【課題】ガスセンサとして成膜後も結晶子径が小さく、結晶成長が緩やかなＳｎＯ２ナノクリスタルが得られ、ＶＯＣに高感度であるガスセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】スズの有機化合物を有機溶媒中に界面活性剤と共に溶解し、加熱してスズの有機化合物を熱分解することで、ＳｎＯ２ナノクリスタル表面に界面活性剤を吸着ないしは配位され、ＳｎＯ２ナノクリスタルを有機溶媒中に分散させると共に、焼成時の結晶成長を妨げることにより、ＶＯＣに高感度なガスセンサが得られる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのソース電極と、ドレイン電極と、ゲート電極とを有する電界効果トランジスタの不動態化において、従来技術の問題点を解決する。
【解決手段】少なくとも１つの化学的感受性の電極を有する半導体構成素子の不動態化のために、少なくとも、該化学的感受性の電極を、ガラス層もしくはガラスセラミック層の施与によって覆い隠す。 （もっと読む）

【課題】 高温，高湿下でもセンサ抵抗値の経時安定性が優れた、電池駆動式の薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】 薄膜状の支持膜の外周部または両端部をＳｉ基板により支持し、外周部または両端部が厚く中央部が薄く形成されたダイアフラム様の支持基板１，２上に薄膜のヒーター３を形成し、この薄膜のヒーター３を絶縁層４で覆い、その上にガス感知膜用の電極５を形成し、さらに半導体薄膜からなるガス感知層（ＳｎＯ２）６を形成し、ガス感知層６を被覆するように選択燃焼層７を形成した薄膜ガスセンサにおいて、ガス感知層６の表面にＰｄ，Ｐｔなどの貴金属触媒を担持させることにより、経時変化安定性を持たせる。 （もっと読む）

【課題】 ガスを検出する感度を高められ、しかも、長期間に亘ってガスを検出する感度を高く維持できるガスセンサ用金属酸化物半導体材料の製造方法を提供する。
【解決手段】 攪拌中のアルカリ水溶液中に金属塩を滴下して酸化物前駆体が分散した水溶液を生成する。酸化物前駆体が分散した水溶液と貴金属コロイド溶液とを加えて酸化物前駆体と貴金属コロイドとがほぼ均等に分散された分散液を生成する。分散液の沈殿物を焼成して金属酸化物半導体材料を製造する。 （もっと読む）