真空紫外放射線検出装置１０は、チャンバ１２内に放射線検出器３０を含む。検出器３０は、放射線源３６から紫外放射線を受け取る。チャンバ１２は、乾式真空ポンプ１８によって、５Ｐａ以上の比較的低い真空まで排気される。チャンバ１２内の全圧力が１００〜１，０００Ｐａとなるように、ＵＶ透過ガスが、比較的低い流量（約０．１リットル／分）でガス供給部２６からチャンバ１２内に供給される。比較的安価なポンプをより低いガス流量と併せて使用することによって、大幅な費用節減が実現される。
（もっと読む）

【課題】レーザのスペクトル帯域幅を判断する技術を提供する。
【解決手段】レーザから放出されて帯域幅計測器に入力される光のスペクトルの帯域幅を測定するための帯域幅計測器の方法及び装置が開示され、それは、レーザから放出された光の帯域幅を示す第１のパラメータを表す第１の出力とレーザから放出された光の帯域幅を示す第２のパラメータを表す第２の出力とを提供する光学帯域幅モニタと、実帯域幅パラメータを計算する（１０）ために光学帯域幅モニタに固有の所定の較正変数を使用する多変数方程式の一部として第１の出力及び第２の出力を利用する実帯域幅計算装置とを含むことができる。実帯域幅パラメータは、レーザから放出された光のスペクトルの全幅内の最大値のある百分率比でのスペクトル全幅（ＦＷＸＭ）、又はレーザから放出された光のスペクトルの全スペクトルのエネルギのある百分率比を含むスペクトル上の２点間の幅（ＥＸ）を含むことができる。帯域幅モニタは、エタロンを含むことができ、第１の出力は、ＦＷＸＭでのエタロンの光出力のフリンジの幅、又はレーザから放出された光の全スペクトルのエネルギのある百分率比を含むスペクトル上の２点間の幅（ＥＸ’）の少なくとも一方を表し、第２の出力は、第２のＦＷＸ’’Ｍ又はＥＸ’’’の少なくとも一方を表し、ここで、Ｘ≠Ｘ’’及びＸ’≠Ｘ’’’である。予め計算される較正変数は、信頼できる基準を利用して、較正スペクトルに対する第１及び第２の出力の発生と相関付けられた実帯域幅パラメータの値の測定値から導出することができる。実帯域幅パラメータの値は、推定実ＢＷパラメータ＝Ｋ^*ｗ₁＋Ｌ^*ｗ₂＋Ｍという式から計算され、ただし、ｗ₁＝ＦＷＸＭ又はＥＸ’を表す第１の測定出力、及びｗ₂は、ＦＷＸ’’Ｍ又はＥＸ’’’を表す第２の測定出力である。この装置及び方法は、レーザリソグラフィ光源及び／又は集積回路リソグラフィツールにおいて実施することができる。 （もっと読む）

レーザから放射される光のスペクトルの未知の帯域幅を測定するようになった帯域幅測定器（すなわち分光計）を含むことができ、該測定器が、測定されているスペクトルの未知の帯域幅のパラメータを表す測定パラメータを出力として供給するようになった光帯域幅測定ユニットと、次式：
記録パラメータ（「ＲＰ」）＝Ａ＊（測定パラメータ（「ＭＰ」））＋Ｃ
（ここで、ＲＰ及びＭＰは異なるタイプのパラメータ、Ａ及びＣの値はＲＰが既知の値の光に対する前記光帯域幅測定ユニットのＭＰ応答の較正に基づいて決定される）
に従って測定されるスペクトルの未知の帯域幅の記録パラメータを計算するようになった記録パラメータ計算ユニットと、を備えることができるレーザシステムを制御するための装置及び方法が開示される。光帯域幅測定ユニットは、エタロン又は格子分光計などの干渉又は分散光学計器を含むことができる。ＲＰは、例えばＦＷＸＭにおけるものとすることができ、ＭＰは、例えばＦＷＸ’Ｍにおけるものとすることができ、Ｘ≠Ｘ’である。ＲＰは、例えばＥＸ％におけるものであってもよく、ＭＰは、例えばＦＷＸＭにおけるものであってもよい。 （もっと読む）