【課題】生細胞にダメージを与えることを低減でき、指紋領域での生細胞のイメージングを行うことができる誘導ラマン散乱顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明の誘導ラマン散乱顕微鏡１は、第１パルス光ω１を発生する第１レーザ光源２と、第１パルス光ω１よりも周波数の低い第２パルス光ω２を発生する第２レーザ光源３と、第２パルス光ω２の光路に設けられ、入射光を０．５ＭＨｚ以上の周波数で強度変調させる変調器４と、第１パルス光ω１と第２パルス光ω２とを重ね合わせるミラー（合波器）８とを備え、ミラー８からの第１パルス光ω１と第２パルス光ω２とは同期されており、さらに、ミラー８により重ね合わされたパルス光から、複数の光束を生成するマイクロレンズアレイ１２と、複数の光束を試料に照射するための対物レンズ１３と、変調器４によって変調された第２パルス光ω２を減衰させるフィルタ１４と、フィルタ１４を透過した光の強度を検出する２次元検出器１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 定性分析される極微量物質を定量分析することができる検出装置を提供すること。
【解決手段】 検出装置は、流体試料１の流路４１と、流路に流体試料を吸引する吸引部４０と、流路内に配置される光学デバイス２０と、光学デバイスに光を照射する光源５０と、光学デバイスから出射される光を検出する光検出部６０と、流路内に配置される発振電極を圧電基板に形成したマイクロバランスセンサーチップ３０と、光検出部及びマイクロバランスセンサーチップからの出力に基づいて前記試料を定量分析する定量分析部７０Ａとを有する。光学デバイス２０は、１〜１０００ｎｍの凸部を有する金属ナノ構造を備え、金属ナノ構造吸着される流体試料を反映した光を出射する。 （もっと読む）

【課題】スパーク放電発光分光分析方法による金属材料の定量分析において、安定な放電条件下で、自己吸収の影響を抑制して、高濃度域における検量線の直線性を改善し、定量分析精度を向上させるための方法と装置を提供することを目的とする。
【解決手段】パルスレーザを金属試料に照射し、金属試料と対電極との間のスパーク放電により、発生した発光スペクトルを分光することで、金属試料の成分を定量分析する発光分光分析方法において、前記パルスレーザは分光器の入射光軸の中心から外れた位置に照射し、前記スパーク放電を誘導し、分析対象元素の発光線の発光強度を測定することを特徴とする発光分光分析方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】狭小部に電界を集中させてプラズマを発生させる際に、狭小部や電極に発生する気泡を速やかに除去することのできるプラズマ発生手段、プラズマ発生装置及び元素分析方法を提供すること。
【解決手段】プラズマ発生装置１０では第１の連通部１４ａ、第１の膨出部１７ａ、狭小部１６、第２の連通部１４ｂ、第２の膨出部１７ｂからなる流路１３が発光部本体１２内に形成されている。狭小部１６の断面積は前後の第１及び第２の膨出部１７ａ，１７ｂよりも著しく小さい。第１及び第２の連通部１４ａ，１４ｂには可撓性チューブ１８が接続されておりシリンジポンプ装置２１により導電性溶液は上流（第１の連通部１４ａ側）から流路１３内に流れ込んでいる。パルス電圧の印加に伴って狭小部１６及び第１及び第２の電極２０Ａ，２０Ｂに発生する気泡は下流側に導電性溶液とともに排出されることとなり、次回の印加の際の邪魔になることがない。 （もっと読む）

【課題】測定対象物にレーザ光を照射した際に発せられる蛍光強度を高めることを目的とする。
【解決手段】所定の方向に移動する測定対象物にレーザ光を照射した際に発せられる蛍光を受光する蛍光測定装置である。この蛍光測定装置は、測定対象物に電界を印加する電界印加部と、電界印加部が測定対象物に電界を印加する位置よりも、所定の方向の下流の位置において、測定対象物に直線偏光のレーザ光を照射するレーザ光照射部と、測定対象物がレーザ光を照射された際に発せられる蛍光を受光する受光部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】主放電電極からの放電を生起させるためのコントロールギャップを形成するトリガ用放電電極のメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】試料２との間に所定の分析ギャップＧ１を設けて配置した主放電電極３に近接し、且つ試料２より主放電電極３に近づけてトリガ用放電電極１１を配置する。コンデンサにより主放電電極３と試料２との間に高電圧を印加した状態で、イグニショントランスからトリガ用放電電極１１に高電圧を印加すると絶縁破壊を生じ、トリガ用放電電極１１から主放電電極３を経て試料２へと放電電流が流れる。これに伴い主放電電極３から試料２への主放電が起こり、この放電により試料２の分析面が発光する。トリガ用放電電極１１が主放電電極３と同じチャンバ内に配設されるので、クリーニングや交換などの作業が容易になる。 （もっと読む）

