Fターム[2G040BA00]の内容

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【課題】
数十〜数百ナノメートルオーダーの金属膜あるいは有機膜の薄膜の熱物性測定を容易にかつ簡便に行うことができるナノ薄膜熱物性測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】
対象励起用パルス光として、tpulse<1/3t1/2でtpulse>1nsで、かつ
rep>15t1/2であり、
ここで、tpulse:レーザのパルス幅
1/2:ハーフタイム(レーザフラッシュ法で測定される最大温度上昇の2分の1に達するまでの時間)
rep:測定対象励起用パルス光の照射間隔時間
としたパルス光を用いる。 (もっと読む)


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