アナログ駆動信号とピックオフ信号との間の電気的クロス結合の影響を減らすことを目的として、アナログ駆動信号をピックオフ信号から区別する方法である。当該方法は、第１の周波数における周期的なデジタル信号をデジタルデータ値のストリームの形で受信するステップと、デジタルデータ値の少なくとも１つをランダムな形で変換するステップと、そして、デジタルデータ値のストリームをアナログデータ値のストリームにコンバートしてアナログ駆動信号を形成するステップと、を有する。当該方法はまた、第２の周波数において振動するように構成された共振部材に物理的に結合されたセンサを前記アナログ駆動信号で駆動するステップと、そして、ピックオフ信号の生成のために、センサによって検知される共振部材の運動における変化を感知するステップと、を有する。
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【課題】周囲の温度変動の影響を受けずに、圧電振動子を安定して振動させること。角速度センサの検知精度を高精度化すること。
【解決手段】圧電振動子の一方の駆動電極の出力電流を交流電圧に変換し、この交流電圧を、トランスミッションゲート５１，５６を交流電圧に同期してオン／オフさせることにより整流して、直流電流Ｉ_1AおよびＩ_1Bとする。これらの直流電流と基準電源回路４７を流れる基準電流Ｉ₂とを比較手段１８で比較し、その差分に基づいて制御電圧Ｖeを生成する。この制御電圧Ｖeでもって、前記交流電圧の利得を調整して圧電振動子の他方の駆動電極に供給することによって、圧電振動子に温度変動によるばらつきの極めて小さい駆動電圧を供給し、圧電振動子を安定して振動させる。 （もっと読む）

２つの圧電振動子（Ｓａ，Ｓｂ）は、加速度等の力学量によって加わる応力が互いに逆となるように設ける。電流電圧変換−信号加算回路（１１）は、２つの圧電振動子（Ｓａ，Ｓｂ）に流れる電流信号を電圧信号に変換する。電圧増幅−振幅制限回路（１２）は、その２つの電圧信号の加算信号を増幅し、振幅を制限する。位相差電圧変換回路（１５）は加算信号と加速度検出素子（１０）へ与える帰還電圧信号（Ｖｏｓｃ）との位相差を検出する。位相シフト回路（１６）は、帰還電圧信号が所定の位相となるように位相制御する。フィルタ回路（１７）は発振周波数より高域の不要周波数帯の周波数成分を抑圧する。 抵抗（ＲＬａ，ＲＬｂ）の抵抗値を大きくしてダンピング比を大きくすることによって温度安定性を高め、フィルタ回路（１７）により異常発振を防止し、位相制御回路（２０）により特性のばらつきを抑える。 （もっと読む）

振動式ジャイロスコープを備えるヨーレートセンサの調整方法であって、前記振動式ジャイロスコープは第１入力端と第１出力端を備え、かつ一次制御回路の一部であり、該一次制御回路は振動式ジャイロスコープを、励振信号を第1入力端に供給することにより固有周波数で励振させ、前記振動式ジャイロスコープはさらに第２入力端と第２出力端を備え、かつ二次制御回路の一部であり、前記第２出力端から出力信号が取り出され、該出力信号は増幅およびＡ／Ｄ変換後に同相成分と直交成分に復調され、当該成分はフィルタリング後に再び変調され、１つの駆動信号にまとめられ、該駆動信号は第２入力端に供給され、前記同相成分からはヨーレート信号が導出される形式の方法において、振動式ジャイロスコープが運動していないときに、同相成分と直交成分に補正値を追加し、該補正値を、同相成分と直交成分がそれぞれ最小値を有するまで変化し、該補正値を不揮発性メモリに記憶し、ヨーレートセンサの駆動時に使用する。
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本発明は、振動ジャイロスコープを作動するためおよび回転速度信号を導き出すために、可変のデータにアクセスをする複数の回路が設けられている、振動ジャイロスコープを有する回転速度センサに関し、ここでは上記データは、書きこみ可能な不揮発性記憶装置に格納されている。またここでは前記の回転速度センサをスイッチオンした後、不揮発性記憶装置からデータを読み出す手段（５）が設けられている。