【課題】生体分子検出装置の構造を簡単化・小型化し、測定精度を向上させ、簡易な取り扱いで安定した検出能力を持つ検出装置を提供すること。
【解決手段】光透過性基板（１０２）と、プローブ固定領域（１０８）と、前記プローブ固定領域に電圧を印加するための電極（１１０）と、前記プローブ固定領域に固定されたプローブと相互作用する標的生体分子を標識する有機ＥＬ標識、又は前記プローブ固定領域に固定されたプローブと相互作用する標的生体分子と相互作用する分子を標識する有機ＥＬ標識からの発光を検出するための受光素子（１０４）とを含み、前記光透過性基板、前記プローブ固定領域、前記電極及び前記受光素子は一体的に形成されていることを特徴とする生体分子検出装置。 （もっと読む）

【課題】 プラズマトーチと高周波誘導コイルとの相対位置を所定位置に固定して、プラズマを安定化して発生すること。
【解決手段】 誘導結合プラズマ分析装置であって、プラズマ用ガスと霧滴化した試料が導入されるプラズマトーチ４と、プラズマトーチ４に高周波電圧を印加する誘導コイル６とを備え、この誘導コイル６は、プラズマトーチ４を通す空洞を備えた誘導コイル押さえ１１で固定する。 （もっと読む）

【課題】安価で簡単な構成で従来のグロー放電発光分光分析装置では分析できなかった試料を容易に分析することができるグロー放電発光分光分析装置を提供する。
【解決手段】本発明のグロー放電発光分光分析装置は、陽極管１ｄと、陽極管１ｄに対向する側である試料５の分析面５ｂに当接する分析面陰極２、試料５の分析面５ｂの反対側である背面５ｃに当接する背面陰極７、および試料５の側面５ｄに当接する側面陰極３２のうちの少なくとも２つの陰極と、陽極管１ｄと前記少なくとも２つの陰極との間に電圧を印加する給電手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガス中の微量成分の計測を簡易にしかも感度良く計測することができるガス中の微量元素成分濃度を計測する微量成分計測装置を提供する。
【解決手段】ガスＧの供給・排出ラインを備えた減圧セル１０１と、該減圧セル１０１内に噴射されたガスＧ中の微量成分をプラズマ化する放電装置１０２と、前記放電により発生したプラズマ光１０３を分光し、分光して得られたプラズマスペクトルのうち、波長１７５乃至８５０ｎｍの発光強度を検出する検出装置１０４とを具備する微量成分計測装置であって、前記減圧セル内の条件が７００〜２００Ｐａであると共に、前記放電電極に印加する電圧が、２〜６ｋＶの高電圧パルスであり、前記高電圧パルスの時間長さが３０ｎｓ以下であり、且つ前記放電電極の間隔が１０ｍｍである。 （もっと読む）

【課題】微粒子の粒子径が励起レーザ光の波長よりも短くても、励起効率を低下させることなく、微粒子を分析すること。
【解決手段】分析対象の微粒子１００を含む流体と微粒子１００とは異なる物質で構成された媒体ガスが存在するガス領域７４内に励起レーザ光を照射して、ガス領域７４内に存在する流体と媒体ガスをプラズマ化するパルスレーザ器と、ガス領域７４内でプラズマ化された流体と媒体ガスが励起レーザプラズマ状態から元のエネルギー状態に戻るときに発生する光を検出して分光する分光器６６と、分光器６６で分光された光を撮像して画像信号を生成するＣＣＤカメラ６８と、ＣＣＤカメラ６８からの画像信号を画像処理して微粒子１００の成分を分析するコンピュータ７０を備えている。 （もっと読む）

本発明の態様は、1つまたは複数のガス、たとえば、プラズマエッチングまたはプラズマ強化化学蒸着（PECVD）などの半導体製造プロセスから採取されたガス混合物の成分分析に関する。特定の態様は、多数の分子および分子断片を個々の原子に解離させるために、試料のプラズマに十分な電力を提供する。十分な電力（典型的には3〜40 W/cm³の出力密度）がプラズマに送出されると、発光ピークのほとんどが個々の原子の発光により生じ、それによって、試験されているガスの化学組成の同定を単純化するのに役立つスペクトルを作製することができる。このようにガスの成分を正確に同定することによって、行われているプロセスの段階を正確に決定すること、特に、プロセスのエンドポイントを検出することができる。

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【課題】強誘電体または圧電体の検査方法で、短時間で素子の欠陥分布が判明することが可能なシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】強誘電体素子５の下部電極２と上部電極４の両端に一定電圧を与えることが可能な直流電源２１部と、強誘電体３で一定の電圧によって発生したキャリアが発する蛍光のうち、一定の光子エネルギーを有する蛍光を受光して収集することができるレンズ２３（受光部）、蛍光像の分布により欠陥分布を判定することが可能な処理装置２５（判定部）を備えたことを特徴とする検査システム。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内部の分圧分布を簡便に測定する分圧測定方法および分圧測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空チャンバ内に備える測定専用の局所プラズマ源９を測定箇所に移動させる移動ステップと、真空チャンバの壁部に設けられ、光が通過する窓を通して、局所プラズマ源が発生させたプラズマからの発光を受光し、受光した発光の発光強度を分光測定することにより、真空チャンバ内の分圧分布を測定する測定ステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

