出用圧電積層体８０のそれぞれは、下部電極膜２２，８２と、下部電極膜２２，８２上に形成された圧電膜２４，８４と、圧電膜２４，８４上に形成された上部電極膜２６，８６と、を含む。エッチングによって厚みを減らして、腕部１８の厚み方向に関する曲げ剛性を低くする。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロスコープのオフセットを動的に補正する。
【解決手段】基準位相で励振される振動子に対に設けられた検出手段の出力信号の差分信号に基づいて角速度を導出する角速度データ処理装置であって、前記基準位相において前記差分信号を検波し低周波成分を抽出することにより歪み信号を生成する歪み信号生成手段と、前記基準位相に対して１／４周期の差がある位相において前記差分信号を検波し低周波成分を抽出することにより角速度信号を生成する角速度信号生成手段と、前記歪み信号を定数倍することによりオフセット成分を導出するオフセット導出手段と、前記角速度信号から前記オフセット成分を減ずることにより前記角速度信号を補正するオフセット補正手段と、を備える角速度データ処理装置。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサなどに適用可能な性能を持つ、シリコン基板上にＫＮＮ薄膜を形成した圧電薄膜素子を提供する。
【解決手段】シリコン基板（１）上に、下部電極（２）と、圧電薄膜（３）と、上部電極（４）とを有する圧電薄膜素子において、前記圧電薄膜（３）が一般式（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）ＮｂＯ_３（０＜ｘ＜１）で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の薄膜で形成されると共に、前記圧電薄膜（３）の（００１）面方位への配向率が８０％以上であり、かつ、Ｘ線回折パターン（２θ／θ）における前記圧電薄膜（３）の（００１）面による回折ピークの２θの角度が２２.１°≦２θ≦２２.５°の範囲にある。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサなどに適用可能な性能を持つ、シリコン基板上にＫＮＮ薄膜を形成した圧電薄膜素子を提供する。
【解決手段】シリコン基板１上に下部電極２と、圧電薄膜３と、上部電極４とを有する圧電薄膜素子１０において、圧電薄膜３が一般式（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）ＮｂＯ_３（０＜ｘ＜１）で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の薄膜で形成されると共に、圧電薄膜３の圧電定数ｄ_３１の印加電界依存性を示す｜圧電定数ｄ_３１（印加電界７０ｋＶ／ｃｍ時）−圧電定数ｄ_３１（印加電界７ｋＶ／ｃｍ時）｜／｜圧電定数ｄ_３１（印加電界７０ｋＶ／ｃｍ時）｜の値が０.２０以下である。 （もっと読む）

【課題】 駆動・検出に棒の屈曲２次振動姿態を用い、高精度かつ支持が容易、構造簡素で実用性が高いジャイロセンサ振動体を提供すること。
【解決手段】 弾性材料より成る実質的に真直な棒を主体とし、該棒はその長軸を含む第１の平面内において両端自由の２次の屈曲振動を圧電的に励振する駆動電極と、前記棒が前記長軸に平行な回転軸の回りに回転するとき前記平面と直交する平面である第２の平面に沿って発生するコリオリ力によって生起される振動を圧電的に検出する検出電極を備えているジャイロセンサ振動体。また、駆動電極と検出電極とは、棒の重心の反対側に配置されていること。また少なくとも棒の重心が弾性的に支持されていること。また棒は重心の両側で圧電性の方向が９０°異なっていること。また棒の両端寄りの部分に緩衝器を備えていること。 （もっと読む）

【課題】圧電特性、耐熱性に優れた圧電素子、角速度センサ、及びこの圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
基板上に第１の電極膜３４ａが形成され、この第１の電極膜３４ａ上にＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電素子１３９が形成される。ＰＺＴ薄膜３３は、化学式Ｐｂ_１＋Ｘ（Ｚｒ_ＹＴｉ_１−Ｙ）Ｏ_３＋Ｘで表された場合に、ＰｂＯ過剰組成比Ｘが０以上０．３以下であり、Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５５以下である。このようにＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電特性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５以下であれば、減分極が生じにくく、耐熱性に優れている。また、膜厚が４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下とされることで、さらに圧電特性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。 （もっと読む）