【課題】熱物性顕微鏡を用いて試料の熱反射信号を測定し、試料表面の微小領域及び薄膜の単位体積あたり熱容量、熱浸透率、熱拡散率を高い空間分解能により測定すること。
【解決手段】 モリブデンを成膜した参照試料表面を加熱用レーザビームにより加熱し、この加熱位置に加熱用レーザ径より小さな測温用レーザを照射し、検出したサーモリフレクタンス信号光に基づいて参照試料表面の温度変化の振幅を測定する。振幅を測定し表面のレーザに対する吸収量とサーモリフレクタンス信号の温度係数を求める。モリブデンを成膜した測定試料表面の温度変化の振幅の測定値を代入した式１と測定試料の位相の測定値を代入した式２とから薄膜の熱拡散率α及び熱浸透率ｂを求める。熱伝導率λ及び単位体積あたり熱容量Ｃを求める。 （もっと読む）

【課題】 短時間で基板の熱的性質を判定できる方法及びオープンループステップの熱処理条件を決定できる方法を提供する。
【解決手段】 本発明の基板の熱的性質判定方法によれば、ウェハＷを加熱するためのランプ９とランプ９に対向配置された温度センサＴ１〜Ｔ７とを備えた急速熱処理装置１内で、ランプ９と温度センサＴ１〜Ｔ７との間に配置されたウェハＷにランプ９を用いてパルス加熱を施しながら、温度センサＴ１〜Ｔ７から逐次出力される温度データを得る。その後、当該温度データを用いてウェハＷの熱的性質を判定する。 （もっと読む）

物理的な体の内部温度のまたは熱的な抵抗力の非侵襲測定装置であって、前記体は本質的に一定の内部温度を有する内部領域、および、表面温度を有する外部表面間の熱伝導媒体から構成される。前記装置は、前記外部表面への取付けのための少なくとも１つの接触部材、および、周囲の熱的な状態から前記接触部材を本質的に熱的に絶縁するための絶縁カバーからなるパッチ；前記パッチ上で１つ以上の熱量を得るためのリーダ；前記内部領域の前記内部温度、または、前記伝導媒体の前記熱的な抵抗力を導くため、熱量を処理する処理ユニットから構成される。 （もっと読む）

【課題】 石炭の水分を調整する調湿炭設備において、乾燥後の石炭の水分調整を行う際に必要になる、石炭の水分測定を、劣悪な環境下にも正確に行うことのできる方法について提案する。
【解決手段】 コークス炉に装入する石炭を、その装入前に調湿炭設備の乾燥機に導入して石炭の水分を調整する際に、乾燥機とコークス炉との間において石炭の水分を測定するに当たり、該測定箇所の雰囲気中に発生した水蒸気を排除する。 （もっと読む）

【課題】 コーティング層の減肉、緻密化などに起因する遮熱性能の低下を非破壊測定により定量的に、しかも短時間で正確に測定・評価する。
【解決手段】 基準熱抵抗材の測定加熱条件でのコーティング層の熱抵抗Ｒと検出温度Ｔとの相関関係を求め、熱抵抗の変化を測定しようとするコーティング層を、コーティング層側から加熱し、そのときの当該コーティング層の表面温度の変化を測定し、この測定値と基準熱抵抗材の同じ条件で測定した表面温度の変化とを比較し、その温度変化の差から、コーティング層の熱抵抗Ｒと検出温度Ｔの相関関係を用いてこのコーティング層の熱抵抗変化量を算出し、基準熱抵抗材の熱抵抗値をもとにコーティング層の熱抵抗Ｒを求めるようにしている。 （もっと読む）