【課題】 従来の日本工業規格Ｋ７１９４に基づくシート抵抗用測定端子を用いた測定では、測定後に抵抗率補正係数を掛けて測定値を補正する必要があり、装置コストや手間、誤認といった問題があった
【解決手段】４端子法を用いて、薄膜の抵抗測定を測定するために用いる測定用端子において、測定した電圧値を電流値で除したものと薄膜のシート抵抗値とが等しくなるように４本の測定用端子位置を固定した。このことにより、測定の読み取り値がそのままシート抵抗値を示すこととなり、演算のための装置が不要となり、測定時における誤認が防げるようになった。 （もっと読む）

【課題】リトライに際して、コンタクトピンとプロービング対象体とを良好な状態で接触させる。
【解決手段】スリーブ１１、スリーブ１１内に摺動自在かつ先端部２１がスリーブ１１から突出した状態で挿入されたコンタクトピン１３、およびコンタクトピン１３を付勢するばねを有するコンタクトプローブ２と、コンタクトプローブ２と半田部位６とを相対的に接離動させる移動機構３と、移動機構３を制御してコンタクトピン１３の先端部２１を半田部位６に接触させる制御部４とを備え、制御部４は、コンタクトプローブ２を半田部位６に接触させて行う最初の測定処理の後、再度の測定処理の前に、半田部位６とコンタクトピン１３の先端部２１との接触を維持させた状態で、移動機構３を制御して、半田部位６とコンタクトプローブ２とをコンタクトプローブ２の軸線方向に沿って相対的に接離動させてコンタクトピン１３のスリーブ１１内への押し込み量を変更する。 （もっと読む）

【課題】 インピーダンスアナライザでコンタクトプローブを使用する測定に関し、負荷補正に適した補正基板およびそのためのプログラムまたはそのプログラムの記録媒体を提供する。
【解決手段】 ５００Ω以上の抵抗１１４と、前記抵抗の両端にそれぞれ接続された、プローブ針が接触するための第１と第２のパッド（１１２、１１６）とを備えた負荷補正用パターン１０２を有する補正基板１００。 （もっと読む）