【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証１０を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証２０を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証３０を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証４０を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証５０を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成６０する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証１０を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証２０を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証３０を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証４０を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証５０を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成６０する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証１０を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証２０を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証３０を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証４０を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証５０を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成６０する。 （もっと読む）

この開示は、火炎の中の温度を決定するように、且つ火炎の中に存在する燃料の粒径を決定するように構成された光学的測定装置（１００）に係る。この光学的測定装置（１００）は、火炎の中の光の情報を測定して測定結果を出力するためのカラー・カメラ（１０）と、それらの測定結果を評価するように構成された評価ユニット（２０）とを含んでいる。更に、石炭燃焼発電プラント（２００）に、粉砕された石炭を、それぞれ、火炎の中で燃焼させるための多数のバーナ（３５）、及び上記の多数の光学的な測定装置（１００）が設けられている。更に、温度及び火炎の中に存在する燃料の粒径を決定するための対応する方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 従来の振動型赤外線センサは、梁の長さ方向に対して垂直に変位する振動を利用していたために共振周波数やＱ値の変化は必ずしも大きくなかった。従って、センサの高感度化が難しい課題があった。
【解決手段】 本発明は、ねじり振動を赤外線センサに新しく導入し、赤外線吸収による温度上昇が生み出す振動子の変形が、共振周波数などを変化させる力学系を利用することによって、ねじり振動を利用することを特徴とする赤外線センサを実現したものである。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ面内で均一な温度で加熱可能な半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】ウェーハと同時に複数のランプで加熱される基板周辺構造物の周辺反射率を測定しＳ１−１、加熱前のウェーハ反射率からウェーハ放射率を算出しＳ６、加熱中のウェーハ放射光強度とウェーハ放射率からウェーハ温度を算出しＳ１０、ウェーハ温度が設定温度になるようなウェーハ上光強度の値を算出しＳ１１、周辺反射率とウェーハ反射率の差から両入射光の光強度が等しくなるように基板周辺構造物上の周辺光強度の値を算出しＳ１３、ウェーハ上光強度がウェーハ上光強度の値になり周辺光強度が周辺光強度の値になるようにランプの加熱のランプ光強度の値を算出しＳ１４、ランプ光強度が所定の値になるようなランプパワーの値を算出し、複数のランプに所定のランプパワーを入力し発光するＳ１７ことによってウェーハに処理を行う。 （もっと読む）