本発明は、アルミニウム合金製の部品（５）へのイオン注入装置に関するものであって、該装置は、抽出圧力によって加速されたイオンを放出するイオン源（６）と、前記源（６）によって発信された初期イオンビーム（ｆ１’）の、注入ビーム（ｆ１）への第一の調整手段（７−１１）とを有する。前記源（６）は、部品（５）内に１２０℃を下回る温度で注入されるマルチエネルギーイオンの初期ビーム（ｆ１’）を生産する、電子サイクロトロン共鳴源である。前記調整手段（７−１１）を介して調整された注入ビーム（ｆ１）の、これらのマルチエネルギーイオンの注入は、源の抽出圧力によってコントロールされた深さに同時に実施される。
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【課題】優れた治療性能を有する放射線治療装置を提供すること。
【解決手段】電子銃、線形加速器及びターゲットを有する照射ヘッド２２０と、この照射ヘッド２２０を予め定めた球面座標上で支持し且つ移動させる支持移動機構２１０と、床に設置されるマイクロ波発振器２３０と、一端部がマイクロ波発振器２３０に電磁気的に接続され、他端部が線形加速器に電磁気的に接続される導波管部２４０，２５０，２６０と、照射ヘッド２２０内に位置する導波管部２４０，２５０，２６０に設けられるＲＦ窓とを具備する放射線治療装置である。 （もっと読む）