【課題】部品点数が増大せず、新たな実装面積の確保も不要で、反射成分を低減できる近接センサ、及び近接センサを実装するための回路基板を提供する。
【解決手段】回路基板は、近接センサ１０が実装され、回路基板の本体４９と、回路基板の本体４９に設けられ、カバー１８に当接するカバー当接面４７と、近接センサ１０と回路基板とを導通接続させる伸縮自在なスプリングコネクタ２６と、を有する。スプリングコネクタ２６は、カバー当接面４７をカバー１８に押し当てる。 （もっと読む）

【課題】 従来のレーザー受光器は、レーザーが光路を通過する際に生じる反射、回折、散乱などによる光ノイズや周囲光によるノイズによる影響を効果的に排除できなかった。各ノイズの強度が異なるために一定の閾値では対処出来なかった為である。
【解決手段】 信号を有効とするための閾値を回路上やソフトウェア上での記憶手段により主信号の最大値の近傍に自動的に設定することにより、光雑音による外乱を削減し目的とする信号を精度良く測定することができる。 （もっと読む）

【課題】露光部分または露光ビームに関するパラメータを検出するために使用されるシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】システム２００は、基板ステージ１０６および計量ステージ１１６を有する。基板ステージ１０６は、リソグラフィシステム２００の露光部分からの露光ビームを受け取るために基板１１２を位置決めするように構成される。計量システムは、露光システムまたは露光ビームのパラメータを検出するように構成されたセンサシステムを自身上に有する。一例では、システムはリソグラフィシステム内にあり、これはさらに照明システム２１２、パターニングデバイス２１４、および投影システム２１６を有する。パターニングデバイス２１４は、照明システム２１２からの放射線のビームにパターンを形成する。露光部分内に配置された投影システム２１６は、パターン形成したビームを基板１１２またはセンサシステムに投影する。 （もっと読む）

【課題】赤外線検出部とキャップレンズとを備えた赤外線センサにおいて、検知エリア以外から入射する赤外線が不正に赤外線検出部に入射することを防止して誤検知の発生を防止する。
【解決手段】赤外線センサ１は、２つの焦電素子２ａ、２ｂを内部に有する赤外線検出部３と、２つのレンズ部６ａ、６ｂを有するキャップレンズ５と、キャップレンズ５の筒状部５ａの内周面を覆うように挿入されたスリーブ状の赤外線反射防止部材７とを備える。各検知エリアＡ、Ｂから出射してレンズ部６ａ、６ｂによって集光された赤外線Ｒａ、Ｒｂは、筒状部５ａ内を通過して各焦電素子２ａ、２ｂに入射することによってそれぞれ検知エリアＡ、Ｂにおける対象物の存在として検出される。検知エリア以外からキャップレンズ５内に入射する赤外線Ｒｒは、赤外線反射防止部材７によって反射を防止され赤外線検出部３に到達せず、従って、誤って対象物を検出することが防止される。 （もっと読む）

【課題】 従来の赤外線撮像装置では、光学フィルタを有するためフィルタ表面での光線反射により迷光が発生し、その迷光を赤外線検出素子が受光することにより画像が劣化する。この迷光の発生源とならない光学フィルタに代わる赤外線を減衰するフィルタを得る。
【解決手段】 赤外線の光路上に赤外線吸収特性を持つガスを封入する空間を構成し、ガスの封入量を調整することによって、フィルタターレットにより光学部品を切り替える光学フィルタを使用せずとも赤外線を減衰することができ、フィルタ表面での反射による迷光を発生させることなく、赤外線検出素子に集光する赤外線の光量を低下させることができる。 （もっと読む）

【課題】 走査光学系の検査においても検査光学系のレンズフレームでの走査ビーム光束の散乱を生じさせないようにし、走査ビーム光束を取得するための有効な検査対象領域を確保し、検査対象のビーム光束のみを取得、検査できるようにする。
【解決手段】 走査位置毎の伝播角度や個体差に対応した遮光板の姿勢調整が必要となる。そのため、遮光板（１８ｃ）を対物レンズの光軸と垂直に並進する移動機構（１９）を設けることで、レンズフレームでの反射、散乱を除去することを可能とする。ここで遮光板（１８ｃ）によるビーム光束の散乱、回折が懸念されるが、本実施例では対物レンズとの組合せにより、そうした散乱光や回折光が受光面に結像しない調整とすることで、解消することができる。 （もっと読む）

【課題】 良好なシェーディング補正を行って、正確なシーン画像の再生を可能とする赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】 光学系と複数の赤外線検知素子と該複数の赤外線検知素子を収容する容器とを有するカメラヘッドにより撮像された画像データのシェーディング補正をする赤外線撮像装置において、均一シーンを撮像したとき画像データ に含まれるシーン成分が一定となるように光学系シェーディング成分を補正して感度補正画像データを作成する第１補正部と、赤外線検知素子毎に、光学系及び容器より放射される赤外線によるハウジングシェーディング成分を補正するためのハウジング応答プロファイルを記憶する記憶部と、各赤外線検知素子についての感度補正画像データ及びハウジング応答プロファイルに基づいてハウジングシェーディング成分を補正してハウジングシェーディング補正画像データを作成する第２補正部とを具備して構成する。 （もっと読む）