アナライトを検出する方法であって、前記アナライトは、前記アナライトに関係付け可能であると共に光学的検出のために適切な１以上の標識で標識化されており、（ａ）第１の周波数を有する振動電圧を、標識化アナライトを横切るように印加し、同時に前記標識化アナライトに対して光学的検出法を行い前記１以上の標識からデータを得る工程と、（ｂ）第２の周波数を有する振動電圧を、標識化アナライトを横切るように印加し、同時に前記標識化アナライトに対して光学的検出法を行い前記１以上の標識からデータを得る工程と、（ｃ）工程（ａ）及び工程（ｂ）において得られたデータに基づいてアナライトを同定及び定量の少なくともいずれかを行う工程とを含むことを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】グロー放電を利用した円柱状又は棒状の試料の側面の掘削を可能とする試料掘削方法、及び試料掘削装置を提供する。
【解決手段】アルゴンガス（不活性ガス）が供給される試料室（処理室）３内で、グロー放電管１が備える電極に対して、棒材等の円柱状の試料Ｓの側面を対向配置する。モータ３８により試料Ｓを軸周りに回転させながら試料Ｓと電極との間に電圧を印加してグロー放電を発生させ、グロー放電に伴うアルゴンイオンのイオン衝撃により試料Ｓの側面を掘削する。円柱状の試料Ｓの側面が軸対称に掘削され、グロー放電発光分析による成分分析が可能となり、清浄に形成した試料Ｓの側面をＳＥＭ等で観察することも可能となる。 （もっと読む）

【課題】電極クリーニング、成形および交換時等における電極のメンテナンスの効率化を実現する電極ホルダを提供する。
【解決手段】電極ホルダ２１は、電極５を保持する電極ホルダであって、筒状の本体１０と、ノック部１と、チャック８と、締めリング９と、弾性部材７と、電極収納部６と、動作部３とを備える。ノック部１は、本体１０の上側に設けられ、本体１０に対して軸方向に相対移動可能である。チャック８と締めリング９と弾性部材７とは、本体１０の下側に設けられ、電極５の繰り出しを行う。電極収納部６は、チャック８と連結され、電極５をチャック８に供給する。動作部３は、電極収納部６の上側に固定されるとともに、ノック部１が上側に着脱可能に取り付けられる。ノック部１が下側に押下されると、動作部３と電極収納部６とチャック８と締めリング９と弾性部材７とが下側に押動されるとともにチャック８が電極５を適量繰り出す。 （もっと読む）

【課題】小型で安定したプラズマ発光を可能とするガスクロマトグラフィ用原子発光検出器を得る。
【解決手段】原子発光検出器のプラズマトーチ１０は、保護管１２と、保護管内部に配置され、絶縁管１５により覆われ、ラジオ周波数高圧電源に接続される円筒状の高圧電極管１６と、前記高圧電極管を覆う絶縁管の外側に同軸状に配置され、石英放電管１３により覆われ、前記高圧電極管より長く前記保護管内に延出する円筒状の接地電極管１４と、高圧電極管の基端部側より内部に挿入されて他端に突出して延び、ガスクロマトグラフィの分離カラムに接続されるキャピラリーカラム１７を備えている。前記高圧電極管の先端部と前記接地電極管の端部のとの間でプラズマを発生させ、前記キャピラリーカラムを通して、ガスクロマトグラフィから送出される溶出ガスを発生したプラズマにより励起させて発光させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】中心軸を回転中心として回転するブラシを用いた自動電極クリーニング機構を有する発光分析装置において、動きのスムーズな、駆動機構に対する付加の少ない自動電極クリーニング機構を提供する。
【解決手段】自動電極クリーニング装置のブラシ９は、図１に見られるように、毛足２１の先端を回転軸に対して角度を持つ斜めの平面に沿って剪断されている。本実施例においては、具体的には毛足２１の直径は約１８ｍｍ、毛足２１の最長部の長さは約１０ｍｍ、最短部の長さは６．５ｍｍである。電極２と接触する鋼線本数が、従来のブラシに比べて少ないため、接触抵抗が大幅に低減される。このため、回転駆動機構や往復運動駆動機構への負荷が減少し、スムーズな駆動が実現される。 （もっと読む）

【課題】ＩＣＰ発光分析装置においてプラズマに試料を導入する際に、試料の導入に伴って誘導コイル側のインピーダンスが大きく変化し、高周波電源側のインピーダンスと、誘導コイル側のインピーダンス整合が外れ、結果としてプラズマを維持できなくなってしまうことがあった。
【解決手段】電力供給部と、誘導コイルのインピーダンスと電力供給部の出力インピーダンスとを整合させるインピーダンス調整部と、電力供給部及び前記インピーダンス調整部を制御する制御部と、試料がプラズマ中へ導入された時に、前記電力供給部より出力される誘導コイルへの入射電力を所定量増加させる入射電力調節部とを備えるＩＣＰ用高周波電源装置とする。この構成により、プラズマの試料導入時に、インピーダンスの整合が大きく外れることがなくなり、プラズマの点灯を確実に維持したまま試料をプラズマへ導入することができる。 （もっと読む）