【課題】振動子の基部における検出振動アーム用配線における静電結合の寄与による零点温度ドリフトを低減する。
【解決手段】振動型ジャイロスコープ用測定素子は、Ｙ軸検出振動アームに設けられているＹ軸検出側信号電極３０、Ｙ軸検出振動アームに設けられているＹ軸検出側接地電極３１、Ｚ軸検出振動アームに設けられているＺ軸検出側信号電極、Ｚ軸検出振動アームに設けられているＺ軸検出側接地電極、Ｙ軸検出側信号電極に対応して基部に形成されているＹ軸検出側信号配線４０Ｅ、Ｙ軸検出側接地電極に対応して基部に形成されているＹ軸検出側接地配線、Ｚ軸検出側信号電極に対応して基部に形成されているＺ軸検出側信号配線４２Ｅ、およびＺ軸検出側接地電極に対応して基部に形成されているＺ軸検出側接地配線４３Ｅを備えており、Ｙ軸検出側接地配線とＺ軸検出側接地配線とを共通とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センス電極の周りの回路パターンが断線した場合に、角速度に対応しない出力信号を出力し続けてしまうということはなく、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１のセンス電極３４と第１の積分回路５６との間に、電荷を注入する第１の電圧源７７を第１の断線検知スイッチ７８を介して設けるとともに、第２のセンス電極３５と第２の積分回路６７との間に、電荷を注入する第２の電圧源７９を第２の断線検知スイッチ８０を介して設けたものである。 （もっと読む）

【課題】物理量センサが正常に動作するかを簡単な構成で確かめる。
【解決手段】駆動腕部１１Ａ，１１Ｂと検出腕部１２とを備えた振動素子１０と、駆動腕部１１Ａ，１１Ｂを駆動するための駆動信号を第１駆動線Ｄ１及び第２駆動線Ｄ２を介して発生させる駆動回路２３１と、検出腕部１２から検出信号を第１検出線Ｓ１及び第２検出線Ｓ２を介して検出する検出回路２３２と、を含む物理量センサ１であって、第１駆動線Ｄ１と第２駆動線Ｄ２との少なくとも一方を第１検出線Ｓ１及び第２検出線Ｓ２に対して静電結合を発生するように配線した。 （もっと読む）

【課題】振動子の基部における検出振動アーム用配線における静電結合の寄与による零点温度ドリフトを低減する。
【解決手段】振動型ジャイロスコープ用測定素子は、第一の軸Ｘおよび第二の軸Ｙを含む所定面に沿って伸びる基部２Ａ、駆動振動アームおよび第二の軸Ｙの周りの回転角速度を検出するための検出振動アームを備える振動子、駆動振動アームに設けられている駆動側信号電極３２、駆動振動アームに設けられている駆動側接地電極３３、検出振動アームにそれぞれ設けられている検出側信号電極３０Ａ〜３０Ｄ、検出振動アームにそれぞれ設けられている検出側接地電極３１、検出側信号電極に対応して基部２Ａに形成されている検出側信号配線４０、および検出側接地電極３１に対応して基部２Ａに形成されている検出側接地配線４１を備えている。基部2Ａに検出側信号配線４０が複数設けられており、かつ複数の検出側信号配線４０が互いに電気的に分離されている。 （もっと読む）

【課題】 出力電圧の温度による変化が少ない圧電振動ジャイロ用振動子を提供することを課題とする。
【解決手段】 円柱状圧電セラミックス１の内部においてヤング率の異なる領域１２を設けることによりＸ方向振動の共振周波数とＹ方向振動の共振周波数との差であるΔｆの温度特性を利用し、出力電圧の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】音叉型慣性センサ素子の場合振動腕部の４面に電極を設け片方の振動腕部で角速度を検出するために電界成分Ｅｘが小さく、又、Ｈ型の音叉形状の場合も振動子励振電極が振動腕部の４面に設けているために小型化すると等価直列抵抗Ｒ１が大きく、且つ、Ｑ値が小さくなり高い感度が得られない。
【解決手段】慣性センサ素子において、この励振用振動腕に形成した貫通穴の穴内の長さ方向の二つの側面には、電気的極性が同極となる電極が各々形成され、且つ貫通穴内の各々の側面の電極と対向するよう形成した励振用振動腕の側面の電極が、貫通穴内の各々の側面に形成した電極と電気的極性が異なる電極の励振用電極として形成されている慣性センサ素子。 （もっと読む）

【課題】 駆動振動および角速度印加に伴う検出振動を行う可動部を備える振動型の角速度センサ素子をパッケージ内に封止してなる角速度センサ装置において、パッケージ内を減圧せずにエアダンピングの影響を低減することを目的とする。
【解決手段】 第１の方向ｘへ駆動振動が可能であって第２の方向ｙへ検出振動が可能な可動部３１、３３〜３６、３８、４１、４３〜４６、４８を備え、この可動部の駆動振動のもと角速度Ωが印加されたときの可動部の検出振動の状態に基づいて角速度Ωを検出する角速度センサ素子１と、この角速度センサ素子１を収納するパッケージ３とを備える角速度センサ装置において、パッケージ内には、空気よりも有効粘性係数が小さいガスが大気圧にて充填され、このガスにより角速度センサ素子１は封止されている。 （もっと読む）

【課題】 振動片の発振周波数の合わせ込みが容易で、振動片の目標周波数調整への分解能が向上する振動片、これを有する振動子、この振動子を備える発振器及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 基部１１０と、前記基部から突出して形成されている振動腕部１２１，１２２と、前記振動腕部の表面部１０１及び／又は裏面部１０２に形成される溝部１２３，１２４と、前記振動腕部に形成される微調用電極部１２８ａ、１２９ａと、を備える振動片であって、前記微調用電極部は、前記振動腕部の右側面部及び左側面部、並びに表面部又は裏面部に配置され、前記表面部では前記微調用電極部が一定の間隔を設けて複数配置されていると共に、前記裏面部では、前記表面部で前記微調用電極部が形成されている部分に対応する部分を回避して前記微調用電極部が複数配置されていることで振動片を構成する。 （もっと読む）

【課題】２枚を貼り合わせてなる音叉状水晶片の音叉溝を平坦として音叉振動と垂直振動の結合を防止し、検出精度及び感度を高める角速度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】２枚の音叉状水晶片を、互いの±Ｘ軸方向を異ならせて貼り合わせた角速度センサ素子において、結晶軸（ＸＹＺ）を有する２枚の水晶ウェハのＹ軸及びＺ軸方向を一致させるとともに±Ｘ軸方向を異ならせて貼り合わせ、前面及び後面の水晶ウェハをエッチングによって、Ｘ軸を幅、Ｙ軸を長さ、Ｚ軸を厚み方向とした音叉基部２と一対の音叉腕部３からなる音叉状水晶片に加工してなる音叉型の角速度センサ素子の製造方法において、前面の水晶ウェハの＋Ｘ軸を、音叉基部からの前記音叉腕部の延出方向に対して直交する方向の左側に一致させて貼り合わせた製造方法とする。 （もっと読む）