Fターム[2G061BA00]の内容
機械的応力負荷による材料の強さの調査 (10,712) | 調査対象項目 (1,236)
Fターム[2G061BA00]の下位に属するFターム
強度 (665)
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その他 (133)
Fターム[2G061BA00]に分類される特許
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薄膜密着性評価方法
【課題】 nmオーダーレベルの膜厚である薄膜の密着力を、定量的に再現性良く、評価する。
【解決手段】 ダイヤモンド圧子10をプラスチック基板1上に成膜された薄膜2にある荷重Fをかけながら押し込んで、押し込み深さ−荷重曲線特性を測定し、得られた押し込み深さ−荷重曲線特性における膜が弾性変形から塑性変形に変わる変位点を剥離点とする。
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