【課題】
【解決手段】 生体試料を分類するシステム。生体試料中の関心のある対象物の数を同定する。関心のある各対象物の第１の特徴（例えば、核の面積）と、関心のある各対象物の第２の特徴（例えば、核の積分光学濃度）を測定し、この第１及び第２の特徴の分散プロットを生成する。この分散プロット内のポイント分布に基づいて試料が正常か、擬似に分類される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 複数の生体試料の染色品質を決定するシステム。生体試料中の関心のある対象物の数を同定する。関心のある各対象物の第１の特徴（例えば、核の面積）と、関心のある各対象物の第２の特徴（例えば、核の積分光学濃度）を測定し、この第１及び第２の特徴の分散プロットを生成する。この分散プロット中のポイント分布の広がりに基づいて生体試料の染色品質が決定される。 （もっと読む）

光学スキャナからのマルチチャネル欠陥データのような、それぞれが３つ以上のパラメータを関連付けられる複数のデータ点から成る母集団が３次元でプロットされ、データ点のグループが特定される。データ点のグループを画定するために、３次元空間において境界面が定義される。異なるグループは異なるデータ分類又はタイプに対応する。境界面に基づいて分類アルゴリズムが定義される。欠陥分類に適用されるとき、そのアルゴリズムは、欠陥を実行時分類するために光学スキャナにエクスポートすることができる。データ点の特定のグループを特定するためのアルゴリズムを、２つ以上の異なるｎ次元表現からの分類規則のブール演算による組み合わせとして定義することができる。ただし、ｎは表現毎に２又は３にすることができる。
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【課題】形成したポリシリコン膜の状態を、客観的に、非接触で、精度良く、自動的に評価することができるポリシリコン膜評価装置の提供を目的としている。
【解決手段】 アモルファスシリコン膜をアニール処理することによって形成されたポリシリコン膜を評価するポリシリコン膜評価装置１である。ステージ上のポリシリコン膜が形成された基板Ｗに可視光を照射することによって基板Ｗ上のポリシリコン膜の表面画像を撮像してオーフォーカスする可視光観察光学系４や紫外光の照射による紫外光観察光学系６などを備える。そして、紫外光観察光学系によって得られたポリシリコン膜の表面画像からポリシリコン膜の膜表面の空間構造の直線性および周期性を評価し、この直線性および周期性の評価結果に基づき、ポリシリコン膜の状態を評価する。 （もっと読む）