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センサとりわけ回転速度センサのための安全装置であって、センサエレメントおよび機能的コンポーネントが該センサの機能を果たし、センサ出力信号を生成する形式のものにおいて、該機能的コンポーネントは機能セクションを形成する。さらに、コントロールコンポーネントはコントロールセクションに設けられており、監視コンポーネントは監視セクションに設けられており、該コントロールコンポーネントは機能的コンポーネントを連続的にコントロールするように構成されており、該監視コンポーネントは、作動サイクル中に少なくとも１回はコントロールコンポーネントを監視するように構成されている。
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振動式ジャイロスコープを備えるヨーレートセンサの監視方法であって、該ヨーレートセンサはバンドパスフィルタであり、かつ少なくとも1つの制御回路の一部であり、該制御回路はデジタルコンポーネントおよびアナログコンポーネントからなり、かつ前記振動式ジャイロスコープを、その固有周波数の励振信号の供給によって励振し、前記振動式ジャイロスコープから出力信号が取り出され、該出力信号からフィルタリングと増幅により励振信号とヨーレート信号が導出される形式のヨーレートセンサの監視方法において、冗長的アナログコンポーネントと少なくとも1つのA/D変換器によってアナログ信号を測定し、特徴値をデジタルコンポーネント内で読み出し、それぞれ限界値と比較する。
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振動式ジャイロスコープの監視方法であって、該振動式ジャイロスコープは共振器であり、少なくとも1つの制御回路の一部であり、該制御回路は振動式ジャイロスコープを、該振動式ジャイロスコープの固有周波数を有する励振信号の供給によって励振し、振動式ジャイロスコープから出力信号が取り出され、該出力信号からフィルタリングと増幅によって励振信号が導出される。共振器のQを測定し、該Qが既知を下回る場合、エラー通報を形成する。
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【解決手段】１軸の加速度検知及び２軸の角速度検知を与える微細加工マルチセンサである。この微細加工マルチセンサを製造する方法は、犠牲材料又は構造材料の層を基板表面上に堆積する。犠牲又は構造材料の堆積層は、複数の水平及び垂直の空間を有する直線状グリッドを使用して形成された所定のマスクパターンでマスクされる。このマスクパターンは、センサ装置の機能部品を規定する。このマルチセンサが、少なくとも１つの機能部品を有し、その基板上のアラインメントがセンサの最適性能に対して重要である場合、その重要な部品は、その縦軸がマスクの水平又は垂直軸と実質的に平行になるように規定される。このマルチセンサが、少なくとも１つの機能部品を有し、その基板上のアラインメントが最適センサ性能に対して重要でない場合、その重要でない部品は、その縦軸がマスクの水平及び垂直軸と平行にならないように規定される。
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【課題】 電源電圧の変化や周囲温度の変化等の影響を受けない安定性の高い発振回路と、これを用いた角速度センサを提供する。
【解決手段】 電源を印加すると、起動補償回路２４のゲインが大きく設定され、大きな駆動電圧Ｖａによって圧電振動子１１が振動し、短時間に起動する。比較手段３２から出力される制御電圧Ｖ３２によってＡＧＣ回路２５のゲインが制御されると共に、起動後の安定時には回路２４のゲインが小さく設定され、出力電圧Ｖｏｕｔが基準電源回路３１の出力に対応して一定振幅になる様な駆動電圧Ｖａによって圧電振動子１１が振動する。圧電振動子１１に生じたコリオリ力による応力の検出信号が、同期検波回路４４においてＩ／Ｖ変換回路２１の出力信号によって同期検波され、圧電振動子１１の角速度に応じた信号が検出される。 （もっと読む）