【課題】電磁ノイズ遮蔽用仕切り板を荷電粒子加速器用真空チェンバのアンテ部に溶接を行うことなく取付けるための方法および構造を提供する。
【解決手段】電磁ノイズ遮蔽用仕切り板６として、排気孔６ａを配列形成した所定幅の長尺状金属板を使用する。アンテ部３の上壁部内面および下壁部内面の相対向する部位にガイド溝３ａをそれぞれ形成し、真空チェンバ１に加圧力を作用させて、各ガイド溝３ａ相互の間隔が拡がるように真空チェンバ１を弾性変形させる。拡げられた状態の各ガイド溝３ａに沿ってスライドさせながら仕切り板６を各ガイド溝３ａ間に挿入した後、真空チェンバ１に対する加圧力を除き、これに伴って発生する弾性復元力によって仕切り板６を各ガイド溝３ａ間に挟持する。 （もっと読む）

【課題】安価且つコンパクトな構成で大口径のビームを被処理物に照射することができると共に高い中性化率を得ることができ、チャージフリー且つダメージフリーな中性粒子ビーム処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の中性粒子ビーム処理装置は、被処理物Ｘを保持する保持部２０と、高周波電圧の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことにより、真空チャンバ３内に正イオンと負イオンとを含むプラズマを生成するプラズマ生成部と、真空チャンバ内であって、プラズマ生成部と被処理物との間に配置され、プラズマから放出される紫外線を遮蔽するオリフィス電極４と、真空チャンバ内にオリフィス電極に対して上流側に配置されたグリッド電極５と、オリフィス電極とグリッド電極との間に電圧を印加することで、プラズマ生成部により生成されたプラズマから正イオンと負イオンとを交互に引き出すバイポーラ電源１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成にすることで機械加工の比率を低減させ、製造コストの低減を図ると共に、高い冷却性能を有することができる荷電粒子加速器の真空チェンバを提供すること。
【解決手段】 板状をなすＮＥＧプレート１３，１４の一端を荷電粒子が周回するビームチャンネル１５に接合する一方、ＮＥＧプレート１３，１４の他端を荷電粒子の周回に伴いその接線方向に放射される放射光の放射方向に延設するようにビームチャンネルに一体的に形成されるアンテ部１６の外側に設けられると共に放射光の放射方向に対して略鉛直方向に延設するポケット部１７に接合させるようにした。 （もっと読む）