【課題】 タイヤ加硫用ブラダーの寿命を実験室的に簡単に評価できるようにした評価方法を提供する。
【解決手段】 凹状空間を有する一対の加熱された耐圧型１の間に加硫ゴムからなる試験シートＳを挟持し、耐圧型１の一方から加熱気体を所定時間供給して試験シートＳを膨張させて他方の耐圧型１の内面に圧着保持させる第１操作と、加熱気体を排出して試験シートＳの膨張を所定時間解除する第２操作とを、試験シートＳの劣化が所定基準に達するまで複数回繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 プロセスキット部品が定められた許容範囲を満たすかどうかを測定するための方法および装置を提供することである。
【解決手段】 プラズマ処理ツールのプラズマチャンバ内で使用されるプロセスキット部品が累積された過剰摩耗または堆積物を有するかどうか照合するための、継続か中止かを決定するゲージおよび方法を示す。ゲージは、プロセスキット部品形態のディメンションが定められた寸法許容範囲に違反するかどうか、プロセスキット部品が累積された過剰摩耗または堆積物を有することを示す違反をしているかどうかを照合するための部品を含む。 （もっと読む）