【課題】
Ｘ線検出で所望の測定感度を維持しつつ、Ｘ線ＣＴ装置による撮影画像の品質向上を可能とする。
【解決手段】
本発明のＸ線ＣＴ装置は、Ｘ線を被試験体に出射するＸ線発生手段と、被試験体を透過したＸ線を検出する複数のＸ線センサと、複数のＸ線センサの出力信号を処理するＸ線センサ信号処理回路とを備え、Ｘ線センサを分極効果を有する半導体センサとし、エネルギー分布が硬質化されたＸ線が半導体センサに入射するよう構成する。或いは、Ｘ線を被試験体に出射し、被試験体を透過したＸ線を分極効果を有する半導体センサで検出する方法で、エネルギー分布が硬質化されたＸ線を用い、Ｘ線を半導体センサで検出する。 （もっと読む）

本発明の一態様に従って、検出器は、或る閾値を超える光子に対してその数をカウントする多数の小さい画素で構成される検出素子を有し、この検出器の位置におけるエネルギー分布の再構成が最尤解析を用いて実行される。故に、再構成手法は測定における冗長性を使用し、それに従ってポアソン統計を処理する。
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【課題】 エネルギー分解能を大幅に向上させて、低エネルギー化を図ることができ、試料の表面の組成を精度良く把握することができる３次元構造物分析システムを提供する。
【解決手段】 試料の少なくとも一部にイオンビームを照射して、前記試料を３次元的に加工するイオン銃と、イオンビームにより３次元的に加工した試料に対して電子を照射する電子銃と、前記電子が照射された試料からのＸ線を検出するＸ線検出器と、該Ｘ線検出器での検出結果に基づいて前記試料の組成分析を行う組成分析装置と、を備える３次元構造物分析システムである。Ｘ線検出器は、エネルギー分散型の超伝導Ｘ線検出器からなる。 （もっと読む）

本発明の目的は、空孔または粒子のサイズを短時間で高精度に測定することができる空孔または粒子サイズ分布測定装置を提供することである。多孔質性の絶縁体膜３内に存在する空孔Ｙのサイズ、または薄膜中の粒子のサイズを測定する際に、絶縁体膜３を基板４の表面に形成して成る試料５に対して、入射角度が絶縁体膜３の全反射臨界角度より大きく、かつ基板４の全反射臨界角度の１．３倍を超えない所定の入射角度θｉで、Ｘ線Ｒを絶縁体膜３表面側から照射する。照射されたＸ線のうち、絶縁体膜３に入射して基板４の表面で反射された反射成分が空孔Ｙに入射せずに絶縁体膜３から出射した散乱成分であって、前記反射成分が空孔Ｙに入射せずに絶縁体膜３から出射したときの出射成分よりも出射角度が大きい散乱成分を検出する。
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