本発明は磁場に対して透過性がある密閉周壁６によって限定され、制御されるべき気体種類がその中に存在する処理チャンバ１１などのチャンバと接続された軸状突起部５を含む気体制御装置１に関する。光放射センサ３は、チャンバの軸状突起部５の端部に配置され、光が光ファイバ４ａを介して光学分光計４に送られることを可能にする。プラズマ発生器１７、１８は、チャンバの軸状突起部５の内部空間８に制御プラズマ１６を発生させる。１つまたは複数の磁石７、７ａは、チャンバの軸状突起部５の周壁６の外側に配置され、制御プラズマ１６のイオン化粒子がセンサ３の方へ伝播されることを防ぐ磁性障壁を形成するために、センサ３に近接の磁場９を発生させ、それにより、センサ３およびチャンバが汚れることを防ぐ。
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【課題】 金属試料に含まれる元素を発光分光分析技術によって定量するにあたり、元素ごとに金属試料と対電極をそれぞれ最適の位置に移動させて高精度かつ短時間で分析する方法および装置を提供する。
【解決手段】 不活性ガス雰囲気にて金属試料と対電極との間で多数回のスパーク放電を行なう発光分光分析にて、各元素ごとに金属試料と対電極とをそれぞれ最適の位置に移動させて定量する。 （もっと読む）

【課題】ガス中の微量成分の計測を簡易にしかも感度良く計測することができるガス中の微量元素成分濃度を計測する微量成分計測装置を提供する。
【解決手段】ガスＧの供給・排出ラインを備えた減圧セル１０１と、該減圧セル１０１内に噴射されたガスＧ中の微量成分をプラズマ化する放電装置１０２と、前記放電により発生したプラズマ光１０３を分光し、分光して得られたプラズマスペクトルのうち、波長１７５乃至８５０ｎｍの発光強度を検出する検出装置１０４とを具備するものであり、前記減圧セル１０１は真空ポンプ１１１にて７００〜２００Ｐａまで減圧する。 （もっと読む）

本発明は、真空ライン１８に連結されたチャンバ１０内で行われる凍結乾燥処理中の脱水運転を監視するための装置に関する。この装置は、チャンバ１０内に含まれる気体を分析するための手段を備え、この手段は、プラズマを発生するように構成された発生器と結合された気体と接触しているプラズマ源３を含む、気体をイオン化するためのシステム１、及び、プラズマにより放出される放射スペクトルの発生を分析する装置２２に連結されたプラズマ発生区域の近くに配置された放射線センサ２０を含む、イオン化された気体を分析するためのシステムを含む。このプラズマ源は誘導結合によって生成されることが好ましく、放射スペクトルを分析する装置は発光分析装置である。
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電極（５３）で形成したグロー放電ギャップを備えたマイクロプラズマセンサシステム。感知すべき流体はギャップにおいて放電（５６）の近くに送られ得る。放電からの光は、流体の性質を決めるため分光分析装置又はプロセッサに結合され得る。カップリングが放電ギャップの近くに導波管（６３）を備え得る。窓のクリーン性及び電極の電気分離は、放電によって維持され得る。光学分析装置は、検出器（２３）に対する１つ以上の光学チャンネル用のフィルタ（２２）を備え得る。検出器は処理すべき電気信号を出力し得る。電極（５３）はそれら電極間に光導波管（６３）を備える。又は、電極（５３）は、光導波管（６３）のまわりに同心的に形成され、他の電極と環状放電ギャップを形成する。光導波管（６３）は１つ以上の光学繊維であり得る。
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封止されたエンクロージャに含まれる気体に放電を生成する方法が開示される。方法は、ＲＦ周波数で螺旋状コイル共振器を駆動して高圧気体に放電を生成するのに十分なＲＦ電磁界を生成するステップを含む。放電は、発光スペクトルを生成し、それは、気体の組成および不純物含量を決定するために、分光的に分析されてもよい。
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